【技術實現步驟摘要】
?本技術涉及一種單晶爐用托桿,具體涉及一種單晶爐用三節式托桿。技術背景對硅單晶生產企業來說,提高硅材料利用率,降低單位能耗,提高生產效率,降低生產成本一直是企業追求的目標。因此,熱場系統設計和熱場內關鍵元件的選材和使用備受關注。眾所周知,單晶爐托桿是用來支撐坩堝托、坩堝以及全部硅料的重量;單晶爐托桿還起到傳遞坩堝升降,坩堝旋轉等運動的作用。在單晶生產過程中,托桿處于高溫熱場中,因現有單晶爐的托桿幾乎是實心石墨桿,有一部分熱量會沿托桿的軸向快速傳導,最終會被冷卻水帶走,這樣能耗會偏高。
技術實現思路
本技術要解決的技術問題是,克服現有技術存在的上述缺陷,提供一種可以降低托桿軸向熱傳導、起到節能降耗作用的單晶爐用三節式托桿。本技術解決其技術問題采用的技術方案是:一種單晶爐用三節式托桿,包括托桿上節、托桿中節和托桿下節,所述托桿上節、托桿中節和托桿下節按從上至下順序裝配連接,所述托桿中節由保溫材料制成。進一步,為了防止所述托桿中節分別與托桿上節、托桿下節產生相對轉動,在托桿中節分別與托桿上節、托桿下節的連接處采用螺紋連接或在連接處位置的圓周方向采用螺栓固定。進一步,所述螺栓的數量優選2~4個。所述螺栓由炭-炭復合材料或等靜壓石墨制成。進一步,制作所述托桿中節的保溫材料為炭-炭復合材料或二氧化鋯陶瓷材料,以保證高溫狀態下托桿中節的強度及穩定性。進一步,所述炭-炭復合材料的密度優選≥1.0g/cm3。進一步,所述托桿上節和托桿下節優選等靜壓石墨制成。本技術與現有技術 ...
【技術保護點】
一種單晶爐用三節式托桿,其特征在于,包括托桿上節(1)、托桿中節(2)和托桿下節(3),所述托桿上節(1)、托桿中節(2)和托桿下節(3)按從上至下順序裝配連接,所述托桿中節(2)由保溫材料制成。
【技術特征摘要】
1.一種單晶爐用三節式托桿,其特征在于,包括托桿上節(1)、托桿中節(2)和托桿下節(3),所述托桿上節(1)、托桿中節(2)和托桿下節(3)按從上至下順序裝配連接,所述托桿中節(2)由保溫材料制成。
2.根據權利要求1所述的單晶爐用三節式托桿,其特征在于:所述托桿中節(2)與托桿上節(1)、托桿下節(3)的連接處分別采用螺紋連接或在連接處位置的圓周方向采用螺栓(4)固定。
3.根據權利要求2所述的單晶爐用三節式托桿,其特征在于:所述托桿中節(2)與托桿上節(1)、托桿下節(3)的連接處位置的圓周方向采用螺栓(4)的數量為2~4個。
4.根據權利要求1-3任一權利要...
【專利技術屬性】
技術研發人員:崔金,戴開瑛,張治軍,許鵬,
申請(專利權)人:湖南南方搏云新材料有限責任公司,
類型:新型
國別省市:湖南;43
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