本發明專利技術公開了一種自動放行WAT?PM探針卡的系統及方法，通過建立自動放行WAT?PM探針卡的系統，可實時地抓取PM探針卡的數據檢查結果存入數據庫，并可根據系統內各個驗收檢查項目的設定值判斷是否放行，待各項檢查均符合規格值后，系統可自動對該PM探針卡的狀態進行切換，并可通過內部郵件發出放行的指令；可有效地提高工作效率，減少PM探針卡放行的時間，同時也減少了工程師的工作量和工作時間，從長遠來講提高了探針卡可使用時間的比率。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體微電子測試應用領域，更具體地，涉及一種自動放行WAT PM探針卡的系統及方法。
技術介紹
半導體晶圓制作完成后、進行封裝前，為了確保晶圓的良率及避免封裝的浪費，在半導體制程中需要進行晶圓驗收測試(Wafer Acceptance Test，WAT)。WAT探針卡機臺是廣泛用于對晶圓進行電性測量的重要工具之一，是連接WAT測量儀器與晶圓之間的測試接口。其工作原理是將連接測量儀器的探針卡(Probe Card)的探針與待測芯片上的測試焊墊(PAD)或凸塊電極直接接觸，構成測量回路，通過探針向待測芯片饋入測試信號及回饋芯片信號，再配合測量儀器與軟件控制篩選出電性不良的芯片，實現自動化檢測。探針卡包括了用來與測試PAD接觸的多個探針。電性測量是一項重要的監測步驟，采用探針卡扎到測試鍵的金屬PAD上來進行測量。然而，隨著探針卡扎針次數的增加，針尖會發生磨損、氧化或者粘污，針尖與PAD的接觸電阻增大將會影響電性測量的準確性。同時，若探針卡針尖扎到PAD上的位置發生意外偏移，將會導致芯片內部金屬導線短路，會極大影響量測的準確性。若探針卡有異常，針痕粘污或針痕PAD偏出時，則會造成測試異常，甚至扎壞wafer。因此，探針卡狀況的好壞會直接影響WAT的測試結果，需要對探針卡進行定期維護(Per1dic maintenance，PM)。在WAT探針卡PM后，WAT工程師需要檢查驗收多項指標，包括RFID (射頻識別)的牢固性、基座的完好、leakage (漏電)、針尖直徑、prober angle (探針角度)等。待檢查的各項指標均合格后，將檢查的各項數據結果記錄到相應的記錄表單，發mail (郵件)通知MFG(制造工程師)該卡可以使用。在進行驗收指標的檢查時，由于要檢查的項目較多，將檢查的各項數據結果記錄到相應的記錄表單及修改需要花費大量時間(例如:一次性release4張PM探針卡需要花費5個小時，其中數據的記錄及修改就要花費2個小時)，影響了 PM探針卡release (放行)的效率。為此設計一種可自動release WAT PM探針卡的系統，以有效提高工作效率，減少PM探針卡release的時間，從長遠來講提高探針卡可使用時間的比率，是一項非常值得開發的課題。
技術實現思路
本專利技術的目的在于克服現有技術存在的上述缺陷，提供一種自動放行WAT PM探針卡的系統及方法，以有效提高工作效率，減少PM探針卡release的時間。為實現上述目的，本專利技術的技術方案如下:—種自動放行WAT PM探針卡的系統，包括:存儲模塊，將獲取的針對WAT PM探針卡各項驗收檢查項目的數據檢查結果實時存入數據庫；判斷模塊，根據系統中針對PM探針卡各項驗收檢查項目預先設定的規格值，對所述數據庫中的各項數據檢查結果進行逐一的符合性判斷，并輸出判斷結果；處理模塊，根據所述判斷結果，發出是否放行的指令。優選地，所述處理模塊包括郵件發送單元，并通過該郵件發送單元以內部郵件的方式發出是否放行的指令。優選地，還包括重置模塊，在所述處理模塊發出放行的指令前，將所述探針卡的扎針次數記錄重置。優選地，還包括切換模塊，在所述重置模塊將所述探針卡的扎針次數記錄重置后、所述處理模塊發出放行的指令前，將所述探針卡的機臺狀態進行切換。一種自動放行WAT PM探針卡的方法，包括:利用一存儲模塊，將獲取的針對WAT PM探針卡各項驗收檢查項目的數據檢查結果實時存入數據庫；利用一判斷模塊，根據針對PM探針卡各項驗收檢查項目預先設定的規格值，對所述數據庫中的各項數據檢查結果進行逐一的符合性判斷，并輸出判斷結果；利用一處理模塊，根據所述判斷結果，發出是否放行的指令。優選地，通過所述處理模塊的郵件發送單元，以內部郵件的方式發出是否放行的指令。