本發明專利技術公開一種加速度傳感器橋臂電阻測試系統，包括MCU模塊，MCU模塊外圍設有與其相連的計算機、矩陣開關與數據采集單元，電阻橋式加速度傳感器的四個端口分別與矩陣開關相連，矩陣開關還連接有恒流源；所述測試系統還包括為數據采集單元、矩陣開關與MCU模塊供電的直流穩壓電源；MCU模塊控制矩陣開關的通斷，使恒流源通過矩陣開關對所述四個端口兩兩組合施加激勵；數據采集單元采集電阻橋式傳感器在施加激勵后的反饋并發送給MCU模塊；MCU模塊根據反饋值得出電阻橋式加速度傳感器四個端口兩兩之間的節點電阻值，并將節點電阻值發送給計算機；計算機根據節點電阻通過迭代法計算出每個橋臂電阻的阻值，結構簡單，使用方便。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體測試
，具體是一種對加速度傳感器中電阻橋的獨立橋 臂電阻進行測試的系統。
技術介紹
公知的，加速度傳感器的內部結構主要為四個壓敏電阻構成的惠斯通電阻橋，一 般分為開環結構和閉環結構兩種。實際應用中，要求惠斯通電阻橋的四個獨立橋臂電阻的 阻值相等，使橋臂處于平衡狀態，在靜態時傳感器的輸出為零。然而在生產過程中，由于工 藝加工誤差、封裝應力、溫度變化等原因，通電后傳感器內部四個獨立橋臂電阻不再處于絕 對相同的狀態，導致傳感器的靜態電壓不為零，從而使傳感器在應用中會因為過大的靜態 電壓導致后端放大器在有效信號到達之前提前飽和，不能進行正常的加速度測量工作。因 此，對傳感器獨立橋臂電阻的阻值進行測試對后期工藝加工具有指導作用。對于開環結構 惠斯通電橋而言，其內部元件均為獨立狀態，無串并聯形式，檢測過程比較簡單。而對于閉 環結構惠斯通電橋，目前尚沒有很好的方法進行獨立橋臂電阻的測試。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種加速度傳感器橋臂電阻測試系統，該測試系統能夠對 電阻橋式加速度傳感器的獨立橋臂電阻進行測試，結構簡單，使用方便。 本專利技術解決其技術問題所采用的技術方案是： 一種加速度傳感器橋臂電阻測試系統，包括MCU模塊，MCU模塊外圍設有與其相連的 計算機、矩陣開關與數據采集單元，電阻橋式加速度傳感器的四個端口分別與矩陣開關相 連，矩陣開關還連接有恒流源；所述測試系統還包括為數據采集單元、矩陣開關與MCU模塊 供電的直流穩壓電源；MCU模塊控制矩陣開關的通斷，使恒流源通過矩陣開關對所述四個 端口兩兩組合施加激勵；數據采集單元采集電阻橋式傳感器在施加激勵后的反饋并發送給 MCU模塊；MCU模塊根據反饋值得出電阻橋式加速度傳感器四個端口兩兩之間的節點電阻 值，并將節點電阻值發送給計算機；計算機根據節點電阻通過迭代法計算出每個橋臂電阻 的阻值。 本專利技術的有益效果是，經由矩陣開關將恒流源激勵按次序施加在電阻橋式加速度 傳感器的不同端口上，得到電阻橋式加速度傳感器四個端口兩兩之間的反饋值，MCU模塊根 據反饋值通過歐姆定律得出電阻橋式加速度傳感器四個端口兩兩之間的節點電阻值，最終 計算機根據節點電阻通過迭代法計算出每個橋臂電阻的阻值，結構簡單，使用方便?！靖綀D說明】 下面結合附圖和實施例對本專利技術進一步說明： 圖1是本專利技術的原理框圖。