帶電粒子束裝置以及程序制造方法及圖紙

在第1調整滑塊(205)位于設定值調整軸(203)的第1設定值調整軸顯示部(202)所顯示的范圍中的兩端部以外的位置的情況下，相對于所述第1調整滑塊(205)的移動距離減小所述第2調整滑塊(204)的移動距離，并且在第1調整滑塊(205)位于設定值調整軸(203)的第1設定值調整軸顯示部(202)所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且第2調整滑塊(204)位于兩端部以外的位置的情況下，通過光標(220)選擇操作了第1調整滑塊(205)時，不移動第1調整滑塊(204)，僅使第2調整滑塊(205)向一方的端部方向移動。由此，能夠容易且準確地進行動作控制所涉及的設定值的粗調整和微調整。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】帶電粒子束裝置及其方法
本專利技術涉及一種通過向試樣照射帶電粒子束來進行該試樣的圖像取得等的帶電粒子束裝置及其方法。
技術介紹
帶電粒子束裝置通過向對象試樣照射帶電粒子束，來進行對象試樣的觀察或分析等。例如，在掃描電子顯微鏡(SEM:ScanningElectronMicroscope)或透射型電子顯微鏡(TEM:TransmissionElectronMicroscope)中，為了根據通過向對象試樣照射帶電粒子束而得到的各種信息來生成對象試樣的顯微鏡像，取得適用于該試樣的觀察的圖像，要求進行與帶電粒子束裝置的動作相關的各種設定值的細微調整。此外，在掃描電子顯微鏡或透射型電子顯微鏡中，如在使用帶電粒子束的其他多個裝置中看到那樣，大多情況下與動作相關的設定值的調整范圍非常廣，因此在該較廣的設定范圍中需要進行較大地變更各設定值的調整和細微地變更的調整這兩者。關于這樣的帶電粒子束裝置的設定值的調整，例如在專利文獻1(日本特開2007－242432號公報)中公開了如下的帶電粒子束裝置，即為了控制帶電粒子束裝置，且為了變更帶電粒子束裝置所具備的至少成為一個控制對象的裝置的設定值來控制裝置，而具備具有以用戶能夠移動操作其位置的方式設置的標記的圖形用戶界面上的滑塊和用于進行標記位置的移動操作的指示器。現有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2007－242432號公報
技術實現思路
專利技術要解決的問題然而，在上述現有技術中，當用戶激活了滑塊上的標記位置的移動操作時，通過變換單元將取得的從標記基準位置開始的位移量換算成變更速度值，將基于該換算值的指令以由定時器設定的一定時間間隔發送給裝置。然后，在標記位置的移動操作激活的期間，繼續進行對根據重新取得的從標記的基準位置開始的位移量更新后的指令進行裝置發送的處理，由此根據從標記的基準位置開始的位移量使裝置設定值的變更速度變化。也就是說，由于是在標記位置的移動操作激活的期間繼續進行裝置設定值的變更的結構，因此很難在目標值停止設定值的變更，從而需要反復進行多次設定值的變更。本專利技術是鑒于上述問題而提出的，其目的是提供一種能夠容易且準確地進行與動作控制相關的設定值的粗調整和微調整的帶電粒子束裝置以及能夠實現它的程序。用于解決課題的手段為了實現上述目的，本專利技術的通過向試樣照射帶電粒子束來生成所述試樣的圖像的帶電粒子束裝置，具備：顯示裝置，其至少顯示用于顯示所述試樣的圖像的圖像顯示部；指示器，其為了進行在所述顯示裝置的畫面上配置的對象的選擇或移動等操作，而進行在所述畫面上顯示的光標的操作；第1設定值調整軸顯示部，其與所述圖像顯示部被并排配置在所述顯示裝置的畫面上，顯示用于調整在所述帶電粒子束裝置的控制中使用的至少一個設定值的設定值調整軸的局部；第1調整滑塊，其被配置在所述設定值調整軸上，并被設置成通過由所述指示器操作的光標而能夠沿著所述設定值調整軸移動；第2調整滑塊，其被配置在所述設定值調整軸上，根據所述設定值調整軸上的位置設定所述設定值，使所述第2調整滑塊與基于所述光標的所述第1調整滑塊的移動操作聯動地沿著所述設定值調整軸移動，在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的兩端部以外的位置的情況下，相對于所述第1調整滑塊的移動距離減小所述第2調整滑塊的移動距離，并且在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調整滑塊位于所述兩端部以外的位置的情況下，通過所述光標對所述第1調整滑塊進行了預定的操作時，不移動所述第1調整滑塊，僅使所述第2調整滑塊向所述一方的端部方向移動。專利技術效果根據本專利技術，能夠容易且準確地進行與動作控制相關的設定值的粗調整和微調整。附圖說明圖1是表示本實施方式的掃描電子顯微鏡的整體結構的圖。圖2是概要性地表示控制部的處理功能的基本結構的圖。