偏振光照射裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種偏振光照射裝置，可在照射范圍內獲得良好的偏振軸特性。本發明專利技術具備光源(5)、濾光器(20)、偏振元件(25)、偏振元件保持部(26)以及遮光板(30)。光源(5)射出光。濾光器(20)被照射自光源(5)射出的光而射出紫外線。偏振元件(25)配設在濾光器(20)的與光源(5)相對向的一側，入射紫針線且出射偏振光。偏振元件保持部(26)保持偏振元件(25)且具有使自偏振元件(25)出射的偏振光透射的開口部(27)。遮光板(30)配設在偏振元件保持部(26)的與光源(5)相對向的一側，且包圍開口部(27)而配設。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術的實施形態涉及一種用于液晶面板制造等中的偏振光照射裝置。
技術介紹
作為在液晶面板等的制造時對取向膜進行取向處理時的技術，已知有摩擦 (riAbing)工序，但近年來，作為代替摩擦工序的技術，通過對取向膜照射既定波長的偏振 光而進行取向處理即所謂的光取向的技術受到關注。作為用W進行所述光取向的裝置即偏 振光照射裝置，例如提出了將作為線狀光源的棒狀燈、與具有線柵（wire grid)狀的柵格的 線柵偏振元件組合而成的偏振光照射裝置。 與利用蒸鍛膜或布魯斯特角炬rewster angle)的偏振元件相比，線柵偏振元件中 出射的偏振光的消光比對入射至偏振元件的光的角度的依存性變小。因此，即使是像自棒 狀燈出射的光該樣的發散光，只要入射角度為±45°的范圍內，也可遍及光所照射的整個 區域而獲得消光比相對良好的偏振光。因而，在該種偏振光照射裝置中，通過將棒狀燈的長 度設為與作為被處理物的取向膜的寬度對應的長度，且在進行取向處理時使取向膜相對于 偏振光照射裝置而單向地移動，可利用一根棒狀燈來進行大面積的取向膜的取向處理。 日本專利特開2009-265290號公報 日本專利特開2011-145381號公報
技術實現思路
此處，該種偏振光照射裝置是W如下方式構成，即，能W盡可能多的光量對取向膜 的照射面照射光，具體而言，通過將源自棒狀燈的光聚光于偏振元件上來抑制朝向偏振元 件的外側的照射損失。然而，像該樣將源自棒狀燈的光聚光于偏振元件上時，透射過偏振元 件的偏振光會發生漫射。而且，在發生了漫射的偏振光所照射的被照射面上，偏振光會擴展 而超出偏振元件的面積。已知照射至超出偏振元件的面積的位置的偏振光的偏振軸會劣 化。如果將偏振軸已劣化的光照射至作為被照射物的取向膜，則會引起取向膜的特性降低。 本專利技術是鑒于所述情況而成，且目的在于提供一種偏振光照射裝置，其抑制在照 射范圍外的偏振軸特性降低的偏振光的照射。而且，本專利技術的第2目的在于提供一種使用 吸收型偏振元件的偏振光照射裝置。 實施形態的偏振光照射裝置具備；光源、濾光器、偏振元件、偏振元件保持部W及 遮光板。光源射出光。濾光器被照射自光源射出的光而射出紫外線。偏振元件配設在濾光 器的與光源相對向的一側，入射紫外線并出射偏振光。偏振元件保持部保持偏振元件且具 有使自偏振元件出射的偏振光透射的開口部。遮光板配設在偏振元件保持部的與光源相對 向的一側，且包圍開口部而配設。在遮光板的開口部所處的一側的相反側的端部，配設有封 閉遮光板的內側空間的透明構件。在遮光板的多個部位中形成有供氣排氣部。而且，實施 形態的偏振光照射裝置具有：光源，射出光；第1偏振元件，使自光源射出的光中，與預先規 定的基準方向平行的偏振軸的偏振光透射；W及吸收型偏振元件，使透射過反射型偏振元 件的光中，與預先規定的基準方向平行的偏振軸的偏振光透射。而且，在光源與第1偏振元 件之間設置濾光器。而且，光源為水銀燈或金屬團化物燈。 根據本專利技術，可抑制照射范圍外的偏振軸特性的降低。而且，根據本專利技術，可提供 一種使用吸收型偏振元件的偏振光照射裝置。【附圖說明】 圖1是表示實施形態1的偏振光照射裝置的構成的分解立體圖。 圖2是圖1所示的偏振光照射裝置的單點鏈線A-A的剖面A-A箭視圖。 圖3是表示圖1所示的偏振光照射裝置中的光的照射狀態的說明圖。 圖4是關于未設置遮光板的偏振光照射裝置的說明圖。 圖5是在X軸方向觀察實施形態2的偏振光照射裝置的剖面圖。 圖6是圖5的B-B箭視圖。 圖7是圖6的C-C箭視圖。 圖8是實施形態2的偏振光照射裝置的變形例，且是在Y軸方向觀察遮光板時的 說明圖。 