一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱，由層流罩、過濾器、合頁、插銷、箱體和箱蓋構成。空氣經層流罩過濾后不斷進入箱體內，經過濾器流出，這樣不僅保持了周轉箱內環境的潔凈度，同時不斷流動的氣體經過硅片的表面，進一步提高了硅片表面的潔凈度，減少了硅片在運轉過程中經過級別較低的潔凈區域對硅片的潔凈度的影響。本實用新型專利技術采用的周轉箱無需因工序之間的流轉對硅片進行的包裝作業，降低了成本，且結構簡單，操作、維護方便。
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及到單晶硅片生產領域，具體的說是一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱。
技術介紹
隨著集成電路技術的不斷發展，對集成電路的基底材料之一的單晶硅拋光片潔凈度的要求就不斷提高。提高潔凈廠房等級，提高人員的潔凈意識，提高自動化程度，增加清洗能力等都是為了提高硅片表面的潔凈度，減少顆粒、金屬、有機物等對硅片的影響，以提高產品質量。而在硅片的生產過程中工序眾多，工序與工序之間的流轉的控制是對下道工序產品質量影響的關鍵點之一，尤其是在需要高溫加工的工序前。目前工序與工序間的流轉主要分為干出干進及濕出濕進，濕出濕進的方式主要通過把硅片及片盒放在存有純水的周轉箱內運輸。干進干出的方式在硅片的后期加工過程中主要使用在潔凈度較高的區域內流轉，一旦需要經過潔凈度相對較低的區域就需要首先把硅片先封裝后運轉，這樣就增加了生產成本。如何采用即簡單又經濟的方法保證硅片在運轉過程中的潔凈度，是所有相關企業需要關心的問題。
技術實現思路
為解決現有技術中硅片在潔凈度高的區域內流轉時對潔凈度要求高的問題，本技術提供了一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱，通過將硅片放置在該潔凈周轉箱內運轉，可以有效減少硅片表面在干進干出運轉過程中顆粒等雜質的引入。本技術為解決上述技術問題采用的技術方案為:一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱，包括一放置硅片的箱體，在箱體的一側邊通過合頁設置有箱蓋，且箱蓋通過插銷實現開合箱體，在箱體對應的兩端分別設置有層流罩和過濾器，使氣流通過層流罩進入到箱體內，在箱體內放置的硅片表面流動，并經過濾器過濾后流出。所述箱體和箱蓋的材質為防靜電塑料，合頁和插銷的材質為不銹鋼。本技術是在密封的周轉箱上增加一個層流罩及過濾器，在周轉箱一側增加一個層流罩，氣流方向為吹向周轉箱內部，潔凈的氣體經層流罩進入周轉箱內，在層流罩的對應側增加一個過濾器，用于氣體的排出，這樣氣體形成一個穩定的層流，不斷的凈化周轉箱內的環境，同時氣體在硅片上的流動，也利于提高硅片表面的潔凈度；硅片從正常的上部放入和取出改為從側面進行放入和取出，利于周轉箱內潔凈度的保持。有益效果:本技術通過在箱上增加層流罩，不僅保持了周轉箱內環境的潔凈度，同時不斷流動的氣體經過硅片的表面，進一步提高了硅片表面的潔凈度，減少了硅片在運轉過程中經過級別較低的潔凈區域對硅片的潔凈度的影響。本技術采用的周轉箱無需因工序之間的流轉對硅片進行的包裝作業，降低了成本，且結構簡單，操作、維護方便。【附圖說明】圖1為本技術的結構示意圖；附圖標記:1、層流罩，2、過濾器，3、合頁，4、插銷，5、箱體，6、箱蓋。【具體實施方式】如圖所示，一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱，包括一放置硅片的箱體5，在箱體5的一側邊通過合頁3設置有箱蓋6，且箱蓋6通過插銷4實現開合箱體5，在箱體5對應的兩端分別設置有層流罩I和過濾器2，使氣流通過層流罩I進入到箱體5內，在箱體5內放置的硅片表面流動，并經過濾器2過濾后流出。所述箱體5和箱蓋6的材質為防靜電塑料，合頁3和插銷4的材質為不銹鋼。在工作時周轉箱放在小推車上，經過清洗后的潔凈硅片在較高級別的潔凈區域內放入箱體5內，然后再合上箱蓋6，并插上插銷4，經過潔凈度級別相對較低的區域運送到下道工序的潔凈度較高的工作區域后打開層流罩I等待使用，在等待使用的過程中在潔凈的氣體不斷的進過層流罩I吹入周轉箱內，然后經過過濾器2流出。在需要時打開箱蓋6，取出硅片，把硅片放在工作臺上進行加工作業。【主權項】1.一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱，包括一放置硅片的箱體(5)，在箱體(5)的一側邊通過合頁(3)設置有箱蓋(6)，且箱蓋(6)通過插銷(4)實現開合箱體(5)，其特征在于:在箱體(5)對應的兩端分別設置有層流罩(I)和過濾器(2)，使氣流通過層流罩(I)進入到箱體(5)內，在箱體(5)內放置的硅片表面流動，并經過濾器(2)過濾后流出。2.根據權利要求1所述的一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱，其特征在于:所述箱體(5)和箱蓋(6)的材質為防靜電塑料，合頁(3)和插銷(4)的材質為不銹鋼。【專利摘要】一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱，由層流罩、過濾器、合頁、插銷、箱體和箱蓋構成。空氣經層流罩過濾后不斷進入箱體內，經過濾器流出，這樣不僅保持了周轉箱內環境的潔凈度，同時不斷流動的氣體經過硅片的表面，進一步提高了硅片表面的潔凈度，減少了硅片在運轉過程中經過級別較低的潔凈區域對硅片的潔凈度的影響。本技術采用的周轉箱無需因工序之間的流轉對硅片進行的包裝作業，降低了成本，且結構簡單，操作、維護方便。【IPC分類】H01L21/677, H01L21/67【公開號】CN204834585【申請號】CN201520609184【專利技術人】苗立剛, 史舸, 陳衛群, 寇文輝, 魏海霞, 崔小換 【申請人】麥斯克電子材料有限公司【公開日】2015年12月2日【申請日】2015年8月14日本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種用于硅片運轉的潔凈周轉箱，包括一放置硅片的箱體（5），在箱體（5）的一側邊通過合頁（3）設置有箱蓋（6），且箱蓋（6）通過插銷（4）實現開合箱體（5），其特征在于：在箱體（5）對應的兩端分別設置有層流罩（1）和過濾器（2），使氣流通過層流罩（1）進入到箱體（5）內，在箱體（5）內放置的硅片表面流動，并經過濾器（2）過濾后流出。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：苗立剛，史舸，陳衛群，寇文輝，魏海霞，崔小換，
申請(專利權)人：麥斯克電子材料有限公司，
類型：新型
國別省市：河南;41
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