【具體實施方式】 如圖1所示，本專利技術提供一種加速度傳感器橋臂電阻測試系統，包括MCU模塊1， MCU模塊1外圍設有與其相連的計算機PC、矩陣開關MUX與數據采集單元ADC，電阻橋式加 速度傳感器3由四個橋臂電阻Rl~R4構成閉環結構，包括四個端口，即電源正端口 Pl、電 源負端口 P3、信號正端口 P2與信號負端口 P4 ;所述四個端口分別與矩陣開關MUX相連，矩 陣開關MUX還連接有恒流源PIS ;所述測試系統還包括為數據采集單元ADC、矩陣開關MUX 與MCU模塊1供電的直流穩壓電源2 ;MCU模塊1控制矩陣開關MUX的通斷，使恒流源PIS 通過矩陣開關MUX對所述四個端口兩兩組合施加激勵，可按照如下順序依次施加恒流源激 勵： a) 將恒流源施加在電源正端口 P1，信號正端口 P2零電位，其余兩個端口不施加任 何激勵，數據采集單元ADC通過矩陣開關MUX采集到電源正端口 Pl與信號正端口 P2之 間的電壓值V12，電源正端口 Pl與信號正端口 P2之間的電流值I12即為恒流源的電流 Is，MCU模塊1接收到數據采集單元ADC發送的電壓值后，根據歐姆定律得到電源正端 口 Pl與信號正端口 P2之間的節點電阻R12=V12/ I12，另外，根據電路原理，R12滿足公式【主權項】1. 一種加速度傳感器橋臂電阻測試系統，其特征在于，所述測試系統包括MCU模塊， MCU模塊外圍設有與其相連的計算機、矩陣開關與數據采集單元，電阻橋式加速度傳感器的 四個端口分別與矩陣開關相連，矩陣開關還連接有恒流源；所述測試系統還包括為數據采 集單元、矩陣開關與MCU模塊供電的直流穩壓電源；MCU模塊控制矩陣開關的通斷，使恒流 源通過矩陣開關對所述四個端口兩兩組合施加激勵；數據采集單元采集電阻橋式傳感器在 施加激勵后的反饋并發送給MCU模塊;MCU模塊根據反饋值得出電阻橋式加速度傳感器四 個端口兩兩之間的節點電阻值，并將節點電阻值發送給計算機；計算機根據節點電阻通過 迭代法計算出每個橋臂電阻的阻值。【專利摘要】本專利技術公開一種加速度傳感器橋臂電阻測試系統，包括MCU模塊，MCU模塊外圍設有與其相連的計算機、矩陣開關與數據采集單元，電阻橋式加速度傳感器的四個端口分別與矩陣開關相連，矩陣開關還連接有恒流源；所述測試系統還包括為數據采集單元、矩陣開關與MCU模塊供電的直流穩壓電源；MCU模塊控制矩陣開關的通斷，使恒流源通過矩陣開關對所述四個端口兩兩組合施加激勵；數據采集單元采集電阻橋式傳感器在施加激勵后的反饋并發送給MCU模塊；MCU模塊根據反饋值得出電阻橋式加速度傳感器四個端口兩兩之間的節點電阻值，并將節點電阻值發送給計算機；計算機根據節點電阻通過迭代法計算出每個橋臂電阻的阻值，結構簡單，使用方便?！綢PC分類】G01R27-02【公開號】CN104793057【申請號】CN201510208123【專利技術人】郭威, 方嵐, 孫麗麗, 卜令旗 【申請人】華東光電集成器件研究所【公開日】2015年7月22日【申請日】2015年4月28日本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種加速度傳感器橋臂電阻測試系統，其特征在于，所述測試系統包括MCU模塊，MCU模塊外圍設有與其相連的計算機、矩陣開關與數據采集單元，電阻橋式加速度傳感器的四個端口分別與矩陣開關相連，矩陣開關還連接有恒流源；所述測試系統還包括為數據采集單元、矩陣開關與MCU模塊供電的直流穩壓電源；MCU模塊控制矩陣開關的通斷，使恒流源通過矩陣開關對所述四個端口兩兩組合施加激勵；數據采集單元采集電阻橋式傳感器在施加激勵后的反饋并發送給MCU模塊；MCU模塊根據反饋值得出電阻橋式加速度傳感器四個端口兩兩之間的節點電阻值，并將節點電阻值發送給計算機；計算機根據節點電阻通過迭代法計算出每個橋臂電阻的阻值。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：郭威，方嵐，孫麗麗，卜令旗，
申請(專利權)人：華東光電集成器件研究所，
類型：發明
國別省市：安徽;34
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