本實(shí)用新型專利技術(shù)提供了一種柱狀樣品表面涂層工件架，所述工件架中的驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)主齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)；自傳齒輪通過自轉(zhuǎn)齒輪托架與主齒輪固定連接，主齒輪帶動(dòng)自轉(zhuǎn)齒輪在固定齒輪上轉(zhuǎn)動(dòng)；固定齒輪與固定中間軸固定連接，固定中間軸穿過主齒輪固定在真空鍍膜設(shè)備的基座上。其中自轉(zhuǎn)齒輪和自轉(zhuǎn)齒輪托架通過軸承連接，主齒輪和固定中間軸通過軸承連接。工作時(shí)，柱狀樣品在自轉(zhuǎn)齒輪的帶動(dòng)下自轉(zhuǎn)，同時(shí)圍繞固定中間軸公轉(zhuǎn)，可以得到柱狀樣品表面均勻涂層。本實(shí)用新型專利技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架結(jié)構(gòu)簡單、便于拆卸，能夠在真空室內(nèi)使用，能夠獲得柱狀樣品表面的均勻涂層。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)屬于真空鍍膜設(shè)備
，具體涉及一種柱狀樣品表面涂層工件架。
技術(shù)介紹
在科研和生產(chǎn)活動(dòng)中，越來越多的需要在柱狀樣品表面制備各種均勻涂層，在ICF(慣性約束聚變)物理實(shí)驗(yàn)中，需要制備各種金屬柱腔，以實(shí)現(xiàn)科學(xué)研宄的目的。名稱為“一種應(yīng)用于真空涂層領(lǐng)域的新型工件架”(專利號(hào):ZL201120223819.6)和“真空鍍膜機(jī)工件架”(專利號(hào):ZL201020609806.8)的中國專利公開了兩種用于真空鍍膜的工件架，但是以上兩種工件架均不能很好的實(shí)現(xiàn)柱狀樣品表面涂層的均勻涂鍍。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)要解決的技術(shù)問題是提供一種柱狀樣品表面涂層工件架。本技術(shù)的技術(shù)方案是本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架，其特點(diǎn)是，所述的工件架包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)齒輪、主齒輪、固定中間軸、固定齒輪、自轉(zhuǎn)齒輪托架、自轉(zhuǎn)齒輪、柱狀樣品固定部件。其連接關(guān)系是，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)與驅(qū)動(dòng)齒輪連接，驅(qū)動(dòng)齒輪與主齒輪連接。在所述主齒輪的軸心設(shè)置有固定中間軸，主齒輪與固定中間軸通過軸承連接。所述的固定中間軸的一端固定設(shè)置有固定齒輪，另一端穿過主齒輪固定外接在真空鍍膜設(shè)備的基座上。所述的固定齒輪與主齒輪平行設(shè)置。在所述的主齒輪的圓周上均勻設(shè)置有自轉(zhuǎn)齒輪托架，自轉(zhuǎn)齒輪托架與主齒輪固定連接。所述的固定齒輪的圓周上均勻固定設(shè)置有自轉(zhuǎn)齒輪。所述的自轉(zhuǎn)齒輪的一端與自轉(zhuǎn)齒輪托架通過軸承連接，另一端與柱狀樣品固定部件固定套接。所述的主齒輪、固定中間軸、固定齒輪為同軸心設(shè)置。所述的自轉(zhuǎn)齒輪托架、自轉(zhuǎn)齒輪、柱狀樣品固定部件為對(duì)應(yīng)設(shè)置，自轉(zhuǎn)齒輪托架、自轉(zhuǎn)齒輪、柱狀樣品固定部件設(shè)置數(shù)量均為八~十二個(gè)。本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架中的柱狀樣品固定部件中軸線上設(shè)有柱狀樣品的安裝孔，工作時(shí)將柱狀樣品嵌套固定在安裝孔中，柱狀樣品在自轉(zhuǎn)齒輪的帶動(dòng)下自轉(zhuǎn)，同時(shí)柱狀樣品與自轉(zhuǎn)齒輪固定并在固定齒輪上圍繞固定中間軸公轉(zhuǎn)，這樣涂鍍過程中柱狀樣品同時(shí)保持公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，可以得到柱狀樣品表面均勻涂層。本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架結(jié)構(gòu)簡單、便于拆卸，能夠在真空室內(nèi)使用，柱狀樣品表面涂層均勻。【附圖說明】圖1為本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架中的局部俯視圖；圖3為本技術(shù)中的自傳齒輪、柱狀樣品固定部件與柱狀樣品的結(jié)構(gòu)分解圖；圖中，1.