一種改進的硅片鏟制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種改進的硅片鏟，包括鏟柄和鏟芯，鏟芯通過連接螺栓鑲嵌在鏟柄的一端，其特征在于：所述鏟芯為長方形鏟芯，鏟芯的中間與鏟柄垂直的方向并排設(shè)置有兩個連接通孔，且鏟芯與鏟柄垂直的兩個面均是鋒利面。該硅片鏟在原有技術(shù)的基礎(chǔ)上，對鏟芯的結(jié)構(gòu)和材質(zhì)進行了改進，具有高耐磨性、韌性好、使用壽命長等優(yōu)點，尤其克服了原有硅片鏟在接觸高硬度的硅片時容易磨損、變鈍等問題，降低了輔料的消耗，提高了硅片質(zhì)量的優(yōu)良率，并降低了生產(chǎn)成本。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)創(chuàng)造涉及一種改進的硅片鏟。
技術(shù)介紹
半導(dǎo)體單晶硅晶圓硅片生產(chǎn)線的優(yōu)良率是降低制造成本的關(guān)鍵，其中大部分的操作都是由設(shè)備完成的，而硅片的下載純屬人工操作，由于該工序其直接影響產(chǎn)品的優(yōu)良率，因此是一個相對重要的環(huán)節(jié)。進而，下載硅片的工具（硅片鏟）也顯得尤為重要。在實際生產(chǎn)中，硅片鏟的材質(zhì)跟構(gòu)造以及員工的操作是否規(guī)范等直接可以導(dǎo)致拋光后硅片折斷、崩邊、蹭傷等問題，從而直接影響產(chǎn)品的優(yōu)良率。因此在員工操作規(guī)范的情況下，硅片產(chǎn)的材質(zhì)跟構(gòu)造可直接影響產(chǎn)品的優(yōu)良率。硅片鏟的構(gòu)造主要分為鏟柄跟鏟芯。對鏟柄的材質(zhì)跟構(gòu)造沒有過高的要求，而鏟芯的材質(zhì)可直接影響硅片拋光后的良率，如果鏟芯的材質(zhì)跟構(gòu)造不合理，可直接導(dǎo)致拋光后硅片崩邊，甚至折斷。現(xiàn)在硅片鏟鏟芯的主要材質(zhì)為乙烯基的聚合物質(zhì)是一種非結(jié)晶性材料，使用非常廣泛，經(jīng)過加入穩(wěn)定劑、潤滑劑、色劑等等；使其具有穩(wěn)定性、不易燃性等等。但是乙烯基的聚合物質(zhì)的特點有：力學(xué)性能優(yōu)良、耐酸堿、化學(xué)穩(wěn)定性好、軟化點低。就是因為其軟化點低，當(dāng)硅片鏟的鏟芯在接觸高硬度的硅片時容易磨損、變鈍等等。目前的硅片鏟鏟柄長約14cm，鏟芯長約5cm。鑲?cè)腌P柄約2cm并固定，鏟芯寬約3cm，鏟芯外端加工成為鋒利的平面，規(guī)格單一，對于不同規(guī)格的硅片使用效果不佳。另外，如圖3和圖4所示，現(xiàn)在的鏟芯的構(gòu)造是一邊鋒利，將不鋒利的一面鑲嵌在鏟柄內(nèi)，中間用兩個螺絲固定。這種鏟芯的的鋒利面如果損壞后便需要更換新的鏟芯，不利于節(jié)約成本。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)創(chuàng)造要解決的問題是針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種改進的硅片鏟。為解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是：一種改進的硅片鏟，包括鏟柄1和鏟芯2，鏟芯2通過連接螺栓3鑲嵌在鏟柄1的一端，所述鏟芯2為長方形鏟芯，鏟芯2的中間與鏟柄1垂直的方向上并排設(shè)置有兩個通孔4，所述鏟芯2通過所述通孔4與所述鏟柄1固定且鏟芯2與鏟柄1垂直的兩個面均是鋒利面。優(yōu)選地，所述鏟芯2是由乙烯-四氟乙烯共聚物制作而成的。本專利技術(shù)創(chuàng)造具有的優(yōu)點和積極效果是：該硅片鏟在原有技術(shù)的基礎(chǔ)上，對鏟芯的結(jié)構(gòu)和材質(zhì)進行了改進，具有高耐磨性、韌性好、使用壽命長等優(yōu)點，尤其克服了原有硅片鏟在接觸高硬度的硅片時容易磨損、變鈍等問題，降低了輔料的消耗，提高了硅片質(zhì)量的優(yōu)良率，并降低了生產(chǎn)成本。附圖說明圖1是本專利技術(shù)創(chuàng)造的硅片鏟的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本專利技術(shù)創(chuàng)造的硅片鏟中鏟芯的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是現(xiàn)有的硅片鏟的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是現(xiàn)有的硅片鏟的結(jié)構(gòu)中鏟芯的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式本專利技術(shù)創(chuàng)造公開了一種改進的硅片鏟，如圖1和圖2所示，包括鏟柄1和鏟芯2，鏟芯2的中間且與鏟柄1垂直的方向上并排設(shè)置有兩個通孔4，連接螺栓3穿過鏟芯2的通孔4鑲嵌在鏟柄1的一端，鏟芯2為長方形鏟芯，且鏟芯2與鏟柄1垂直的兩個面均是鋒利面。鏟芯2的主要材質(zhì)優(yōu)選乙烯-四氟乙烯共聚物，該樹脂是很堅韌的氟聚合物，具有耐熱、抗滑動性、抗化學(xué)性、高耐磨損性、高韌性等優(yōu)點。現(xiàn)在的鏟芯的構(gòu)造是一邊鋒利，將不鋒利的一面鑲嵌在鏟柄內(nèi)，在不鋒利的一面的中間用兩個螺絲固定。本專利技術(shù)創(chuàng)造將鏟芯的兩面都加工成鋒利的，并根據(jù)鏟芯的大小設(shè)計合理的鏟柄，在使用過程中，如果鏟芯的一面用壞后，還可以用另一面，達到了一個鏟芯兩次使用的效果，節(jié)約了成本。除此之外，本專利技術(shù)創(chuàng)造的硅片鏟還可以根據(jù)使用過程中的而不同需求做成適于應(yīng)用的不同尺寸的鏟芯和鏟柄，發(fā)揮其最優(yōu)的使用效果。以上對本專利技術(shù)創(chuàng)造的實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本專利技術(shù)創(chuàng)造的較佳實施例，不能被認為用于限定本專利技術(shù)的實施范圍。凡依本專利技術(shù)創(chuàng)造范圍所作的均等變化與改進等，均應(yīng)仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種改進的硅片鏟，包括鏟柄（1）和鏟芯（2），鏟芯（2）通過連接螺栓（3）鑲嵌在鏟柄（1）的一端，其特征在于：所述鏟芯（2）為長方形鏟芯，鏟芯（2）的中間與鏟柄（1）垂直的方向上并排設(shè)置有兩個通孔（4），所述鏟芯（2）通過所述通孔（4）與所述鏟柄（1）固定,且鏟芯（2）與鏟柄（1）垂直的兩個面均是鋒利面。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種改進的硅片鏟，包括鏟柄（1）和鏟芯（2），鏟芯（2）通過連
接螺栓（3）鑲嵌在鏟柄（1）的一端，其特征在于：所述鏟芯（2）為長方
形鏟芯，鏟芯（2）的中間與鏟柄（1）垂直的方向上并排設(shè)置有兩個通孔（4），

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：武衛(wèi)，閆繼增，王力，石明，孫晨光，
申請(專利權(quán))人：天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：天津;12