保持裝置和真空處理裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種保持裝置和真空處理裝置。不向真空環境中排出粘附襯墊的排出氣體地對保持對象物進行真空處理。在保持裝置（11）的真空容器（15）的內部設置粘附襯墊（17），在將保持對象物（5）粘附保持的狀態下，向配置在真空容器（15）的邊緣上的接觸部（18）按壓，使真空容器（15）的內部空間（25）從外部空間（26）分離。預先將真空容器（15）的內部空間（25）從設置在真空容器（15）上的排氣孔（14）真空排氣，當進行真空處理時，使排氣孔（14）成為氣體不穿過的狀態，使得來自粘附襯墊（17）的排出氣體不排出到對保持對象物（5）進行真空處理的環境內。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及將保持對象物利用粘附片材保持并能夠將其在真空環境中移動的保持裝置、和對保持在該保持裝置上的保持對象物進行真空處理的真空處理裝置。
技術介紹
在液晶顯示器(IXD)或等離子顯示器(PDP)等平板顯示器的制造工序中，包含基板組裝工序及基板輸送工序，有為了保持基板而使用粘附卡盤裝置的技術。例如在日本特許第3882004號公報所記載的裝置中，將由基板輸送用機器人移送的基板以預定壓力按壓在配置于保持板的粘附部件上，利用粘附部件的粘附力保持基板。還記載有通過將被粘附部件和基板包圍的凹部真空抽吸而更強地抽吸保持的技術。根據該裝置，能夠利用由變形膜分隔的凹部與封閉空間的壓力差使可動膜變形，從而進行基板和粘附部件的剝離及粘附保持，此外，通過具備通氣路、吸氣源，還能夠在使用真空抽吸的抽吸保持或剝離時使氣體噴出。但是，在該公報所記載的吸附保持中，如果在沒有達到充分的真空度的狀態下進行粘附襯墊與基板的貼合，則有在將粘附部件和基板貼合時咬入空氣的問題，由于粘附力依賴于基板與粘附部件的接觸面積，所以如果咬入空氣，則接觸面積減小，粘附力下降，基板有可能下落。此外，在粘附襯墊與基板緊貼的部分不產生壓力差而不產生按壓力，所以為了確保較強的按壓力，而需要使粘附襯墊之間的空間較大，有可能由于壓力而使基板變形，或者需要裝置的大型化。此外，通過在由變形膜分隔的凹部和封閉空間產生壓力差，將配置在變形膜上的粘附襯墊向基板方向按壓，但根據變形膜和粘附襯墊的接合部處的壓力分布，有可能粘附襯墊的粘附表面變形而不能獲得與基板的較強的緊貼。此外存在以下問題:基板和粘附部件粘貼的一側相反的基板表面(成膜面)與基板輸送用機器人的部件接觸而產生顆粒。特別是，有機EL顯示器的玻璃基板的成膜面的顆粒給設備特性帶來不良影響。在日本特開2011 — 35301號公報所公開的裝置中記載有以下技術:在支承板上配置有粘附襯墊，通過使由配置有粘附襯墊的一側的支承板和板狀工件包圍的吸附槽成為負壓，使得以壓力按壓支承板而使粘附襯墊與板狀工件緊貼，以及使配置有粘附襯墊的吸附槽返回到大氣壓，使在支承板上沒有配置粘附襯墊的一側的調壓室成為負壓，從而在支承板上作用壓力，將粘附襯墊從板狀工件剝離。在日本特許第4746579號公報所記載的裝置中，記載有利用負壓使粘附劑片材與基板吸附的技術，此外，記載有通過使用彈性多孔質片材使得不僅利用負壓吸附基板還使基板的應力減少的技術。但是，由于多孔質的面積相對于彈性多孔質片材的吸附面較小，所以有由于作用于基板的負壓下降而不能將較重的基板抬起的問題。此外，在使用彈性多孔質片材的方法中，有不能在真空中使用的問題。專利文獻1:日本特開2011 — 35301號公報專利文獻2:日本特許第3882004號公報 專利文獻3:日本特許第3917651號公報專利文獻4:日本特許第4746579號公報。
技術實現思路
本專利技術是為了解決上述現有技術的課題而創造的專利技術，提供一種保持裝置，該保持裝置不與保持對象物的被真空處理的表面接觸，而能夠將保持對象物可靠地保持并使保持對象物在真空環境中移動。此外，提供一種利用該保持裝置將保持對象物保持而進行真空處理的真空處理裝置。—般而言，在真空中也能夠將粘附部件和基板貼合，但在與基板和粘附部件粘貼的部分相反的基板表面(成膜面)上，有基板輸送用機器人的部件接觸而產生顆粒的擔心。在以非接觸將基板保持在成膜面上的情況下，可以考慮以真空吸附或基板的自重將粘附部件和基板粘附保持的方法，但前者不能在真空中使用。在以基板的自重按壓粘接襯墊的情況下，如果使基板與粘接襯墊接觸的部分的面積減小，則每單位面積的按壓力增加，粘附保持力增強，但在將基板懸吊保持的情況下，由于基板與粘附部分之間的剝離力也增加，所以有基板下落的擔心。