樹脂模制裝置和樹脂模制方法制造方法及圖紙

本發明專利技術的課題在于提供一種能夠在一個樹脂模制裝置中自由地實施傳遞成形和壓縮成形的技術。作為解決手段，控制部(130)構成為能夠選擇性地執行進行傳遞成形的成形處理和進行壓縮成形的成形處理，而且構成為根據外部輸入結果選擇執行設定好的成形處理。在傳遞成形處理中，執行將傳遞成形用的樹脂供給到供給口，利用柱塞將傳遞成形用的樹脂加壓輸送到模腔的處理，在壓縮成形處理中，執行將壓縮成形用的樹脂供給到模腔的處理。樹脂供給部(120)構成為能夠與選擇出的成形處理相應地向模制模具選擇性地供給傳遞成形用的樹脂和壓縮成形用的樹脂。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】樹脂模制裝置和樹脂模制方法
本專利技術涉及一種有效地應用于樹脂模制裝置和樹脂模制方法的技術。
技術介紹
例如在半導體裝置的樹脂模制工序中，主要采用從供給口向模腔中注入填充樹脂而密封工件的傳遞成形和向模腔內供給樹脂而密封工件的壓縮成形。根據對象的工件、成形的包裝的形態以及使用的樹脂等相應地適當選擇該傳遞成形和壓縮成形。例如，在傳遞成形中大多采用使顆粒樹脂固態化而成的片狀樹脂、液態樹脂，在壓縮成形中大多采用液態樹脂、顆粒樹脂。作為采用液態樹脂的裝置，在日本特開2012－101517號公報(專利文獻1)中記載有一種具備樹脂供給裝置的傳遞成形裝置，該樹脂供給裝置包括用于滴下液態樹脂的滴下機構以及用于使滴下機構移動的旋轉機構和進退運動機構。現有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2012－101517號公報
技術實現思路
專利技術要解決的問題這樣，樹脂模制裝置(模制成形品的制造裝置)以如下方式被提供：為了針對傳遞成形、壓縮成形分別作為傳遞成形裝置、壓縮成形裝置提高生產率，各部結構最佳化。另外，在半導體制造工廠中，為了根據產品規格等選擇性地使用傳遞成形裝置和壓縮成形裝置，大多兩種裝置都具備。在這種情況下，在工廠內需要設置多種裝置，因此，設置面積增大，這些各種裝置的維持管理費增加，并且由于是選擇性地使用，因此，運行率下降，收回成本要花費很長時間，也被認為會對制造成本產生不良影響。此外，作為成形品，也存在如下這樣的產品：通過在使用傳遞成形裝置進行了傳遞成形之后使用壓縮成形裝置進行壓縮成形來制造、或者通過使用壓縮成形裝置進行了壓縮成形之后使用傳遞成形裝置進行傳遞成形來制造。在為了得到這樣的成形品而設置使用每種成形方法的樹脂模制裝置的情況下，要在設置部位取得場地、或者進行設備投資，因此，成形品的制造成本會升高。本專利技術的目的在于提供一種能夠在一個樹脂模制裝置中進行傳遞成形和壓縮成形的技術。根據本說明書的記述和附圖可明確本專利技術的所述以及其他的目的和新特征。用于解決問題的方案簡單地說明在本申請中公開的專利技術中的、代表性的方式的概要，內容如下。本專利技術的一技術方案的樹脂模制裝置具備：沖壓部，其具有用于對工件進行樹脂模制成形的模制模具；樹脂供給部，其構成為能夠保持模制成形所采用的樹脂并將該樹脂供給到所述模制模具；以及控制部，其用于控制所述沖壓部和所述樹脂供給部，其中，該模制模具具備構成為能夠保持向模腔供給的樹脂的供給口和用于將該供給口內的樹脂加壓輸送到所述模腔的柱塞，所述沖壓部構成為能夠在所述模制模具中驅動該柱塞，所述控制部構成為能夠選擇性地執行進行傳遞成形的成形處理和進行壓縮成形的成形處理，而且構成為根據外部輸入結果選擇執行設定好的所述成形處理，在所述傳遞成形處理中，執行將傳遞成形用的樹脂供給到所述供給口，利用所述柱塞將所述傳遞成形用的樹脂加壓輸送到所述模腔的處理，在所述壓縮成形處理中，執行將壓縮成形用的樹脂供給到模腔的處理，所述樹脂供給部構成為能夠與所述選擇出的成形處理相應地向所述模制模具選擇性地供給所述傳遞成形用的樹脂和所述壓縮成形用的樹脂。