一種優化擴散工藝時間的方法技術

本發明專利技術公開了一種優化擴散工藝時間的方法，屬于光伏技術領域。光伏晶硅電池制造包括清洗制絨、擴散、洗磷刻蝕、PECVD和絲印燒結等工序。作為光伏電池的核心，擴散的工藝時間較長，而較長的擴散工藝時間會影響擴散產能。在不降低轉換效率的情況下，本發明專利技術縮短擴散降溫步的工藝時間，在同等的時間內增加擴散產能，降低生產成本。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及，屬于光伏

技術介紹
隨著現代工業化的發展，不可再生能源日益減少，能源問題越來越成為制約國際 社會經濟發展的瓶頸，很多國家開始實行"陽光計劃"，開發太陽能資源，為經濟發展提供新 的發展動力。在國際光伏市場巨大潛力的推動下，各國的太陽能電池制造商不僅競相投入 巨資，擴大生產，還紛紛建立研發機構，研發新的太陽能電池項目，提高產品的質量和轉換 效率。 在競爭激烈的光伏行業，提高轉換效率和降低生產成本成為光伏制造商的兩大核 心目標。擴散工序是光伏電池制造的核心工序。擴散工藝時間較長，降低擴散工藝時間，可 以在同樣的時間內提升產量，降低產品成本，提升產品競爭力。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供，通過減少后氧化及降溫的 時間，提升擴散產能降低成本。 -種優化擴散工藝時間的方法，具體步驟為： (1) 開始：時間為10 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣 的流量均為〇 L/min ; (2) 進舟：時間為800 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧 氣的流量為〇 L/min ; (3) 升溫：時間為500 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣和氧 氣的流量均為〇 L/min ; (4) 前氧化：時間為200 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣流 量為〇 L/min，氧氣流量為]-5 L/min ; (5) 第一次沉積：時間為900 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為15 L/min，小氮 氣流量為2. 0 L/min，氧氣流量為I. 0 L/min ; (6) 推進：時間為500 s，溫度設置為800~820 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣流量 為0 L/min，氧氣流量為0 L/min; (7) 第二次沉積：時間為500 s，溫度設置為830~850 °C，大氮氣流量為15. 9 L/min，小 氮氣流量為I. 4 L/min，氧氣流量為0. 7 L/min ; (8) 后氧化及降溫：時間為400 s，溫度設置為700~800 °C，大氮氣流量為14 L/min，小 氮氣流量為〇 L/min，氧氣流量為4 L/min; (9) 出舟：時間為800 s，溫度設置為750 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣的 流量為〇 L/min ; (10) 結束：時間為10 s，溫度設置為780 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣的 流量均為O L/min ; 本專利技術制備的硅片通過四探針測試的方塊電阻在70~90 Ω / □，后道的刻蝕、PECVD、絲 印燒結等通過傳統工藝完成，本專利技術制得電池片平均轉換效率略有提升，但可有效降低擴 散工藝時間，提升擴散產能，降低生產成本。【具體實施方式】 以下所述的僅是本專利技術所公開的，應當指出，對于 本領域的普通技術人員來說，在不脫離本專利技術所創造構思的前提下，還可以做出若干變形 和改進，這些都屬于本專利技術的保護范圍。 實施例： ，具體實施步驟如下： (1) 開始：時間為10 S，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣 的流量均為〇 L/min ; (2) 進舟：時間為800 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧 氣的流量為〇 L/min ; (3) 升溫：時間為500 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣和氧 氣的流量均為〇 L/min ; (4) 前氧化：時間為200 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣流 量為〇 L/min，氧氣流量為]-5 L/min ; (5) 第一次沉積：時間為900 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為15 L/min，小氮 氣流量為2. 0 L/min，氧氣流量為I. 0 L/min ; (6) 推進：時間為500 s，溫度設置為800~820 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣流量 為0 L/min，氧氣流量為0 L/min; (7) 第二次沉積：時間為500 s，溫度設置為830~850 °C，大氮氣流量為15. 