圖3是表示進行在基于計算機部的掃描電子顯微鏡的動作控制中所使用的各種數值的設定的數值設定畫面的圖。圖4是表示設定值調整軸的整體的圖。圖5是表示顯示第2設定值調整軸顯示部的情況的圖。圖6是表示通過光標選擇了第1調整滑塊時的基于計算機部的數值設定部顯示處理的細節的流程圖。圖7是表示通過光標選擇了第2調整滑塊時的基于計算機部的數值設定部顯示處理的細節的流程圖。具體實施方式以下，作為本專利技術的實施方式的帶電粒子束裝置的一例列舉了掃描電子顯微鏡，并參照附圖詳細地進行說明。圖1是表示本實施方式的掃描電子顯微鏡的整體結構的圖。在圖1中，掃描電子顯微鏡(SEM：ScanningElectronMicroscope)大致由電子槍1、陽極2、聚光透鏡3、偏轉器5、物鏡6、試樣工作臺9、二次電子檢測器11以及包含主控制部14、計算機部15等的控制部100構成。將電子槍1、陽極2、聚光透鏡3、偏轉器5、物鏡6、試樣工作臺9以及二次電子檢測器11配置在未圖示的試樣室內，各自的動作通過控制部100的主控制部14來控制。電子槍1是發射用于向作為觀察對象的試樣17照射的電子束(一次電子束)4的部件。從電子槍向試樣17的方向發射的一次電子束4通過陽極2被加速，通過聚光透鏡3接受會聚作用，經過偏轉器5后通過物鏡6的會聚作用進一步被收縮后，向配置在試樣工作臺9的試樣臺8上的試樣17照射。試樣工作臺9具有根據來自主控制部14的控制信號對試樣工作臺9的動作進行控制的工作臺控制部10。試樣工作臺9被設置成通過由工作臺控制部10控制的驅動裝置(未圖示)而能夠向前后、左右、上下方向移動，并能夠對配置在試樣臺8上的試樣17進行任意的定位。偏轉器5具有根據來自主控制部14的控制信號對向偏轉器5供給的偏轉電流進行控制的偏轉控制部18。偏轉器5通過從偏轉控制部18供給的偏轉電流的作用使一次電子束4進行偏轉，由此以二維方式掃描試樣的表面。二次電子檢測器11具有：放大器12，其放大檢測信號；以及圖像存儲部13，其存儲放大后的檢測信號，并且發送給主控制部14。通過基于一次電子束4的試樣17的掃描而產生的二次電子7被二次電子檢測器11檢測出后發送給主控制部14。在主控制部14中，使用于控制偏轉器5的控制信號與基于二次電子檢測器11的檢測信號同步，由此生成試樣17的圖像。控制部100具有：控制掃描電子顯微鏡整體的動作的主控制部14、用于進行基于操作員(用戶)的各種設定或操作的計算機部15(例如，PC等計算機)以及專用操作面板21。計算機部15具備：鼠標19或鍵盤20等操作/輸入裝置、存儲在掃描電子顯微鏡的動作控制中使用的各種程序或生成的試樣圖像等各種數據的存儲部22(例如，硬盤)以及用于顯示設定畫面或生成的試樣圖像等的顯示部16(例如，液晶監視器)。鼠標19或鍵盤20、顯示部16的數值設定畫面200(參照后面的圖3等)等形成用于操作掃描電子顯微鏡的GUI(GraphicalUserInterface，圖形用戶界面)。鼠標19是為了進行在顯示部16(顯示裝置)的畫面上配置的對象的選擇或移動等操作，而操作在畫面上顯示的光標220的指示器。存儲在存儲部22中的程序有：用于進行使用GUI來進行在動作控制中使用的數值的設定的數值設定部顯示處理(后述)的程序，或針對試樣17進行一次電子束4的掃描或二次電本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種帶電粒子束裝置，其通過向試樣照射帶電粒子束來生成所述試樣的圖像，該帶電粒子束裝置的特征在于，具備：顯示裝置，其至少顯示用于顯示所述試樣的圖像的圖像顯示部；指示器，其為了進行在所述顯示裝置的畫面上配置的對象的選擇或移動等操作，而進行在所述畫面上顯示的光標的操作；第1設定值調整軸顯示部，其與所述圖像顯示部并排配置在所述顯示裝置的畫面上，顯示用于調整在所述帶電粒子束裝置的控制中所使用的至少一個設定值的設定值調整軸的局部；第1調整滑塊，其被配置在所述設定值調整軸上，并被設置成通過由所述指示器操作的光標而能夠沿著所述設定值調整軸移動；第2調整滑塊，其被配置在所述設定值調整軸上，并根據所述設定值調整軸上的位置設定所述設定值；以及控制裝置，其是使所述第2調整滑塊與基于所述光標的所述第1調整滑塊的移動操作聯動地沿著所述設定值調整軸移動的控制裝置，在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的兩端部以外的位置的情況下，相對于所述第1調整滑塊的移動距離減小所述第2調整滑塊的移動距離，并且在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調整滑塊位于所述兩端部以外的位置的情況下，通過所述光標選擇操作了所述第1調整滑塊時，不移動所述第1調整滑塊，僅使所述第2調整滑塊向所述一方的端部的方向移動。...

