一種用于測試探針卡的轉換卡，包含一板體及設于板體上的數第一傳輸單元、數第二傳輸單元及一直流/交流轉換電路，第一傳輸單元電性連接于測試儀器，第二傳輸單元電性連接于探針卡接口，直流/交流轉換電路電性連接于該第一傳輸單元、該第二傳輸單元；借第一傳輸單元傳輸交流信號，并將交流信號經由直流/交流轉換電路、第二傳輸單元、探針卡接口接至直流探針卡，運用交流電路及傳輸線原理，以配合邏輯分析儀、示波器、時域反射儀、頻域網絡分析儀、誤碼產生器、眼圖分析儀等交流信號測試儀器，利用交流方式可對直流電探針卡進行錯誤分析測試及改善，避免誤判探針卡的錯誤率，達到降低換卡率及清針率，降低直流探針卡的庫存率。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術有關于一種轉換卡，特別是指其為一種用于測試探針卡的轉換卡。
技術介紹
長久以來，半導體業界在晶圓可靠度測試（wafer acceptance test)時，都會先驗 證直流探針卡（Probe Card)是否可用，因直流探針卡擔負著最后段測試時，IC在被切割前 (WS :Wafer Sort)，功能測試是否正常的重要角色，當IC測試能正常工作后，IC即會被切割 包裝（FT :Final Test ;IC has been packaged)并再作后續的分類（BIN)測試，由此可知，當 直流探針卡的錯誤率高時，會直接影響后面出貨的速度與質量，但直流探針卡隨著IC功能 越來越強，腳數越來越多，甚至高達幾萬根的腳數，其價格動輒千萬，若直流探針卡被判為 錯誤率高，則須再作清針，甚至換卡的動作，這些動作非常耗費成本及時間，晶圓廠及測試 廠時常為了趕貨給客戶，經常以直接換卡的方式測到正確為止，而這些換下來的直流探針 卡的費用則是由晶圓廠及測試廠直接吸收掉，因此直流探針卡的庫存率，常會達到臺幣幾 千萬至數億的等級，造成成本大幅提高。 由于半導體業界長期借由此直流測試方式來測試直流探針卡，其改善方式已達瓶 頸，爰是，本專利技術人今基于產品不斷改良創新的理念，乃本著多年從事半導體及與電子相關 的測試產業產品設計開發的實務經驗，以及積極潛心研發思考，而利用交流方式對直流電 探針卡的錯誤分析及改善，經由無數次的實際測試、實驗，致有本專利技術的產生。
技術實現思路
本專利技術的目的，在于提供一種借第一傳輸單元傳輸交流信號，并將交流信號經由 直流/交流轉換電路、第二傳輸單元接至直流探針卡，運用交流電路及傳輸線原理，以配合 交流信號儀器利用交流方式對直流電探針卡進行錯誤分析測試及改善的用于測試探針卡 的轉換卡。 為達上述的目的，本專利技術的解決方案是： -種用于測試探針卡的轉換卡，包含有： -板體； 至少一第一傳輸單兀，設于該板體，該第一傳輸單兀用以電性連接于測試儀器以 傳輸交流信號； 至少一第二傳輸單元，設于該板體，該第二傳輸單元用以電性連接于探針卡接 P ; -直流/交流轉換電路，設于該板體，該直流/交流轉換電路電性連接于該第一傳 輸單元、該第二傳輸單元。 進一步，該板體具有一穿孔。 進一步，該第一傳輸單元為數個排列成一區域的電性連接孔。 進一步，該第二傳輸單元為電性連接孔。 進一步，該板體、該第一傳輸單元、該第二傳輸單元及該直流/交流轉換電路一體 制成為一印刷電路板（PCB，Printed circuit board)。 進一步，該板體、該第一傳輸單元、該第二傳輸單元及該直流/交流轉換電路壓合 成一體。 以借第一傳輸單元傳輸交流信號，并將交流信號經由直流/交流轉換電路、第二 傳輸單元、探針卡接口接至直流探針卡，運用交流電路及傳輸線原理，以配合邏輯分析儀、 示波器、時域反射儀、頻域網絡分析儀、誤碼產生器、眼圖分析儀等交流信號測試儀器，利用 交流方式可對直流電探針卡進行錯誤分析測試及改善，避免誤判探針卡的錯誤率，達到降 低換卡率及清針率，降低直流探針卡的庫存率。