圖9是圖8的D-D箭視圖。 圖10是表示實施形態的紫外線照射裝置的概略構成的立體圖。圖11是從Y軸方向觀察實施形態的紫外線照射裝置的圖。 圖12是表示實施形態的紫外線照射裝置的第1偏振元件216的構成的示意圖。 圖13是表示實施形態的紫外線照射裝置的變形例的示意圖。 圖14是表示實施形態的紫外線照射裝置的變形例的圖。 圖15是表示實施形態的紫外線照射裝置的另一變形例的圖。 1、40、100 ;偏振光照射裝置[003引 5 ;光源[003引 10 ;反射板 11 ;反射面12 ;空隙部 20 ;濾光器 21 ;濾光器框架[00測 25 ;偏振兀件 26 ;偏振元件保持部 27;開口部 30、50;遮光板 31、51;遮光板反射面 52;玻璃板（透明構件） 55;供氣排氣部[004引56;供氣部[004引57;排氣部 210、220、230;偏振光照射裝置（紫外線照射裝置） 211:光源[004引212;反光鏡 214;濾光器 216;第1偏振兀件[005引216a;玻璃板 216b;格子 218;吸收型偏振元件[005引219;介質 C;燈中也 E ;冷卻風[005引 F ;焦點 L1、L3;-部分光 L2、L4; 一部分偏振光 ml、m2;偏振光[006引 PA、PB ;偏振軸 U、U':光 UA;紫外線（光）[00財 UB、UC ;紫外線（偏振光）[006引 W;工件（對象物） X、Y、Z;軸[006引 Y1;箭頭【具體實施方式】 W下將說明的實施形態的偏振光照射裝置1、偏振光照射裝置40具備光源5、濾光 器20、偏振兀件25、偏振兀件保持部26 W及遮光板30、遮光板50。光源5射出光。濾光器 20被照射自光源5射出的光而射出紫外線。偏振元件25配設在濾光器20的與光源5相對 向的一側，入射紫外線并出射偏振光。偏振元件保持部26保持偏振元件25且具有使偏振 光透射的開口部27。遮光板30、遮光板50配設在偏振元件保持部26的與光源5相對向的 一側，且包圍開口部27而配設。 而且，在W下將說明的實施形態的偏振光照射裝置40中，在遮光板50的開口部27 所處的一側的相反側的端部配設有封閉遮光板50的內側空間的透明構件，即玻璃板52。 而且，在W下將說明的實施形態的偏振光照射裝置40中，在遮光板50的多個部位 中形成有供氣排氣部55。 而且，W下將說明的實施形態的偏振光照射裝置210具有光源211、第1偏振元件 216 W及吸收型偏振元件218。光源211射出光。第1偏振元件216使自光源211射出的 光中，與預先規定的基準方向平行的偏振軸的偏振光透射。吸收型偏振元件218使透射過 第1偏振元件216的光中，與預先規定的基準方向平行的偏振軸的偏振光透射。 而且，在W下將說明的實施形態的偏振光照射裝置210中，在光源211與第1偏振 元件216之間設置濾光器214。 而且，在W下將說明的實施形態的偏振光照射裝置210中，光源211為水銀燈或金 屬團化物燈。[實施形態U 接下來，基于圖式對實施形態1的偏振光照射裝置進行說明。圖1是表示實施形 態1的偏振光照射裝置的構成的分解立體圖。圖2是在X軸方向觀察圖1所示的偏振光照 射裝置的剖面圖。所述圖1、圖2所示的偏振光照射裝置1例如用于液晶面板的取向膜或視 角補償膜的取向膜等的制造。照射至作為被處理物的工件W的表面的紫外線的偏振軸的基 準方向可根據工件W的結構、用途或所要求的規格來適當設定。W下，將工件W的寬度方向 稱為X軸方向，將與X軸方向正交且工件W本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種偏振光照射裝置，其特征在于，具備：光源，射出光；濾光器，被照射自所述光源射出的所述光而射出紫外線；偏振元件，配設在所述濾光器的與所述光源相對向的一側，入射所述紫外線且出射偏振光；偏振元件保持部，保持所述偏振元件且具有使自所述偏振元件出射的所述偏振光透射的開口部；以及遮光板，配設在所述偏振元件保持部的與所述光源相對向的一側，且包圍所述開口部而配設。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：田中貴章，田內亮彥，加藤剛雄，藤岡純，松本卓馬，前田祥平，
申請(專利權)人：東芝照明技術株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP