一種刻蝕酸霧抽離器制造技術

本發明專利技術公開了一種刻蝕酸霧抽離器，其用于濕式刻蝕中，該刻蝕酸霧抽離器包括有抽風管道、冷凝器、接液盤及回流管，該抽風管道內為負壓并抽離刻蝕機腔室內形成的酸霧，該冷凝器位于抽風管道下方并連通該抽風管道，該冷凝器將抽離后的酸霧凝集成酸液，該接液盤位于該冷凝器下方并接收凝集的酸液，該回流管位于該接液盤底部并連通該接液盤，該回流管將該接液盤內的酸液導流進該刻蝕機腔室內。利用本發明專利技術的刻蝕酸霧抽離器，可避免在濕法刻蝕基板時，酸性液滴落在基板上導致對基板的刻蝕不均勻、產品良率低的問題。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種刻蝕酸霧抽離器，其用于濕式刻蝕中，其特征在于，該刻蝕酸霧抽離器包括有抽風管道（111）、冷凝器（108）、接液盤（106）及回流管（105），該抽風管道（111）內為負壓并抽離刻蝕機腔室（101）內形成的酸霧，該冷凝器（108）位于抽風管道（111）下方并連通該抽風管道（111），該冷凝器（108）將抽離后的酸霧凝集成酸液，該接液盤（106）位于該冷凝器（108）下方并接收凝集的酸液，該回流管（105）位于該接液盤（106）底部并連通該接液盤（106），該回流管（105）將該接液盤（106）內的酸液導流進該刻蝕機腔室（101）內。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：張田超，鐘立華，
申請(專利權)人：昆山國顯光電有限公司，
類型：發明
國別省市：江蘇;32