一種Loadport內晶圓狀態的距離檢測系統技術方案

本發明專利技術涉及工業自動化系統控制檢測技術領域，提供了一種Loadport內晶圓狀態的距離檢測系統，第一驅動機構（2）驅動滑臺（1）沿導軌（5）上下移動，帶動第一連接板（3）在光柵尺（4）上移動，光柵尺（4）記錄信息并輸出第一信號；滑臺（1）沿導軌（5）上下移動帶動對射式傳感器（9）上下移動，第二驅動機構（14）驅動對射式傳感器（9）朝晶圓盒（7）擺動，對射式傳感器（9）讀取信息并輸出第二信號；處理第一信號和第二信號，測量出晶圓盒（7）內晶圓放置信息。本發明專利技術通過傳感器檢測輸出信號與光柵尺輸出信號做處理，可實現精確檢測晶圓盒內晶圓放置狀態中的數量、位置以及異常錯誤，檢測精度高，可移植性強，操作簡單。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種Loadport內晶圓狀態的距離檢測系統，其特征在于，包括晶圓盒（7）、水平滑臺（8）、安裝板（13）、滑臺（1）、第一驅動機構（2）、導軌（5）、第一連接板（3）、光柵尺（4）、第二連接板（6）、第二驅動機構（14）和對射式傳感器（9）；其中，所述安裝板（13）與水平滑臺（8）連接，水平滑臺（8）上放置晶圓盒（7）；所述第一驅動機構（2）安裝于所述安裝板（13）下半部的左側，第一驅動機構（2）與滑臺（1）固定連接，滑臺（1）與第一連接板（3）固定連接；所述第二連接板（6）安裝于所述安裝板（13）下半部的右側，第二連接板（6）與光柵尺（4）連接；所述導軌（5）沿豎直方向設置，導軌（5）與滑臺（1）連接，所述第一驅動機構（2）驅動滑臺（1）沿導軌（5）上下移動，帶動第一連接板（3）在光柵尺（4）上移動，光柵尺（4）記錄信息并輸出第一信號；所述第二驅動機構（14）安裝于滑臺（1）上，第二驅動機構（14）與對射式傳感器（9）連接，滑臺（1）沿導軌（5）上下移動帶動對射式傳感器（9）上下移動，第二驅動機構（14）驅動對射式傳感器（9）朝晶圓盒（7）擺動，對射式傳感器（9）讀取信息并輸出第二信號；處理所述第一信號和第二信號，測量出晶圓盒（7）內晶圓放置信息。...

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：李學威，管莉娜，徐方，邊弘曄，馮亞磊，何偉全，
申請(專利權)人：沈陽新松機器人自動化股份有限公司，
類型：發明
國別省市：遼寧;21