驅(qū)動(dòng)電機(jī) 2.驅(qū)動(dòng)齒輪 3.主齒輪 4.固定中間軸 5.固定齒輪 6.自轉(zhuǎn)齒輪托架 7.自轉(zhuǎn)齒輪 8.柱狀樣品固定部件。【具體實(shí)施方式】下面結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)作具體描述:實(shí)施例1圖1為本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架中的局部俯視圖，圖2中，自轉(zhuǎn)齒輪托6、自轉(zhuǎn)齒輪7、柱狀樣品固定部件8對(duì)應(yīng)設(shè)置。圖3為本技術(shù)中的自傳齒輪、柱狀樣品固定部件與柱狀樣品的結(jié)構(gòu)分解圖。在圖1~圖3中，本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)1、驅(qū)動(dòng)齒輪2、主齒輪3、固定中間軸4、固定齒輪5、自轉(zhuǎn)齒輪托架6、自轉(zhuǎn)齒輪7、柱狀樣品固定部件8 ;其連接關(guān)系是，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)I與驅(qū)動(dòng)齒輪2連接，驅(qū)動(dòng)齒輪2與主齒輪3連接。在所述主齒輪3的軸心設(shè)置有固定中間軸4，主齒輪3與固定中間軸4通過軸承連接。所述的固定中間軸4的一端固定設(shè)置有固定齒輪5，另一端穿過主齒輪3固定外接在真空鍍膜設(shè)備的基座上；所述的固定齒輪5與主齒輪3平行設(shè)置。在所述的主齒輪3的圓周上均勻設(shè)置有自轉(zhuǎn)齒輪托架6，自轉(zhuǎn)齒輪托架6與主齒輪3固定連接；所述的固定齒輪5的圓周上均勻固定設(shè)置有自轉(zhuǎn)齒輪7 ;所述的自轉(zhuǎn)齒輪7的一端與自轉(zhuǎn)齒輪托架6通過軸承連接，另一端與柱狀樣品固定部件8的一端固定套接，柱狀樣品固定部件8的另一端與柱狀樣品嵌套。所述的主齒輪3、固定中間軸4、固定齒輪5為同軸心設(shè)置。所述的自轉(zhuǎn)齒輪托架6、自轉(zhuǎn)齒輪7、柱狀樣品固定部件8為對(duì)應(yīng)設(shè)置，自轉(zhuǎn)齒輪托架6、自轉(zhuǎn)齒輪7、柱狀樣品固定部件8設(shè)置數(shù)量均為八一一十二個(gè)。本實(shí)施例中，自轉(zhuǎn)齒輪托架設(shè)置有八個(gè)，自轉(zhuǎn)齒輪托架6是其中一個(gè)；自轉(zhuǎn)齒輪設(shè)置有八個(gè)，自轉(zhuǎn)齒輪7是其中一個(gè)；柱狀樣品固定部件設(shè)置有八個(gè)，柱狀樣品固定部件8是其中一個(gè)。本技術(shù)在工作時(shí)將柱狀樣品嵌套固定在柱狀樣品固定部件8的安裝孔中，柱狀樣品在自轉(zhuǎn)齒輪7的帶動(dòng)下自轉(zhuǎn)，同時(shí)柱狀樣品與自傳齒輪7固定并在固定齒輪5上圍繞固定中間軸4公轉(zhuǎn)，這樣涂鍍過程中柱狀樣品同時(shí)保持公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，可以得到柱狀樣品表面均勻涂層。柱狀樣品固定部件8的中間軸與自轉(zhuǎn)齒輪7的中間軸成小于45度的角，這樣自轉(zhuǎn)齒輪7轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，柱狀樣品會(huì)圍繞自轉(zhuǎn)齒輪7中間軸擺動(dòng)，進(jìn)一步提高柱狀樣品拐角處的厚度均勻性。實(shí)施例2本實(shí)施例與實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)相同，不同之處是，設(shè)置的自轉(zhuǎn)齒輪托架為十二個(gè)；自轉(zhuǎn)齒輪設(shè)置為十二個(gè)；柱狀樣品固定部件設(shè)置為十二個(gè)。【主權(quán)項(xiàng)】1.一種柱狀樣品表面涂層工件架，其特征在于，所述的工件架包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(1)、驅(qū)動(dòng)齒輪(2)、主齒輪(3)、固定中間軸(4)、固定齒輪(5)、自轉(zhuǎn)齒輪托架(6)、自轉(zhuǎn)齒輪(7)、柱狀樣品固定部件(8);其連接關(guān)系是，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(I)與驅(qū)動(dòng)齒輪(2)連接，驅(qū)動(dòng)齒輪(2)與主齒輪(3)連接；在所述主齒輪(3)的軸心設(shè)置有固定中間軸(4)，主齒輪(3)與固定中間軸(4)通過軸承