在此，所述沖壓部具備所述模制模具，該模制模具具有模腔塊和包圍該模腔塊的夾持件，所述模腔塊相對于所述夾持件相對地移動而所述模腔的容積發生變化，所述樹脂供給部具備在所述沖壓部的內部和外部之間移動而保持樹脂的樹脂保持部，在傳遞成形處理中，使保持著傳遞成形用樹脂的所述樹脂保持部移動到供給口位置，利用所述樹脂保持部向所述供給口內供給傳遞成形用樹脂，在壓縮成形處理中，使保持著壓縮成形用樹脂的所述樹脂保持部移動到模腔位置或工件位置，利用所述樹脂保持部向所述模腔內或者被搬入到所述模制模具中的工件上供給壓縮成形用樹脂。還優選的是，所述控制部構成為將設定好的一個所述成形處理連續地執行設定次數。由此，即便是自動機，也能夠利用簡單的結構進行傳遞成形和壓縮成形這兩者。因而，能夠提升樹脂模制裝置的附加價值。所述一技術方案的樹脂模制裝置優選的是，在所述夾持件上形成有將所述模腔和所述供給口連通的澆道口，所述沖壓部具備用于打開或關閉所述澆道口的開閉機構，所述開閉機構在傳遞成形處理時成為“打開”狀態，在壓縮成形處理時成為“關閉”狀態。由此，在傳遞成形時能夠利用柱塞的作用保持成形壓力(樹脂壓力)，在壓縮成形時能夠利用模腔塊的作用保持成形壓力。所述一技術方案的樹脂模制裝置優選的是，在所述模制模具上形成有自一個所述供給口連通的第1和第2所述模腔，在所述第1模腔中進行傳遞成形，在所述第2模腔中進行壓縮成形。由此，能夠在一個樹脂模制裝置內同時進行傳遞成形和壓縮成形。所述一技術方案的樹脂模制裝置優選的是，在壓縮成形處理中，在所述模腔塊處于成形位置的狀態下利用所述柱塞調整樹脂壓力。由此，在壓縮成形中除了模腔塊的作用之外還能夠利用柱塞的作用調整(加壓或減壓)成形壓力。所述實施方式的樹脂模制裝置優選的是，使所述樹脂保持部直線地通過模腔位置和供給口位置。由此，能夠使樹脂供給部最短程度地移動地向模腔(工件)或供給口供給樹脂。所述實施方式的樹脂模制裝置優選的是，對相同的工件在進行了傳遞成形處理之后進行壓縮成形處理，對相同的工件在進行了壓縮成形處理之后進行傳遞成形處理，或者對相同的工件將傳遞成形處理和壓縮成形處理中的至少任一種處理進行多次，在工件上層疊樹脂。由此，不使用傳遞成形裝置和壓縮成形裝置，僅通過使用一個樹脂模制裝置就能夠對相同的工件進行從傳遞成形和壓縮成形中選擇的各種樹脂模制成形。專利技術的效果簡單地說明利用在本申請中公開的專利技術中的、代表性的方式得到的效果，能夠在一個樹脂模制裝置中自由地實施傳遞成形和壓縮成形。附圖說明圖1是本專利技術的第1實施方式的樹脂模制裝置的概略結構圖。圖2是用于說明本專利技術的第1實施方式的樹脂供給部的動作的圖，表示供給傳遞成形用樹脂的情況。圖3是用于說明本專利技術的第1實施方式的樹脂供給部的動作的圖，表示供給壓縮成形用樹脂的情況。圖4是本專利技術的第1實施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖5是接著圖4的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖6是接著圖5的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖7是接著圖6的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖8是本專利技術的第1實施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖9是接著圖8的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖10是接著圖9的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖11是本專利技術的第2實施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖12是接著圖11的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖13是接著圖12的