【技術實現步驟摘要】
本技術屬于硅片制作裝置領域,具體涉及到一種內圓機用自動送料滑臺。
技術介紹
本裝置適用于內圓機系統,傳統的內圓機進料系統是手搖齒輪轉動入料的,入料長度只能靠肉眼看標示線,切后長度誤差很大,不能達到精確進給長度的目的,且原有的進給機構使用較為繁瑣,費時費力,機構機理不合理,出錯率較高。
技術實現思路
本技術旨在提供一種內圓機用自動送料滑臺,以克服上述所提及的原有的進給機構使用較為繁瑣費時費力的問題。為達到上述目的所提供的技術方案為:提供了一種內圓機用自動送料滑臺,其包括,滑臺座和控制器,在滑臺座上設有兩條并行延伸的直線導軌,在滑軌上配裝有兩個V形滑托,位于兩條滑軌的之間在滑臺座上架設有一滾珠絲杠,滾珠絲杠穿過所述的V形滑托,每個V形滑托都通過配裝在滾珠絲杠上的絲杠螺母與滾珠絲杠相連,在滑臺座的一端設有一伺服電機,該伺服電機通過聯軸器與滾珠絲杠相連;所述的V形滑托由滑塊和膠皮貼片組成,所述的滑塊配裝在滑軌上,在滑塊的上表面開有V形槽,在V形槽的槽壁上各貼合有一膠皮貼片;所述的伺服電機與控制器相連。進一步的,還包括有護蓋,所述的護蓋位于伺服電機和絲杠的上方,所述的護蓋穿過兩個V形滑托。進一步的,位于滑臺座的兩端在滑臺座的一側固定連接有限位開關座,每個限位開關座上都固定連接有一限位開關,所述的兩個V形滑托與限位開關座相對應的一側都設有一限位塊。進一步的,所述的滑臺座 ...
【技術保護點】
一種內圓機用自動送料滑臺,其特征在于:包括滑臺座和控制器,在滑臺座上設有兩條并行延伸的直線導軌(7),在導軌(7)上配裝有兩個V形滑托(6),位于兩條導軌(7)的之間在滑臺座上架設有一滾珠絲杠(2),滾珠絲杠(2)穿過所述的V形滑托(6),每個V形滑托(6)都通過配裝在滾珠絲杠(2)上的絲杠螺母與滾珠絲杠(2)相連,在滑臺座的一端設有一伺服電機(3),該伺服電機(3)通過聯軸器(9)與滾珠絲杠(2)相連;所述的V形滑托(6)由滑塊和膠皮墊片(1)組成,所述的滑塊配裝在導軌(7)上,在滑塊的上表面開有V狀槽,在V狀槽的槽壁上各貼合有一膠皮墊片(1);所述的伺服電機(3)與控制器相連。
【技術特征摘要】
1.一種內圓機用自動送料滑臺,其特征在于:包括滑臺座和控制器,在滑臺座上設有兩條并行延伸的直線導軌(7),在導軌(7)上配裝有兩個V形滑托(6),位于兩條導軌(7)的之間在滑臺座上架設有一滾珠絲杠(2),滾珠絲杠(2)穿過所述的V形滑托(6),每個V形滑托(6)都通過配裝在滾珠絲杠(2)上的絲杠螺母與滾珠絲杠(2)相連,在滑臺座的一端設有一伺服電機(3),該伺服電機(3)通過聯軸器(9)與滾珠絲杠(2)相連;所述的V形滑托(6)由滑塊和膠皮墊片(1)組成,所述的滑塊配裝在導軌(7)上,在滑塊的上表面開有V狀槽,在V狀槽的槽壁上各貼合有一膠皮墊片(1);所述的伺服電機(3)與控制器相連。
2.根據權利要求1所述的一種內圓機用自動送料滑臺,其特征在于:還包括有護蓋(4),所述的護蓋(4)位于伺服電機(3)和絲杠的上方,所述的護蓋(4)穿過兩個V形滑托(6)。
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【專利技術屬性】
技術研發人員:樊樹青,柳程強,吳立濤,
申請(專利權)人:河北寧晉松宮半導體有限公司,
類型:新型
國別省市:河北;13
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