【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【技術(shù)保護點】
一種硅片送料軌道,其特征在于,包括第一傳送軌道(1)、若干第二軌道(3)和控制裝置(5),所述第一傳送軌道(1)的寬度和若干第二傳送軌道(3)的寬度均小于硅片的寬,所述若干第二傳送軌道(3)固定連接于第一傳送軌道(1)的同一側(cè),所述若干第二傳送軌道(3)和第一傳送軌道(1)位于同一水平面上且相互垂直,所述控制裝置(5)用于控制第一傳送軌道(1)和若干第二軌道(3)的傳送速度。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:孫明晶,樊選東,
申請(專利權(quán))人:中建材浚鑫科技股份有限公司,
類型:新型
國別省市:江蘇;32
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