相反，如果相對于基板增大粘附部分的面積，則每單位面積的按壓力減小，由于基板與粘附襯墊的接觸面積減小，使得粘附保持力下降。在該情況下，在將基板懸吊保持的情況下也有基板下落的擔心。另一方面，在將粘附襯墊的粘附力增強的情況下，在壓剝基板時，有在基板上作用局部性應力而破損的可能、以及在基板上發生變形的擔心。在本專利技術所采用的技術中，做出了對于上述各擔心的解決方案，本專利技術是一種保持裝置，用于使設置在保持單元上的粘附襯墊與保持對象物接觸，利用上述粘附襯墊粘附保持并輸送上述保持對象物，其中，上述保持單元具有:真空容器；接觸部，配置在上述真空容器的邊緣上，與上述保持對象物接觸，使上述真空容器的內部空間從上述真空容器的外部空間切斷；排氣孔，設置在上述真空容器上，成為利用吸附用排氣裝置將上述內部空間的氣體真空排氣的通路，上述內部空間被上述保持對象物和上述接觸部從上述外部空間切斷；和移動裝置，使上述粘附襯墊移動，上述粘附襯墊配置在上述內部空間中，作為上述移動裝置使上述粘附襯墊移動的方向的移動方向具有相對于接觸平面垂直的方向的移動分量，所述接觸平面是上述接觸部的表面中的與上述保持對象物接觸的部分所位于的平面。本專利技術是一種保持裝置，具有:多個上述真空容器；和配置在各上述真空容器中的上述粘附襯墊，使多個上述粘附襯墊和配置在多個上述真空容器的邊緣上的上述接觸部與相同的上述保持對象物接觸。本專利技術是一種保持裝置，具有配置在相同的上述真空容器的上述內部空間中的多個上述粘附襯墊，使多個上述粘附襯墊和配置在上述真空容器的邊緣上的上述接觸部與相同的上述保持對象物接觸。本專利技術是一種保持裝置，上述接觸部使用具有柔軟性的環狀部件。本專利技術是一種保持裝置，上述接觸部配置在上述保持裝置的平坦的表面上。本專利技術是一種保持裝置，在上述保持裝置的表面上設置有槽，上述接觸部設置在上述槽內。本專利技術是一種保持裝置，上述接觸部由緊貼片材構成，該緊貼片材配置在上述真空容器上，在上述真空容器的開口上形成有作為貫通孔的片材孔。本專利技術是一種保持裝置，具有使上述粘附襯墊相對于上述真空容器向遠離上述接觸部的方向一邊旋轉一邊移動的旋轉機構。本專利技術是一種保持裝置，是具有使上述保持裝置連接到上述吸附用排氣裝置的拆裝裝置的保持裝置，上述拆裝裝置使上述保持裝置從上述吸附用排氣裝置分離，使得上述保持裝置能夠與上述吸附用排氣裝置獨立地移動。本專利技術是一種保持裝置，使得當上述真空容器從上述吸附用排氣裝置分離時，氣體不會穿過上述排氣孔流入到上述真空容器內。本專利技術是一種保持裝置，粘接在上述保持對象物上的上述粘附襯墊被具有彈性力的緩沖部件向從上述保持對象物離開的方向施力。本專利技術是一種真空處理裝置，具有:上述任一方面的保持裝置；真空槽，配置有上述保持裝置；和處理部，配置在上述真空槽內，將被上述粘附襯墊粘附保持且處理表面朝下的上述保持對象物的上述處理表面在真空環境中處理。本專利技術是一種真空處理裝置，上述處理部是放出形成薄膜的微粒并在上述保持對象物表面上形成薄膜的成膜裝置。在本專利技術中，當將粘附襯墊向保持對象物按壓時，由于保持對象物被真空吸附，所以使粘附襯墊可靠地緊貼在保持對象物上，粘附襯墊將保持對象物粘附保持的力提高。此外，由于在真空中使粘附襯墊與保持對象物粘附，所以在相互粘附的粘附襯墊的表面與保持對象物之間不會存在氣體。此外，由于能夠將保持對象物的單側表面以非接觸的方式粘附保持并輸送，所以能夠防止不合格品的產生。此外本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種保持裝置，用于使設置在保持單元上的粘附襯墊與保持對象物接觸，利用上述粘附襯墊粘附保持并輸送上述保持對象物，其特征在于，上述保持單元具有：真空容器；接觸部，配置在上述真空容器的邊緣上，與上述保持對象物接觸，使上述真空容器的內部空間從上述真空容器的外部空間切斷；排氣孔，設置在上述真空容器上，成為利用吸附用排氣裝置將上述內部空間的氣體真空排氣的通路，上述內部空間被上述保持對象物和上述接觸部從上述外部空間切斷；和移動裝置，使上述粘附襯墊移動，上述粘附襯墊配置在上述內部空間中，作為上述移動裝置使上述粘附襯墊移動的方向的移動方向具有相對于接觸平面垂直的方向的移動分量，所述接觸平面是上述接觸部的表面中的與上述保持對象物接觸的部分所位于的平面。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：岳良太，前平謙，
申請(專利權)人：株式會社愛發科，
類型：發明
國別省市：日本;JP