【附圖說明】 圖1為本專利技術的上視圖； 圖2為本專利技術的上視局部放大圖； 圖3為本專利技術測試實施例的立體分解圖； 圖4為本專利技術測試實施例的剖面圖； 圖5為本專利技術的構造方塊示意圖； 圖6為本專利技術配合邏輯分析儀、數字信號產生器的測試實施例圖； 圖7為圖6的測試結果圖； 圖8本專利技術配合邏輯分析儀、示波器、數字信號產生器的測試實施例圖； 圖9為圖8的測試結果圖； 圖10為本專利技術配合時域反射儀的測試實施例圖； 圖11為圖10的測試結果圖； 圖12為本專利技術配合頻域網絡分析儀的測試實施例圖； 圖13為圖12的測試結果圖； 圖14為本專利技術配合眼圖分析儀、誤碼產生器的測試實施例圖； 圖15為圖14的測試結果圖； 圖16為本專利技術配合眼圖分析儀與誤碼產生器整合機型的測試實施例圖； 圖17為本專利技術的測試程序流程圖。 【符號說明】 用于測試探針卡的轉換卡10板體11 第一傳輸單元12 連接線121 第二傳輸單元13 直流/交流轉換電路14 穿孔15 探針卡接口 20 直流探針卡30 測試設備31 邏輯分析儀40 數字信號產生器41 不波器50 時域反射儀60 頻域網絡分析儀70 誤碼產生器80 眼圖分析儀90 誤碼產生器與眼圖分析儀整合機型91。【具體實施方式】 為了進一步解釋本專利技術的技術方案，下面通過具體實施例來對本專利技術進行詳細闡 述。 請參閱圖1至圖16所示，本專利技術用于測試探針卡（Probe Card)的轉換卡10構造 包含有一板體11、數第一傳輸單元12、數第二傳輸單元13及一直流/交流轉換電路14,其 中： 該板體11于一實施例具有一穿孔15,用以減輕重量、節省材料，進而降低制造成 本。 該第一傳輸單元12設于板體11，第一傳輸單元12用以電性連接于預定的測試儀 器以傳輸交流信號，于本實施例第一傳輸單元12可與測試儀器的連接線121電性連接，而 第一傳輸單元12以八個狀平均設于板體11，使數個連接線121也可同時電性連接于數個第 一傳輸單元12,據此，測試儀器能借由一條連接線121連接于不同位置的第一傳輸單元12 而分區測試直流探針卡30,或者測試儀器能借由數條連接線121連接于不同位置的第一傳 輸單元12而同時分區測試直流探針卡30。 該第一傳輸單元12于一實施例為數個排列成一區域的電性連接孔。 該第二傳輸單元13設于板體11，第二傳輸單元13用以電性連接于探針卡接口 (P0G0 tower) 20。 該第一傳輸單元12于一實施例為電性連接孔，于本實施例探針卡接口 20上側的 數探針穿設于第二傳輸單元13中。 該直流/交流轉換電路14設于板體11，直流/交流轉換電路14電性連接于該第 一傳輸單兀12、第二傳輸單兀13。 于一構造實施例，該板體11、第一傳輸單元12、第二傳輸單元13及直流/交流轉 換電路14 一體制成為一印刷電路板（PCB，Printed circuit board);或者是該板體11、第一 傳輸單元12、第二傳輸單元13及直流/交流轉換電路14壓合成一體。 以借第一傳輸單元12傳輸交流信號，并將交流信號經由直流/交流轉換電路14、 第二傳輸單元13、探針卡接口 20接至直流探針卡（Probe Card)30,運用交流電路及傳輸線 原當前第1頁1 2 本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種用于測試探針卡的轉換卡，其特征在于，包含有：一板體；至少一第一傳輸單元，設于該板體，該第一傳輸單元用以電性連接于測試儀器以傳輸交流信號；至少一第二傳輸單元，設于該板體，該第二傳輸單元用以電性連接于探針卡接口；一直流/交流轉換電路，設于該板體，該直流/交流轉換電路電性連接于該第一傳輸單元、該第二傳輸單元。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：詹定叡，
申請(專利權)人：詹定叡，
類型：發明
國別省市：中國臺灣;71
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