靜電致動器及其制造方法技術

本發明專利技術涉及靜電致動器及其制造方法，其中，所述靜電致動器包括：一個彈性的帶狀物；以及，多個電極板對，其中，所述多個電極板對的每一個電極板對把所述彈性的帶狀物夾在中間，其中，通過所述彈性的帶狀物的折疊，所述多個電極板對被堆積成多層結構。相比現有技術，本發明專利技術的靜電致動器能夠容易制造。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及致動器，尤其涉及。
技術介紹
靜電致動器是一種其移動部件按照庫侖定律被靜電力驅動的設備。如圖1所示， 靜電致動器的典型結構包括兩個平行的電極板A。當電壓電勢被施加在該兩個平行的電 極板之間時，移動的電極板將向固定的電極板移動。在移除了被施加到該兩個平行的電極 板的電壓電勢之后，該移動的電極板通過例如來自支撐彎曲部分的回復力回到它的初始位 置。靜電致動器由于低功率消耗和快速響應廣泛地用在許多應用中，例如加速度計、可變形 的光學裝置、中繼器和閥。 在圖1所示的靜電致動器中所產生的吸引力F能夠按照以下等式（1)計算。【主權項】1. 一種靜電致動器，包括： 一個彈性的帶狀物；以及 多個電極板對，其中，所述多個電極板對的每一個電極板對把所述彈性的帶狀物夾在 中間， 其中，通過所述彈性的帶狀物的折疊，所述多個電極板對被堆積成多層結構。2. 如權利要求1所述的靜電致動器，其中 所述多個電極板對的任意兩個相鄰的電極板對之間的間隙距離是相同的。3. 如權利要求1所述的靜電致動器，其中 所述彈性的帶狀物是絕緣的。4. 如權利要求1所述的靜電致動器，其中 所述多個電極板對的電極板具有相同的形狀和大小。5. 如權利要求1所述的靜電致動器，其中 所述多個電極板對是相互平行的。6. 如權利要求1所述的靜電致動器，其中 所述彈性的帶狀物包括多個活性聚合體部分和多個非活性聚合體部分，所述多個活性 聚合體部分和所述多個非活性聚合體部分交替連接， 其中，所述彈性的帶狀物在所述多個活性聚合體部分處被折疊，以及所述多個電極板 對中的每一個電極板對在所述多個非活性聚合體部分的其中一個上把所述彈性的帶狀物 夾在中間。7. 如權利要求6所述的靜電致動器，其中 所述多個聚合體部分是在預定溫度收縮的聚酰亞胺鉸鏈或者利用電阻加熱致動的形 狀記憶聚合體元件。8. 如權利要求1所述的靜電致動器，其中 所述多個電極板對中的每一個電極板的表面被涂有絕緣材料。9. 一種用于制造靜電致動器的方法，包括： 以預定間隔將多個電極板對安裝在一個彈性的帶狀物上，其中，所述多個電極板對中 的每一個電極板對把所述彈性的帶狀物夾在中間；以及 折疊所述彈性的帶狀物以將所述多個電極板對堆積成多層結構。10. 如權利要求9所述的方法，其中， 所述彈性的帶狀物包括多個活性聚合體部分和多個非活性聚合體部分，所述多個活性 聚合體部分和所述多個非活性聚合體部分交替連接， 所述安裝步驟進一步包括：將所述多個電極板對中的每一個電極板對安裝在所述多個 非活性聚合體部分的其中一個上，以及 所述折疊步驟進一步包括：將黑墨水涂在所述多個活性聚合體部分的每一個活性聚合 體部分的其中一個表面上，以使得所述多個活性聚合體部分中的任意兩個相鄰的活性聚合 體部分的具有黑墨水的表面是相對表面；以及，加熱所述多個活性聚合體部分以在所述多 個活性聚合體部分處折疊所述彈性的帶狀物。11. 如權利要求9或10所述的方法，其中， 在所述多層結構中所述多個電極板對的任意兩個相鄰的電極板對之間的間隙距離是 相同的。12. 如權利要求9或10所述的方法，其中， 所述彈性的帶狀物是絕緣的。13. 如權利要求9或10所述的方法，其中， 所述多個電極板對的電極板具有相同的形狀和大小。14. 如權利要求9或10所述的方法，其中， 在所述多層結構中所述多個電極板對是相互平行的。15. 如權利要求9或10所述的方法，其中， 所述多個電極板對中的每一個電極板的表面被涂有絕緣材料。【專利摘要】本專利技術涉及，其中，所述靜電致動器包括：一個彈性的帶狀物；以及，多個電極板對，其中，所述多個電極板對的每一個電極板對把所述彈性的帶狀物夾在中間，其中，通過所述彈性的帶狀物的折疊，所述多個電極板對被堆積成多層結構。相比現有技術，本專利技術的靜電致動器能夠容易制造。【IPC分類】H02N13-00, H02N1-00【公開號】CN104737436【申請號】CN201380055038【專利技術人】賴勝, 李明 【申請人】西門子公司【公開日】2015年6月24日【申請日】2013年1月18日【公告號】DE112013006449T5, WO2014110798A1本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種靜電致動器，包括：一個彈性的帶狀物；以及多個電極板對，其中，所述多個電極板對的每一個電極板對把所述彈性的帶狀物夾在中間，其中，通過所述彈性的帶狀物的折疊，所述多個電極板對被堆積成多層結構。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】

【專利技術屬性】
技術研發人員：賴勝，李明，
申請(專利權)人：西門子公司，
類型：發明
國別省市：德國;DE