優選地，利用一重置模塊，在所述處理模塊發出放行的指令前，將所述探針卡的扎針次數記錄重置。優選地，利用一切換模塊，在所述重置模塊將所述探針卡的扎針次數記錄重置后、所述處理模塊發出放行的指令前，將所述探針卡的機臺狀態進行切換。優選地，在全部的檢查數據結果符合規格值時，通過所述處理模塊的郵件發送單元以內部郵件的方式發出放行的指令。優選地，針對每一個不符合規格值的檢查數據結果，通過所述處理模塊的郵件發送單元以內部郵件的方式逐一發出不予放行的指令。從上述技術方案可以看出，本專利技術通過建立自動放行WAT PM探針卡的系統，可實時地抓取PM探針卡的數據檢查結果存入數據庫，并可根據系統內各個驗收檢查項目的設定值判斷是否放行，待各項檢查均符合規格值后，系統可自動對該PM探針卡的狀態進行切換，并可通過內部郵件發出放行的指令。本專利技術可有效地提高工作效率，減少PM探針卡release的時間(release時間可節省40%以上)，同時也減少了工程師的工作量和工作時間，從長遠來講提高了探針卡可使用時間的比率。【附圖說明】圖1是本專利技術一較佳實施例的一種自動放行WAT PM探針卡的系統原理圖；圖2是本專利技術一種自動放行WAT PM探針卡的方法流程圖。【具體實施方式】下面結合附圖，對本專利技術的【具體實施方式】作進一步的詳細說明。在以下本專利技術的【具體實施方式】中，請參閱圖1，圖1是本專利技術一較佳實施例的一種自動放行WAT PM探針卡的系統原理圖。如圖1所示，針對WAT PM探針卡，WAT工程師需要對各項驗收檢查項目進行檢查。WAT工程師檢查驗收數據，可包括例如RFID (射頻識別)的牢固性、基座的完好、leakage (漏電)、針尖直徑、prober angle (探針角度)等。現有的方式是待檢查的各項指標均合格后，將檢查的各項數據結果記錄到相應的記錄表單，然后發mail (郵件)通知MFG(制造工程師)該卡可以使用。但由于要檢查的項目較多，將檢查的各項數據結果記錄到相應的記錄表單及修改需要花費大量時間(例如:一次性release 4張PM探針卡需要花費5個小時，其中數據的記錄及修改就要花費2個小時)，影響了 PM探針卡release (放行)的效率。因此，可通過本專利技術的一種自動放行WAT PM探針卡的系統來自動release(放行)WAT PM探針卡，以有效提高工作效率，減少PM探針卡release的時間。本專利技術的一種自動放行WAT PM探針卡的系統(即圖示的探針卡自動release系統)，包括存儲模塊、判斷模塊和處理模塊。其中，存儲模塊用于通過實時抓取方式，將獲取的針對WAT PM探針卡各項驗收檢查項目(即RFID的牢固性、基座的完好、leakage、針尖直徑、prober angle等)的數據檢查結果實時存入相應記錄表單的數據庫；判斷模塊用于根據系統中針對PM探針卡各項驗收檢查項目預先設定的規格(spec)值(例如PM卡漏電〈0.5pA)，對所述數據庫中的各項數據檢查結果進行逐一的符合性判斷，并輸出判斷結果；如圖1所示，例如符合時為“pass”，并進行下一個檢查結果的符合性判斷；不符合時為“fail”，并顯示“Wait EE” (即等待工程師處理，如果是RFID安裝不牢固，則需要重新進行安裝；如果是漏電，則需要重新PM);處理模塊用于根據所述判斷模塊作出的判斷結果，發出是否放行的指令。如圖1所示，作為一可選的實施方式，所述處理模塊可包括郵件發本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種自動放行WAT?PM探針卡的系統，其特征在于，包括：存儲模塊，將獲取的針對WAT?PM探針卡各項驗收檢查項目的數據檢查結果實時存入數據庫；判斷模塊，根據系統中針對PM探針卡各項驗收檢查項目預先設定的規格值，對所述數據庫中的各項數據檢查結果進行逐一的符合性判斷，并輸出判斷結果；處理模塊，根據所述判斷結果，發出是否放行的指令。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙朝珍，周波，
申請(專利權)人：上海華力微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：上海;31
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