【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種碳納米管場發射裝置，具體涉及一種帶應力傳感器的場發射結構。
技術介紹
隨著柔性電子器件的發展，大量場發射技術采用柔性電子材料。柔性電子器件具有易彎曲，不易折斷產品性能。在場發射裝置中，柔性電子器件有最大的彎曲極限，如果超出最大的彎曲期限，所述裝置會遭到損壞。
技術實現思路
本技術為了減少裝置最大彎曲造成的損壞，提出一種一種帶應力傳感器的場發射結構。一種帶應力傳感器的場發射結構，包括襯底、碳納米管、陽極和支架，其特征在于:應力傳感器位于襯底和陽極之間位置，所述結構固定在支架上。應力傳感器為膜狀結構，一般采用TiN薄膜。應力傳感器隨著陽極和襯底的彎曲，產生同樣的曲率變化。本技術有益效果:應力傳感器的應用，使得裝置在達到最大彎曲極限的情況下，發出提示，避免機械力造成的結構損壞?！靖綀D說明】:圖1為場發射本結構原理圖【具體實施方式】如圖1所示，一種帶應力傳感器的場發射結構，包括襯底1、碳納米管2、陽極4和支架5，應力傳感器3位于襯底I和陽極4之間位置，所述結構固定在支架5上。所述應力傳感器3為膜狀結構，一般采用TiN薄膜。所述應力傳感器3隨著陽極4和襯底I的彎曲，產生同樣的曲率變化。這種曲率變化被應力傳感器3顯示出來，避免機械力造成的結構損壞?！局鳈囗棥?.一種帶應力傳感器的場發射結構，包括襯底(I)、碳納米管(2)、陽極(4)和支架(5)，其特征在于:應力傳感器(3)位于襯底(I)和陽極(4)之間位置，所述結構固定在支架(5)上。2.根據權利要求1所述一種帶應力傳感器的場發射結構，其特征在于:應力傳感器(3)為膜狀結構，一般采用TiN薄膜。3...
【技術保護點】
一種帶應力傳感器的場發射結構，包括襯底(1)、碳納米管(2)、陽極(4)和支架(5)，其特征在于：應力傳感器(3)位于襯底(1)和陽極(4)之間位置，所述結構固定在支架(5)上。
【技術特征摘要】
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