9 L/min，小 氮氣流量為I. 4 L/min，氧氣流量為0. 7 L/min ; (8) 后氧化及降溫：時間為400 s，溫度設置為700~800 °C，大氮氣流量為14 L/min，小 氮氣流量為〇 L/min，氧氣流量為4 L/min; (9) 出舟：時間為800 s，溫度設置為750 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣的 流量為〇 L/min ; (10) 結束：時間為10 s，溫度設置為780 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣的 流量均為〇 L/min ; 對比例： 傳統擴散工藝，具體實施步驟如下： (1) 開始：時間為10 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣 的流量均為〇 L/min ; (2) 進舟：時間為800 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧 氣的流量為〇 L/min ; (3) 升溫：時間為500 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣和氧 氣的流量均為〇 L/min ; (4) 前氧化：時間為200 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣流 量為〇 L/min，氧氣流量為]-5 L/min ; (5) 第一次沉積：時間為900 s，溫度設置為770~790 °C，大氮氣流量為15 L/min，小氮 氣流量為2. 0 L/min，氧氣流量為I. 0 L/min ; (6) 推進：時間為500 s，溫度設置為800~820 °C，大氮氣流量為18 L/min，小氮氣流量 為0 L/min，氧氣流量為0 L/min; (7) 第二次沉積：時間為500 s，溫度設置為830~850 °C，大氮氣流量為15. 9 L/min，小 氮氣流量為I. 4 L/min，氧氣流量為0. 7 L/min ; (8) 后氧化及降溫：時間為1800 s，溫度設置為700~800 °C，大氮氣流量為14 L/min， 小氮氣流量為〇 L/min，氧氣流量為4 L/min; (9) 出舟：時間為800 s，溫度設置為750 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣的 流量為〇 L/min ; (10) 結束：時間為10 s，溫度設置為780 °C，大氮氣流量為8 L/min，小氮氣和氧氣的 流量均為〇 L/min ; 實施例和對比例采用相同的硅片原料：P型多晶硅片，電阻率0. 5~3 Ω cm，各選1200 片分別進行常規的清洗制絨，分別采用本專利技術的工藝和傳統擴散藝，后續工藝均采用常規 工藝進行生產，對比最終電性能參數，如下表所示：從上述數據可以看出，跟傳統擴散工藝相比，本專利技術的轉換效率略有提升，而本專利技術所 用擴散工藝總時間為4620 s，傳統擴散工藝時間為60本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種優化擴散工藝時間的方法，其特征為：具體步驟為：（1）開始：時間為10?s，溫度設置為770~790?℃，大氮氣流量為8?L/min，小氮氣和氧氣的流量均為0?L/min；（2）進舟：時間為800?s，溫度設置為770~790?℃，大氮氣流量為8?L/min，小氮氣和氧氣的流量為0?L/min；（3）升溫：時間為500?s，溫度設置為770~790?℃，大氮氣流量為18?L/min，小氮氣和氧氣的流量均為0?L/min；（4）前氧化：時間為200?s，溫度設置為770~790?℃，大氮氣流量為18?L/min，小氮氣流量為0?L/min，氧氣流量為1~5?L/min；（5）第一次沉積：時間為900?s，溫度設置為770~790?℃，大氮氣流量為15?L/min，小氮氣流量為2.0?L/min，氧氣流量為1.0?L/min；（6）推進：時間為500?s，溫度設置為800~820?℃，大氮氣流量為18?L/min，小氮氣流量為0?L/min，氧氣流量為0?L/min；（7）第二次沉積：時間為500?s，溫度設置為830~850?℃，大氮氣流量為15.9?L/min，小氮氣流量為1.4?L/min，氧氣流量為0.7?L/min；（8）后氧化及降溫：時間為400?s，溫度設置為700~800?℃，大氮氣流量為14?L/min，小氮氣流量為0?L/min，氧氣流量為4?L/min；（9）出舟：時間為800?s，溫度設置為750?℃，大氮氣流量為8?L/min，小氮氣和氧氣的流量為0?L/min；（10）結束：時間為10?s，溫度設置為780?℃，大氮氣流量為8?L/min，小氮氣和氧氣的流量均為0?L/min。...

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：曹江偉，楊曉琴，張廣路，黃明，
申請(專利權)人：江西展宇新能源股份有限公司，
類型：發明
國別省市：江西;36