氣動傳感器制造技術

本發明專利技術公開了一種氣動傳感器，包括：屏蔽殼、在屏蔽殼的部分或全部內側表面設置的絕緣層、及至少一個傳感單元；屏蔽殼上開設有至少兩個通氣口，氣流在通氣口之間通過；傳感單元包括：至少一層固定層和一層自由層；至少一層固定層固設在屏蔽殼上；自由層具有固定部和摩擦部；自由層的固定部與至少一層固定層或屏蔽殼固定連接；自由層通過摩擦部與至少一層固定層和/或屏蔽殼摩擦；其中，至少一層固定層和/或屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。該氣動傳感器制作成本低、輸出信號大，對外接信號處理電路要求低，并且減少了外界振動對氣動傳感器的干擾。

【技術實現步驟摘要】
氣動傳感器
本專利技術涉及傳感器
，具體涉及一種氣動傳感器。
技術介紹
隨著科技及人們生活需求的不斷發展，氣動傳感器在生活中的多個方面都得到了應用。但是現有的氣動傳感器存在制作成本高、制作工藝復雜、輸出信號偏小、對外接信號處理電路要求也較高的問題，而且還很容易受到外界振動的干擾。
技術實現思路
本專利技術的專利技術目的是針對現有技術的缺陷，提供了一種氣動傳感器，用于解決現有技術中的氣動傳感器的輸出信號小、對外接信號處理電路要求高、易受外界振動干擾的問題。本專利技術提供一種氣動傳感器，包括：屏蔽殼、在屏蔽殼的部分或全部內側表面設置的絕緣層、及至少一個傳感單元；屏蔽殼上開設有至少兩個通氣口，氣流在通氣口之間通過；傳感單元包括：至少一層固定層和一層自由層；至少一層固定層固設在屏蔽殼上；自由層具有固定部和摩擦部；自由層的固定部與至少一層固定層或屏蔽殼固定連接；自由層通過摩擦部與至少一層固定層和/或屏蔽殼摩擦；其中，至少一層固定層和/或屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。進一步，氣流的進氣方向平行于至少一層固定層所在平面或者氣流的進氣方向垂直于至少一層固定層所在平面。進一步，傳感單元包括：一層固定層和一層自由層；固定層包含電極，絕緣層設置在電極與屏蔽殼內側表面之間；自由層通過摩擦部與固定層和/或屏蔽殼摩擦，電極和屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。進一步，固定層為電極，或者，固定層為一側表面鍍有電極的高分子聚合物絕緣層。進一步，至少一層固定層為兩層，分別為第一固定層和第二固定層；第一固定層和第二固定層分離固設在屏蔽殼上，自由層位于第一固定層和第二固定層之間；第一固定層包含第一電極，絕緣層設置在第一電極與屏蔽殼內側表面之間；自由層的固定部與第一固定層或第二固定層固定連接，自由層通過摩擦部與第一固定層和/或第二固定層摩擦。進一步，第一固定層為第一電極，或者，第一固定層為一側表面鍍有第一電極的第一高分子聚合物絕緣層。進一步，第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，第一電極和屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。進一步，第二固定層包含第二電極，第二電極與屏蔽殼內側表面接觸，第一電極和屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。進一步，第二固定層包含第二電極，絕緣層還設置在第二電極與屏蔽殼內側表面之間；第一電極和第二電極為氣動傳感器的信號輸出端。進一步，第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，第一電極由兩個叉指電極組成，兩個叉指電極為氣動傳感器的信號輸出端。進一步，第二固定層包含第二電極，絕緣層還設置在第二電極與屏蔽殼內側表面之間；第一電極由兩個叉指電極組成，第二電極由兩個叉指電極組成，四個叉指電極為氣動傳感器的信號輸出端。進一步，第二固定層中間開設有與通氣口相對的集風口，第一固定層與屏蔽殼之間形成兩個與通氣口相對的出風口，自由層由對稱的兩個部分組成，自由層的固定部與所述屏蔽殼固定連接。進一步，第二固定層為第二電極，或者，第二固定層為一側表面鍍有第二電極的第二高分子聚合物絕緣層。進一步，傳感單元為多個，屏蔽殼內還設置有至少一個隔板，多個傳感單元通過隔板隔開，多個傳感單元并聯連接。進一步，傳感單元為多個，多個傳感單元通過絕緣層隔開，多個傳感單元并聯連接。進一步，自由層的固定部通過兩個墊片與至少一層固定層的一邊或對角固定連接，或者自由層的固定部通過四個墊片與至少一層固定層的四個角固定連接。進一步，屏蔽殼的材料為金屬材料，屏蔽殼接地。進一步，隔板與屏蔽殼的材料相同。