線切割工藝中用的脫膠槽，包括一級脫膠室和二級脫膠室，所述的一級脫膠室和二級脫膠室并排設置，所述的一級脫膠室和二級脫膠室的頂端都設置有密封蓋，關鍵是：所述的一級脫膠室和二級脫膠室借助連通管相連通，所述的連通管包括第一連通管和第二連通管，所述的第二連通管上固定有循環泵。本實用新型專利技術涉及單晶硅行業技術領域，特別是線切割工藝中用的脫膠槽。本實用新型專利技術的有益效果是，將一級脫膠室和二級脫膠室相連通，并在循環泵的作用下使兩個脫膠室內的酸液循環流通，避免硅棒從一級脫膠室拿到二級脫膠室后酸液容量改變，和脫膠室靜置發生分層現象的發生。
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及單晶硅行業
，特別是線切割工藝中用的脫膠槽。
技術介紹
現有的脫膠槽，包括一級脫膠室和二級脫膠室，在脫膠室內盛有酸性溶液，溫度需要控制在54攝氏度，單晶硅需要先在一級脫膠室內進行第一次脫膠，再在二級脫膠室內進行第二次脫膠，但是將單晶硅從一級脫膠室拿出到二級脫膠室內時，會將一級脫膠室內的酸液帶入一部分到二級脫膠室內，多次操作后會使一級脫膠室內的酸液減少和二級脫膠室內增多，從而需要對一級脫膠室進行加液操作并對二級脫膠室進行排液操作，造成不必要的浪費，并且一級脫膠室和二級脫膠室內酸液為不流通的“死水”狀態，長時間靜置后會出現酸液與水的分層現象，導致脫膠的效果下降。
技術實現思路
為了克服現有技術的不足，本技術設計了線切割工藝中用的脫膠槽，將一級脫膠室和二級脫膠室相連通，使酸液循環流通，避免酸液的浪費和脫膠室內分層現象的發生。本技術采用的技術方案是，線切割工藝中用的脫膠槽，包括一級脫膠室和二級脫膠室，所述的一級脫膠室和二級脫膠室并排設置，所述的一級脫膠室和二級脫膠室的頂端都設置有密封蓋，關鍵是:所述的一級脫膠室和二級脫膠室借助連通管相連通，所述的連通管包括第一連通管和第二連通管，所述的第二連通管上固定有循環泵。所述的一級脫膠室內設置有加熱棒。所述的二級脫膠室內設置有加熱棒。所述的第一連通管與第二連通管上下對稱設置。所述的第一連通管與第二連通管并排設置。本技術的有益效果是，將一級脫膠室和二級脫膠室相連通，并在循環泵的作用下使兩個脫膠室內的酸液循環流通，避免硅棒從一級脫膠室拿到二級脫膠室后酸液容量改變，和脫膠室靜置發生分層現象的發生。【附圖說明】圖1是本技術的結構示意圖。附圖中，I是一級脫膠室，2是二級脫膠室，3是密封蓋，4是第一連通管，5是第二連通管，6是循環泵，7是加熱棒。【具體實施方式】下面結合附圖對本技術做進一步說明。具體實施例，如圖1所示，線切割工藝中用的脫膠槽，包括一級脫膠室I和二級脫膠室2，所述的一級脫膠室I和二級脫膠室2并排設置，為了避免脫膠室內酸液的揮發，所述的一級脫膠室I和二級脫膠室2的頂端都設置有密封蓋3，為了避免硅棒從一級脫膠室拿到二級脫膠室后酸液容量發生改變，該裝置設計為所述的一級脫膠室I和二級脫膠室2借助連通管相連通，所述的連通管包括第一連通管4和第二連通管5，由于脫膠室內溫度需要控制在54攝氏度，當溫度降低時，一級脫膠室I內設置有加熱棒7，二級脫膠室2內設置有加熱棒7，通過加熱棒7和控制開關來控制溫度，所述的第一連通管4與第二連通管5上下對稱設置，或者所述的第一連通管4與第二連通管5并排設置，所述的第二連通管5上固定有循環泵6，循環泵6為一級脫膠室I和二級脫膠室2內的酸液循環流通提供動力。該裝置將一級脫膠室和二級脫膠室相連通，并在循環泵的作用下使兩個脫膠室內的酸液循環流通，避免硅棒從一級脫膠室拿到二級脫膠室后酸液容量改變，和脫膠室靜置發生分層現象的發生。【主權項】1.線切割工藝中用的脫膠槽，包括一級脫膠室(I)和二級脫膠室(2)，所述的一級脫膠室(I)和二級脫膠室(2)并排設置，所述的一級脫膠室(I)和二級脫膠室(2)的頂端都設置有密封蓋(3)，其特征在于:所述的一級脫膠室(I)和二級脫膠室(2)借助連通管相連通，所述的連通管包括第一連通管(4)和第二連通管(5)，所述的第二連通管(5)上固定有循環泵出)。2.根據權利要求1所述的線切割工藝中用的脫膠槽，其特征在于:所述的一級脫膠室(1)內設置有加熱棒(X)。3.根據權利要求1所述的線切割工藝中用的脫膠槽，其特征在于:所述的二級脫膠室(2)內設置有加熱棒(7)。4.根據權利要求1所述的線切割工藝中用的脫膠槽，其特征在于:所述的第一連通管(4)與第二連通管(5)上下對稱設置。5.根據權利要求1所述的線切割工藝中用的脫膠槽，其特征在于:所述的第一連通管(4)與第二連通管(5)并排設置。【專利摘要】線切割工藝中用的脫膠槽，包括一級脫膠室和二級脫膠室，所述的一級脫膠室和二級脫膠室并排設置，所述的一級脫膠室和二級脫膠室的頂端都設置有密封蓋，關鍵是：所述的一級脫膠室和二級脫膠室借助連通管相連通，所述的連通管包括第一連通管和第二連通管，所述的第二連通管上固定有循環泵。本技術涉及單晶硅行業
，特別是線切割工藝中用的脫膠槽。本技術的有益效果是，將一級脫膠室和二級脫膠室相連通，并在循環泵的作用下使兩個脫膠室內的酸液循環流通，避免硅棒從一級脫膠室拿到二級脫膠室后酸液容量改變，和脫膠室靜置發生分層現象的發生。【IPC分類】B28D5-04【公開號】CN204566419【申請號】CN201520164307【專利技術人】王聰, 陳世杰, 李世杰, 朱琛浩, 李其甲, 田會藏 【申請人】寧晉賽美港龍電子材料有限公司【公開日】2015年8月19日【申請日】2015年3月23日本文檔來自技高網...
【技術保護點】
線切割工藝中用的脫膠槽，包括一級脫膠室(1)和二級脫膠室(2)，所述的一級脫膠室(1)和二級脫膠室(2)并排設置，所述的一級脫膠室(1)和二級脫膠室(2)的頂端都設置有密封蓋(3)，其特征在于：所述的一級脫膠室(1)和二級脫膠室(2)借助連通管相連通，所述的連通管包括第一連通管(4)和第二連通管(5)，所述的第二連通管(5)上固定有循環泵(6)。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：王聰，陳世杰，李世杰，朱琛浩，李其甲，田會藏，
申請(專利權)人：寧晉賽美港龍電子材料有限公司，
類型：新型
國別省市：河北;13
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