連接；所述的固定中間軸(4)的一端固定設(shè)置有固定齒輪(5)，另一端穿過主齒輪(3)固定外接在真空鍍膜設(shè)備的基座上；所述的固定齒輪(5)與主齒輪(3)平行設(shè)置；在所述的主齒輪(3)的圓周上均勻設(shè)置有自轉(zhuǎn)齒輪托架(6)，自轉(zhuǎn)齒輪托架(6)與主齒輪(3)固定連接；所述的固定齒輪(5)的圓周上均勻固定設(shè)置有自轉(zhuǎn)齒輪(7);所述的自轉(zhuǎn)齒輪(7)的一端與自轉(zhuǎn)齒輪托架(6)通過軸承連接，另一端與柱狀樣品固定部件(8)固定套接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柱狀樣品表面涂層工件架，其特征在于，所述的主齒輪(3)、固定中間軸(4)、固定齒輪(5)為同軸心設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柱狀樣品表面涂層工件架，其特征在于，所述的自轉(zhuǎn)齒輪托架(6 )、自轉(zhuǎn)齒輪(7 )、柱狀樣品固定部件(8 )為對(duì)應(yīng)設(shè)置，自轉(zhuǎn)齒輪托架(6 )、自轉(zhuǎn)齒輪(7 )、柱狀樣品固定部件(8 )設(shè)置數(shù)量均為八~十二個(gè)。【專利摘要】本技術(shù)提供了一種柱狀樣品表面涂層工件架，所述工件架中的驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)主齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)；自傳齒輪通過自轉(zhuǎn)齒輪托架與主齒輪固定連接，主齒輪帶動(dòng)自轉(zhuǎn)齒輪在固定齒輪上轉(zhuǎn)動(dòng)；固定齒輪與固定中間軸固定連接，固定中間軸穿過主齒輪固定在真空鍍膜設(shè)備的基座上。其中自轉(zhuǎn)齒輪和自轉(zhuǎn)齒輪托架通過軸承連接，主齒輪和固定中間軸通過軸承連接。工作時(shí)，柱狀樣品在自轉(zhuǎn)齒輪的帶動(dòng)下自轉(zhuǎn)，同時(shí)圍繞固定中間軸公轉(zhuǎn)，可以得到柱狀樣品表面均勻涂層。本技術(shù)的柱狀樣品表面涂層工件架結(jié)構(gòu)簡單、便于拆卸，能夠在真空室內(nèi)使用，能夠獲得柱狀樣品表面的均勻涂層。【IPC分類】C23C14-50【公開號(hào)】CN204529969【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520177601【專利技術(shù)人】劉艷松, 何智兵, 許華, 李俊, 何小珊, 王濤 【申請(qǐng)人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心【公開日】2015年8月5日【申請(qǐng)日】2015年3月27日本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種柱狀樣品表面涂層工件架，其特征在于，所述的工件架包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)（1）、驅(qū)動(dòng)齒輪（2）、主齒輪（3）、固定中間軸（4）、固定齒輪（5）、自轉(zhuǎn)齒輪托架（6）、自轉(zhuǎn)齒輪（7）、柱狀樣品固定部件（8）；其連接關(guān)系是，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)（1）與驅(qū)動(dòng)齒輪（2）連接，驅(qū)動(dòng)齒輪（2）與主齒輪（3）連接；在所述主齒輪（3）的軸心設(shè)置有固定中間軸（4），主齒輪（3）與固定中間軸（4）通過軸承連接；所述的固定中間軸（4）的一端固定設(shè)置有固定齒輪（5），另一端穿過主齒輪（3）固定外接在真空鍍膜設(shè)備的基座上；所述的固定齒輪（5）與主齒輪（3）平行設(shè)置；在所述的主齒輪（3）的圓周上均勻設(shè)置有自轉(zhuǎn)齒輪托架（6），自轉(zhuǎn)齒輪托架（6）與主齒輪（3）固定連接；所述的固定齒輪（5）的圓周上均勻固定設(shè)置有自轉(zhuǎn)齒輪（7）；所述的自轉(zhuǎn)齒輪（7）的一端與自轉(zhuǎn)齒輪托架（6）通過軸承連接，另一端與柱狀樣品固定部件（8）固定套接。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉艷松，何智兵，許華，李俊，何小珊，王濤，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中國工程物理研究院激光聚變研究中心，
類型：新型
國別省市：四川;51
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