進一步，在屏蔽殼的通氣口設置透氣屏蔽層，透氣屏蔽層為網狀金屬層或帶孔洞的金屬層。進一步，自由層經過預熱壓和預固化處理，使得自由層在迎風處具有彎曲結構或彎折結構。進一步，氣動傳感器的摩擦界面的兩層相對的面中至少一面設有微納結構。本專利技術提供另一種氣動傳感器，包括：屏蔽殼、在屏蔽殼的部分或全部內側表面設置的絕緣層、及至少一個傳感單元；屏蔽殼上開設有至少兩個通氣口，氣流在通氣口之間通過；傳感單元包括：自由層，自由層的一側表面鍍有電極；自由層具有固定部和摩擦部；自由層的固定部與屏蔽殼固定連接；自由層沒鍍電極的表面通過摩擦部與屏蔽殼摩擦；絕緣層設置在能夠與自由層鍍有電極的表面接觸的屏蔽殼的部分內側表面；其中，自由層的電極和/或屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。本專利技術提供另一種氣動傳感器，包括：屏蔽殼、在屏蔽殼的部分或全部內側表面設置的絕緣層、及至少一個傳感單元；屏蔽殼上開設有至少兩個通氣口，氣流在通氣口之間通過；傳感單元包括：至少一層固定層和自由層，自由層的一側表面鍍有電極，自由層具有固定部和摩擦部；至少一層固定層固設在屏蔽殼上；自由層的固定部與屏蔽殼或至少一層固定層固定連接，自由層沒鍍電極的表面通過摩擦部與固定層摩擦；絕緣層設置在能夠與自由層鍍有電極的表面接觸的屏蔽殼的部分內側表面；其中，自由層的電極和/或屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。本專利技術提供的氣動傳感器的制作成本低、輸出信號大，對外接信號處理電路要求低，可以輕易地通過氣動傳感器的電路設計來區分氣流和外界振動干擾產生的電信號，同時設置了屏蔽殼，從而進一步減少了外界振動對氣動傳感器的干擾，提高了氣動傳感器工作的準確性。附圖說明圖1a為本專利技術提供的氣動傳感器實施例一的截面結構示意圖；圖1b為本專利技術提供的氣動傳感器實施例一中屏蔽殼的正視圖一；圖1c為本專利技術提供的氣動傳感器實施例一中屏蔽殼的正視圖二；圖1d為本專利技術提供的氣動傳感器實施例一中屏蔽殼的正視圖三；圖2為本專利技術提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法一的示意圖；圖3為本專利技術提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法二的示意圖；圖4為本專利技術提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法三的示意圖；圖5為本專利技術提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法四的示意圖；圖6為本專利技術提供的自由層通過墊片與固定層固定連接方法五的示意圖；圖7為本專利技術提供的氣動傳感器實施例二的截面結構示意圖；圖8a為本專利技術提供的氣動傳感器實施例三的截面結構示意圖；圖8b為本專利技術提供的氣動傳感器實施例三中屏蔽殼的正視圖一；圖8c為本專利技術提供的氣動傳感器實施例三中屏蔽殼的正視圖二；圖9為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例四的截面結構示意圖；圖10為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例五的截面結構示意圖；圖11為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例六的截面結構示意圖；圖12a為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例七的截面結構示意圖；圖12b為叉指電極的設置圖；圖13為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例八的截面結構示意圖；圖14為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例九的截面結構示意圖；圖15為實施例九的第二固定層的縱截面示意圖；圖16為實施例九的第一固定層的縱截面示意圖；圖17為實施例九的自由層結構一縱截面示意圖；圖18為實施例九的自由層結構二縱截面示意圖；圖19為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例十的截面結構示意圖；圖20為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例十一的截面結構示意圖；圖21為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例十二的截面結構示意圖；圖22為本專利技術提供的氣動傳感器的實施例十三的截面結構示意圖；圖23a為自由層結構一的示意圖；圖23b為自由層結構二的示意圖。