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    一種硅片清洗方法、及清洗裝置制造方法及圖紙

    技術(shù)編號:12305214 閱讀:54 留言:0更新日期:2015-11-11 14:37
    本申請公開了一種硅片清洗方法、及清洗裝置,該清洗方法包括步驟:(1)、把檸檬酸和水按3:100的比例倒入可以恒溫的侵泡槽內(nèi),加熱至65±5℃;(2)、攪拌直至檸檬酸完全溶解;(3)、恒溫條件下侵泡時間在2~3小時。本發(fā)明專利技術(shù)的優(yōu)點在于:(1)、可以提高70%以上流失的檸檬酸,可以多次侵泡;(2)、緩解企業(yè)廢水處理壓力;(3)、降低生產(chǎn)用水,因按一定比例調(diào)和的水和檸檬酸可以重復(fù)使用,從而節(jié)約了水用量。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    本申請屬于太陽能電池硅片切割
    ,特別是涉及一種硅片清洗方法、及清洗裝置
    技術(shù)介紹
    目前傳統(tǒng)的RCA清洗法,很難去除硅片在切割過程中附著的金屬、有機沾污、小顆粒污染物等。為了使硅片表面的附著物能徹底清除,需要用檸檬酸加熱侵泡硅片,檸檬酸是一種較強的有機酸,有3個H+可以電離,加熱后可分解成多種產(chǎn)物,與酸、堿、甘油等反應(yīng)。再次進行清洗。現(xiàn)有浸泡返洗辦法是把檸檬酸和熱水按一定比例混合,放置周轉(zhuǎn)箱內(nèi)浸泡。存在的問題是水溫會隨時間的推移下降。導(dǎo)致檸檬酸無法完全溶解,不能完全去除硅片表面的附著物,不能重復(fù)使用造成不必要的浪費。
    技術(shù)實現(xiàn)思路
    本專利技術(shù)的目的在于提供一種硅片清洗方法、及清洗裝置,以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足。為實現(xiàn)上述目的,本專利技術(shù)提供如下技術(shù)方案:本申請實施例公開了一種硅片清洗方法,包括步驟:(I)、把檸檬酸和水按3:100的比例倒入可以恒溫的侵泡槽內(nèi),加熱至65±5°C ;(2)、攪拌直至檸檬酸完全溶解;(3)、恒溫條件下侵泡時間在2?3小時。相應(yīng)地,本申請還公開了一種清洗裝置,包括浸泡槽、以及用以對浸泡槽內(nèi)溶液進行加熱的加熱裝置。優(yōu)選的,在上述的清洗裝置中,所述浸泡槽的頂端密封有蓋體。優(yōu)選的,在上述的清洗裝置中,所述蓋體的頂端表面固定有開啟把手。優(yōu)選的,在上述的清洗裝置中,所述浸泡槽上還安裝有攪拌裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本專利技術(shù)的優(yōu)點在于:(I)、可以提高70%以上流失的檸檬酸,可以多次侵泡;(2)、緩解企業(yè)廢水處理壓力;(3)、降低生產(chǎn)用水,因按一定比例調(diào)和的水和檸檬酸可以重復(fù)使用,從而節(jié)約了水用量。【附圖說明】為了更清楚地說明本申請實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1所示為本專利技術(shù)具體實施例中清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。【具體實施方式】下面將結(jié)合本專利技術(shù)實施例中的附圖,對本專利技術(shù)實施例中的技術(shù)方案進行詳細的描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本專利技術(shù)一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本專利技術(shù)中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本專利技術(shù)保護的范圍。參圖1所示,清洗裝置,包括浸泡槽1、以及用以對浸泡槽內(nèi)溶液進行加熱的加熱裝置。浸泡槽I的頂端密封有蓋體2。蓋體2的頂端表面固定有開啟把手3。浸泡槽I上還安裝有攪拌裝置4。在該技術(shù)方案中,加熱裝置用以對浸泡槽內(nèi)的溶液進行加熱并保持其恒溫狀態(tài);浸泡槽頂端密封有蓋體,一方面避免液體揮發(fā),另一方面可以起到保溫效果;攪拌裝置可以實現(xiàn)浸泡槽內(nèi)液體的均勻混合。利用上述清洗裝置進行硅片清洗方法,包括步驟:(I)、把檸檬酸和水按3:100的比例倒入可以恒溫的侵泡槽內(nèi),加熱至65±5°C ;(2)、攪拌直至檸檬酸完全溶解;(3)、恒溫條件下侵泡時間在2?3小時。(4)、侵泡至5000片時,將水排掉,重新加人自來水和檸檬酸。本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題就是侵泡硅片時檸檬酸再利用方法。其優(yōu)點在于:(I)、可以提高70%以上流失的檸檬酸,可以多次侵泡;(2)、緩解企業(yè)廢水處理壓力;(3)、降低生產(chǎn)用水,因按一定比例調(diào)和的水和檸檬酸可以重復(fù)使用,從而節(jié)約了水用量。需要說明的是,在本文中,諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下,由語句“包括一個……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。以上所述僅是本申請的【具體實施方式】,應(yīng)當指出,對于本
    的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本申請原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應(yīng)視為本申請的保護范圍。【主權(quán)項】1.一種娃片清洗方法,其特征在于,包括步驟:(1)、把檸檬酸和水按3:100的比例倒入可以恒溫的侵泡槽內(nèi),加熱至65±5°C; (2)、攪拌直至檸檬酸完全溶解; (3)、恒溫條件下侵泡時間在2?3小時。2.一種用于權(quán)利要求1所述清洗方法的清洗裝置,其特征在于,包括浸泡槽、以及用以對浸泡槽內(nèi)溶液進行加熱的加熱裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗裝置,其特征在于:所述浸泡槽的頂端密封有蓋體。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的清洗裝置,其特征在于:所述蓋體的頂端表面固定有開啟把手。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗裝置,其特征在于:所述浸泡槽上還安裝有攪拌裝置。【專利摘要】本申請公開了一種硅片清洗方法、及清洗裝置,該清洗方法包括步驟:(1)、把檸檬酸和水按3:100的比例倒入可以恒溫的侵泡槽內(nèi),加熱至65±5℃;(2)、攪拌直至檸檬酸完全溶解;(3)、恒溫條件下侵泡時間在2~3小時。本專利技術(shù)的優(yōu)點在于:(1)、可以提高70%以上流失的檸檬酸,可以多次侵泡;(2)、緩解企業(yè)廢水處理壓力;(3)、降低生產(chǎn)用水,因按一定比例調(diào)和的水和檸檬酸可以重復(fù)使用,從而節(jié)約了水用量。【IPC分類】H01L21/02, H01L21/67, H01L31/18【公開號】CN105047538【申請?zhí)枴緾N201510465070【專利技術(shù)人】李小勇 【申請人】江蘇奧能光電科技有限公司【公開日】2015年11月11日【申請日】2015年7月31日本文檔來自技高網(wǎng)
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    【技術(shù)保護點】
    一種硅片清洗方法,其特征在于,包括步驟:(1)、把檸檬酸和水按3:100的比例倒入可以恒溫的侵泡槽內(nèi),加熱至65±5℃;(2)、攪拌直至檸檬酸完全溶解;(3)、恒溫條件下侵泡時間在2~3小時。

    【技術(shù)特征摘要】

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:李小勇
    申請(專利權(quán))人:江蘇奧能光電科技有限公司
    類型:發(fā)明
    國別省市:江蘇;32

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