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    硅片雙向輸送機構制造技術

    技術編號:12381219 閱讀:78 留言:0更新日期:2015-11-25 02:24
    本實用新型專利技術提供一種硅片雙向輸送機構,包括硅片存儲架、橫移機構、輸送機構以及硅片堆疊架,橫移機構包括橫移導軌、滑動設置于橫移導軌上的滑動架、沿著上下方向滑動設置的第一吸盤以及第二吸盤、分別驅動第一吸盤、第二吸盤滑動的氣缸,輸送機構具有兩個,分別位于硅片存儲架的兩側,每個輸送機構包括轉動設置的兩個轉輥、呈環形設置且繞設于兩個轉輥上的兩根輸送繩第一吸盤與第二吸盤之間的間距為兩個輸送機構之間間距的一半,生產效率高。

    【技術實現步驟摘要】

    【技術保護點】
    硅片雙向輸送機構,其特征在于:包括硅片存儲架、橫移機構、輸送機構以及硅片堆疊架,所述橫移機構包括橫移導軌、滑動設置于所述橫移導軌上的滑動架、沿著上下方向滑動設置的第一吸盤以及第二吸盤、分別驅動所述第一吸盤、所述第二吸盤滑動的氣缸,所述輸送機構具有兩個,分別位于所述硅片存儲架的兩側,每個所述輸送機構包括轉動設置的兩個轉輥、呈環形設置且繞設于兩個所述轉輥上的兩根輸送繩所述第一吸盤與所述第二吸盤之間的間距為兩個所述輸送機構之間間距的一半。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:徐志凌,
    申請(專利權)人:中建材浚鑫科技股份有限公司,
    類型:新型
    國別省市:江蘇;32

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