具體實施方式為充分了解本專利技術之目的、特征及功效，借由下述具體的實施方式，對本專利技術做詳細說明，但本專利技術并不僅僅限于此。本專利技術提供了一種氣動本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種氣動傳感器，其特征在于，包括：屏蔽殼、在所述屏蔽殼的部分或全部內側表面設置的絕緣層、及至少一個傳感單元；所述屏蔽殼上開設有至少兩個通氣口，氣流在通氣口之間通過；所述傳感單元包括：至少一層固定層和一層自由層；所述至少一層固定層固設在所述屏蔽殼上；所述自由層具有固定部和摩擦部；所述自由層的固定部與所述至少一層固定層或所述屏蔽殼固定連接；所述自由層通過摩擦部與所述至少一層固定層和/或所述屏蔽殼摩擦；其中，所述至少一層固定層和/或所述屏蔽殼為所述氣動傳感器的信號輸出端。

【技術特征摘要】
1.一種氣動傳感器，其特征在于，包括：屏蔽殼、在所述屏蔽殼的部分或全部內側表面設置的絕緣層、及至少一個傳感單元；所述屏蔽殼上開設有至少兩個通氣口，氣流在通氣口之間通過；所述傳感單元包括：至少一層固定層和一層自由層；所述至少一層固定層固設在所述屏蔽殼上；所述自由層具有固定部和摩擦部；所述自由層的固定部與所述至少一層固定層或所述屏蔽殼固定連接；所述自由層通過摩擦部與所述至少一層固定層和/或所述屏蔽殼摩擦；其中，所述至少一層固定層為所述氣動傳感器的信號輸出端，或者，所述至少一層固定層和所述屏蔽殼為所述氣動傳感器的信號輸出端。2.根據權利要求1所述的氣動傳感器，其特征在于，氣流的進氣方向平行于所述至少一層固定層所在平面或者氣流的進氣方向垂直于所述至少一層固定層所在平面。3.根據權利要求1所述的氣動傳感器，其特征在于，所述傳感單元包括：一層固定層和一層自由層；所述固定層包含電極，所述絕緣層設置在所述電極與所述屏蔽殼內側表面之間；所述自由層通過摩擦部與所述固定層和/或所述屏蔽殼摩擦，所述電極和所述屏蔽殼為所述氣動傳感器的信號輸出端。4.根據權利要求3所述的氣動傳感器，其特征在于，所述固定層為電極，或者，所述固定層為一側表面鍍有電極的高分子聚合物絕緣層。5.根據權利要求1所述的氣動傳感器，其特征在于，所述至少一層固定層為兩層，分別為第一固定層和第二固定層；所述第一固定層和所述第二固定層分離固設在所述屏蔽殼上，所述自由層位于所述第一固定層和所述第二固定層之間；所述第一固定層包含第一電極，所述絕緣層設置在所述第一電極與所述屏蔽殼內側表面之間；所述自由層的固定部與所述第一固定層或第二固定層固定連接，所述自由層通過摩擦部與所述第一固定層和/或所述第二固定層摩擦。6.根據權利要求5所述的氣動傳感器，其特征在于，所述第一固定層為第一電極，或者，所述第一固定層為一側表面鍍有第一電極的第一高分子聚合物絕緣層。7.根據權利要求6所述的氣動傳感器，其特征在于，所述第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，所述第一電極和所述屏蔽殼為所述氣動傳感器的信號輸出端。8.根據權利要求6所述的氣動傳感器，其特征在于，所述第二固定層包含第二電極，所述第二電極與所述屏蔽殼內側表面接觸，所述第一電極和所述屏蔽殼為所述氣動傳感器的信號輸出端。9.根據權利要求6所述的氣動傳感器，其特征在于，所述第二固定層包含第二電極，所述絕緣層還設置在所述第二電極與所述屏蔽殼內側表面之間；所述第一電極和所述第二電極為所述氣動傳感器的信號輸出端。10.根據權利要求6所述的氣動傳感器，其特征在于，所述第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，所述第一電極由兩個叉指電極組成，所述兩個叉指電極為所述氣動傳感器的信號輸出端。11.根據權利要求6所述的氣動傳感器，其特征在于，所述第二固定層包含第二電極，所述絕緣層還設置在所述第二電極與所述屏蔽殼內側表面之間；所述第一電極由兩個叉指電極組成，所述第二電極由兩個叉指電極組成，四個叉指電極為所述氣動傳感器的信號輸出端。12.根據權利要求6所述的氣動傳感器，其特征在于，所述第二固定層中間開設有與所述通氣口相對的集風口，所述第一固定層與所述屏蔽殼之間形成兩個與通氣口相對的出風口，所述自由層由對稱的兩個部分組成，自由層的固定部與所述屏蔽殼固定連接。13.根...

【專利技術屬性】
技術研發人員：孫利佳，林同福，趙豪，徐傳毅，
申請(專利權)人：納米新能源唐山有限責任公司，
類型：發明
國別省市：河北;13