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2012.11.27 JP 2012-2589671.一種帶電粒子束裝置，其通過向試樣照射帶電粒子束來生成所述試樣的圖像，該帶電粒子束裝置的特征在于，具備：顯示裝置，其至少顯示用于顯示所述試樣的圖像的圖像顯示部；指示器，其為了進行在所述顯示裝置的畫面上配置的對象的選擇或移動操作，而進行在所述畫面上顯示的光標的操作；第1設定值調整軸顯示部，其與所述圖像顯示部并排配置在所述顯示裝置的畫面上，顯示用于調整在所述帶電粒子束裝置的控制中所使用的至少一個設定值的設定值調整軸的局部；第1調整滑塊，其被配置在所述設定值調整軸上，并被設置成通過由所述指示器操作的光標而能夠沿著所述設定值調整軸移動；第2調整滑塊，其被配置在所述設定值調整軸上，并根據所述設定值調整軸上的位置設定所述設定值；以及控制裝置，其是使所述第2調整滑塊與基于所述光標的所述第1調整滑塊的移動操作聯動地沿著所述設定值調整軸移動的控制裝置，在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的兩端部以外的位置的情況下，相對于所述第1調整滑塊的移動距離減小所述第2調整滑塊的移動距離，并且在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調整滑塊位于所述兩端部以外的位置的情況下，通過所述光標選擇操作了所述第1調整滑塊時，不移動所述第1調整滑塊，僅使所述第2調整滑塊向所述一方的端部的方向移動。2.一種帶電粒子束裝置，其通過向試樣照射帶電粒子束來生成所述試樣的圖像，該帶電粒子束裝置的特征在于，具備：顯示裝置，其至少顯示用于顯示所述試樣的圖像的圖像顯示部；指示器，其為了進行在所述顯示裝置的畫面上配置的對象的選擇或移動操作，而進行在所述畫面上顯示的光標的操作；第1設定值調整軸顯示部，其與所述圖像顯示部并排配置在所述顯示裝置的畫面上，顯示用于調整在所述帶電粒子束裝置的控制中所使用的至少一個設定值的設定值調整軸的局部；第1調整滑塊，其被配置在所述設定值調整軸上，并被設置成通過由所述指示器操作的光標而能夠沿著所述設定值調整軸移動；第2調整滑塊，其被配置在所述設定值調整軸上，根據所述設定值調整軸上的位置設定所述設定值；以及控制裝置，其是使所述第2調整滑塊與基于所述光標的所述第1調整滑塊的移動操作聯動地沿著所述設定值調整軸移動的控制裝置，在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的兩端部以外的位置的情況下，相對于所述第1調整滑塊的移動距離減小所述第2調整滑塊的移動距離，并且在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調整滑塊位于所述兩端部以外的位置的情況下，通過所述光標將所述第1調整滑塊移動操作至所述設定值調整軸的一方的端部側時，不移動所述第1調整滑塊，僅使所述第2調整滑塊向所述一方的端部的方向移動。3.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調整滑塊移動而到達在所述第1設定值調整軸顯示部中預先決定的位置的情況下，所述控制裝置使所述第1設定值調整軸顯示部中的所述設定值調整軸的顯示范圍與所述第2調整滑塊的移動一致地向所述一方的端部的方向相對地移動。4.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調整滑塊移動而到達在所述第1設定值調整軸顯示部中預先決定的位置的情況下，所述控制裝置將所述第1設定值調整軸顯示部中的所述設定值調整軸的顯示范圍切換成包含所述第2調整滑塊的位置的所述一方的端部側的范圍。5.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調整滑塊移動而到達在所述第1設定值調整軸顯示部中預先決定的位置的情況下，所述控制裝置顯示該情況的主旨。6.根據權利要求3所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，在所述第1調整滑塊位于所述設定值調整軸的所述第1設定值調整軸顯示部所顯示的范圍中的至少一方的端部的位置，且所述第2調整滑塊移動而到達在所述第1設定值調整軸顯示部中預先決定的位置的情況下，所述控制裝置將用于顯示所述設定值調整軸整體和所述第2調整滑塊在所述設定值調整軸上的位置的第2設定值調整軸顯示部與所述第1設定值調整軸顯示部并排顯示。7.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，在通過所述光標操作了所述第2調整滑塊的情況下，所述控制裝置至少使所述第1調整滑塊向所述第1設定值調整軸顯示部的中央移動。8.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，該帶電粒子束裝置具備配置在所述設定值調整軸上的規定值設定部，在通過所述光標選擇操作了所述規定值設定部的情況下，所述控制裝置使所述第1調整滑塊和第2調整滑塊向所述設定值調整軸上的預先決定的設定值移動。9.一種帶電粒子束裝置的方法，其中，該帶電粒子束裝置具備：控制裝置，其控制通過向試樣照...

【專利技術屬性】
技術研發人員：山下貢，安藤徹，小西彌生，玉山尚太朗，牛尾奈緒子，高野昌樹，
申請(專利權)人：株式會社日立高新技術，
類型：發明
國別省市：日本;JP