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖14是接著圖13的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖15是接著圖14的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖16是接著圖15的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖17是本專利技術的第3實施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖18是接著圖17的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖19是接著圖18的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖20是本專利技術的第4實施方式的動作過程中的樹脂模制裝置的主要部分的剖視圖。圖21是本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種樹脂模制裝置，其具備：沖壓部，其具有用于對工件進行樹脂模制成形的模制模具；樹脂供給部，其構成為能夠保持模制成形所采用的樹脂并將該樹脂供給到所述模制模具；以及控制部，其用于控制所述沖壓部和所述樹脂供給部，該樹脂模制裝置的特征在于，該模制模具具備構成為能夠保持向模腔供給的樹脂的供給口和用于將該供給口內的樹脂加壓輸送到所述模腔的柱塞，所述沖壓部構成為能夠在所述模制模具中驅動該柱塞，所述控制部構成為能夠選擇性地執行進行傳遞成形的成形處理和進行壓縮成形的成形處理，而且構成為根據外部輸入結果選擇執行設定好的所述成形處理，在所述傳遞成形處理中，執行將傳遞成形用的樹脂供給到所述供給口，利用所述柱塞將所述傳遞成形用的樹脂加壓輸送到所述模腔的處理，在所述壓縮成形處理中，執行將壓縮成形用的樹脂供給到模腔的處理，所述樹脂供給部構成為能夠與選擇出的所述成形處理相應地向所述模制模具選擇性地供給所述傳遞成形用的樹脂和所述壓縮成形用的樹脂。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2013.05.13 JP 2013-1015791.一種樹脂模制裝置，其具備：沖壓部，其具有用于對工件進行樹脂模制成形的模制模具；樹脂供給部，其構成為能夠保持模制成形所采用的樹脂并將該樹脂供給到所述模制模具；以及控制部，其用于控制所述沖壓部和所述樹脂供給部，該樹脂模制裝置的特征在于，該模制模具具備構成為能夠保持向模腔供給的樹脂的供給口和用于將該供給口內的樹脂加壓輸送到所述模腔的柱塞，所述沖壓部構成為能夠在所述模制模具中驅動該柱塞，所述沖壓部具備所述模制模具，該模制模具具有模腔塊和包圍該模腔塊的夾持件，所述模腔塊相對于所述夾持件相對地移動而所述模腔的容積發生變化，所述控制部構成為能夠選擇性地執行進行傳遞成形的成形處理和進行壓縮成形的成形處理，而且構成為根據外部輸入結果選擇執行設定好的所述成形處理，所述樹脂供給部具備在所述沖壓部的內部和外部之間移動而保持樹脂的樹脂保持部，構成為能夠與選擇出的所述成形處理相應地向所述模制模具選擇性地供給所述傳遞成形用的樹脂和所述壓縮成形用的樹脂，在所述傳遞成形處理中，執行使保持著所述傳遞成形用的樹脂的所述樹脂保持部移動到供給口位置、利用所述樹脂保持部向所述供給口內供給所述傳遞成形用的樹脂、利用所述柱塞將所述傳遞成形用的樹脂加壓輸送到所述模腔的處理，在所述壓縮成形處理中，執行使保持著所述壓縮成形用的樹脂的所述樹脂保持部移動到模腔位置或工件位置、利用所述樹脂保持部向所述模腔內或者被搬入到所述模制模具中的工...

【專利技術屬性】
技術研發人員：佐藤壽，東福寺茂幸，川口誠，
申請(專利權)人：山田尖端科技株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP