本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及機(jī)械設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及需要工件盤與真空箱體整體絕緣的工況、真空蒸發(fā)鍍膜、真空離子鍍膜和真空多弧鍍膜設(shè)備的工件盤與箱體整體絕緣工況下的真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，包括：箱體底座、絕緣墊塊、放置工件盤軌道、緊固件絕緣筒、不銹鋼平面墊圈、不銹鋼內(nèi)六角螺釘、防電離絕緣塊，本實(shí)用新型專利技術(shù)裝置可讓工件盤與真空箱體整體絕緣更加具有可靠性，同時(shí)對(duì)于絕緣部件的維護(hù)保養(yǎng)將極其便捷有效，由于采用了特定的工藝，不會(huì)在絕緣部件之間的空隙發(fā)生電離打火現(xiàn)象，因此，該裝置具有安全性、可靠性和維護(hù)保養(yǎng)的便捷性。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及機(jī)械設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及需要工件盤與真空箱體整體絕緣的工況、真空蒸發(fā)鍍膜、真空離子鍍膜和真空多弧鍍膜設(shè)備的工件盤與箱體整體絕緣工況下的真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置。
技術(shù)介紹
由于真空鍍膜特定工藝和設(shè)備安全操作的需要，真空鍍膜機(jī)根據(jù)不同的鍍膜方式常將將工件盤與真空箱體整體絕緣，這樣可在工件盤上加偏壓，部分工藝工件盤偏壓甚至大于5000V，若真空箱體不能與工件盤整體絕緣將會(huì)對(duì)產(chǎn)品的鍍膜質(zhì)量和設(shè)備的安全操作帶來巨大隱患，鑒于此，必須進(jìn)行優(yōu)良的絕緣設(shè)計(jì)和制造，目前，國內(nèi)絕大多數(shù)設(shè)備工件盤與箱體絕緣常采用陶瓷軸承支撐工件自轉(zhuǎn)系的方式進(jìn)行，此方式在使用初期能夠起到較好的絕緣作用，但是隨設(shè)備使用工作時(shí)間的增加，在陶瓷軸承支撐座與陶瓷軸承之間間隙將被磨料或鍍膜中產(chǎn)生的粉塵填塞，工件盤加偏壓工作時(shí)將要發(fā)生打火，對(duì)絕緣的安全性將是巨大挑戰(zhàn)，同時(shí)打火將可能導(dǎo)致緊固陶瓷軸承的緊固件損壞，這樣陶瓷軸承損壞后將難以拆卸，因此一種既能夠優(yōu)良絕緣，又能夠便于維護(hù)保養(yǎng)的絕緣結(jié)構(gòu)迫在眉睫。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為解決目前現(xiàn)有技術(shù)問題，本技術(shù)將設(shè)備工件盤放置在特定軌道上，軌道與真空箱體使用絕緣材料和絕緣設(shè)計(jì)達(dá)到工件盤與真空箱體整體絕緣的目的的一種真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置。本技術(shù)為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案為:一種真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于包括:箱體底座、絕緣墊塊、放置工件盤軌道、緊固件絕緣筒、不銹鋼平面墊圈、不銹鋼內(nèi)六角螺釘、防電離絕緣塊，所述工件盤放置在軌道上，軌道與箱體通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘連接，軌道與箱體底座之間用15-30mm聚四氟乙烯的絕緣墊塊隔離，內(nèi)六角螺釘穿過緊固件絕緣筒與箱體底座螺紋連接并鎖緊，內(nèi)六角螺釘下墊有不銹鋼平面墊圈，緊固件絕緣筒頂部通過防電離絕緣塊與緊固件絕緣筒過盈配合壓緊，防止電離打火損壞不銹鋼螺釘。優(yōu)選的，以上所有配合間隙不超過3mm;優(yōu)選的，所述絕緣墊塊厚度為15-30mm。本技術(shù)具有以下有益效果:本技術(shù)裝置可讓工件盤與真空箱體整體絕緣更加具有可靠性，同時(shí)對(duì)于絕緣部件的維護(hù)保養(yǎng)將極其便捷有效，由于采用了特定的工藝，不會(huì)在絕緣部件之間的空隙發(fā)生電離打火現(xiàn)象，因此，該裝置具有安全性、可靠性和維護(hù)保養(yǎng)的便捷性。【附圖說明】圖1是本技術(shù)正面結(jié)構(gòu)示意圖；圖中:1-箱體底座；2_絕緣墊塊；3放置工件盤軌道；4_緊固件絕緣筒；5_不銹鋼平面墊圈；6_不銹鋼內(nèi)六角螺釘；7_防電離絕緣塊。【具體實(shí)施方式】工件盤放置在軌道上，軌道與箱體通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)連接，軌道(3)與箱體底座(I)之間用15-30mm聚四氟乙烯絕緣墊塊(2)隔離，內(nèi)六角螺釘(6)穿過緊固件絕緣筒(4)與箱體底座螺紋連接并鎖緊，內(nèi)六角螺釘(6)下墊不銹鋼平面墊圈(5)，防止鎖死過程中緊固件絕緣筒(5)受力不均變形損壞，緊固件絕緣筒(5)頂部通過防電離絕緣塊(7)與緊固件絕緣筒(5)過盈配合壓緊，防止電離打火損壞不銹鋼螺釘。要確保工件盤與箱體整體絕緣，必須確保放置工件盤軌道(3)與箱體底座(I)整體絕緣，放置工件盤軌道(3)與箱體底座(I)通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)聯(lián)接緊固，放置工件盤軌道(3)與箱體底座(I)之間平面接觸面均使用聚四氟乙烯材料的絕緣墊塊(2)進(jìn)行絕緣，不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)需通過放置工件盤軌道的圓孔與箱體底座(I)面上的螺紋孔進(jìn)行配合鎖緊，不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)與放置工件盤軌道(3)之間的絕緣采用聚四氟乙烯材料的緊固件絕緣筒(4)來進(jìn)行絕緣，必須確保絕緣筒穿過放置工件盤軌道(3)上的圓孔如圖，不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)加裝不銹鋼平面墊圈(5)，確保緊固件絕緣筒(4)均勻受力，不被不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6)鎖緊時(shí)損壞，在緊固件絕緣筒(4)上端加裝防電離絕緣塊(7)，確保不銹鋼內(nèi)六角螺釘(6 )不被鍍膜過程中的電離打火損壞以上所述，僅為本技術(shù)較佳的【具體實(shí)施方式】，但本技術(shù)的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本
的技術(shù)人員在本技術(shù)披露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本技術(shù)的技術(shù)方案及其技術(shù)構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本技術(shù)的保護(hù)范圍之內(nèi)。【主權(quán)項(xiàng)】1.一種真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于包括:箱體底座、絕緣墊塊、放置工件盤軌道、緊固件絕緣筒、不銹鋼平面墊圈、不銹鋼內(nèi)六角螺釘、防電離絕緣塊，所述工件盤放置在軌道上，軌道與箱體通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘連接，軌道與箱體底座之間用15-30mm聚四氟乙烯的絕緣墊塊隔離，內(nèi)六角螺釘穿過緊固件絕緣筒與箱體底座螺紋連接并鎖緊，內(nèi)六角螺釘下墊有不銹鋼平面墊圈，緊固件絕緣筒頂部通過防電離絕緣塊與緊固件絕緣筒過盈配合壓緊，防止電離打火損壞不銹鋼螺釘。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于以上所有配合間隙不超過3mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于所述絕緣墊塊厚度為15-30_。【專利摘要】本技術(shù)涉及機(jī)械設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及需要工件盤與真空箱體整體絕緣的工況、真空蒸發(fā)鍍膜、真空離子鍍膜和真空多弧鍍膜設(shè)備的工件盤與箱體整體絕緣工況下的真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，包括：箱體底座、絕緣墊塊、放置工件盤軌道、緊固件絕緣筒、不銹鋼平面墊圈、不銹鋼內(nèi)六角螺釘、防電離絕緣塊，本技術(shù)裝置可讓工件盤與真空箱體整體絕緣更加具有可靠性，同時(shí)對(duì)于絕緣部件的維護(hù)保養(yǎng)將極其便捷有效，由于采用了特定的工藝，不會(huì)在絕緣部件之間的空隙發(fā)生電離打火現(xiàn)象，因此，該裝置具有安全性、可靠性和維護(hù)保養(yǎng)的便捷性。【IPC分類】C23C14/00, C23C14/50【公開號(hào)】CN204825041【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520564360【專利技術(shù)人】張斌, 張松林 【申請(qǐng)人】成都超邁光電科技有限公司【公開日】2015年12月2日【申請(qǐng)日】2015年7月30日本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種真空鍍膜機(jī)工件盤與箱體整體絕緣聯(lián)接裝置，其特征在于包括：箱體底座、絕緣墊塊、放置工件盤軌道、緊固件絕緣筒、不銹鋼平面墊圈、不銹鋼內(nèi)六角螺釘、防電離絕緣塊，所述工件盤放置在軌道上，軌道與箱體通過不銹鋼內(nèi)六角螺釘連接，軌道與箱體底座之間用15?30mm聚四氟乙烯的絕緣墊塊隔離，內(nèi)六角螺釘穿過緊固件絕緣筒與箱體底座螺紋連接并鎖緊，內(nèi)六角螺釘下墊有不銹鋼平面墊圈，緊固件絕緣筒頂部通過防電離絕緣塊與緊固件絕緣筒過盈配合壓緊，防止電離打火損壞不銹鋼螺釘。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張斌，張松林，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：成都超邁光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：四川;51
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