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    UV LED光源結構和平行光曝光機制造技術

    技術編號:12830313 閱讀:126 留言:0更新日期:2016-02-07 17:21
    本發明專利技術涉及曝光機的技術領域,公開了UV?LED光源結構和平行光曝光機,包括UV?LED燈頭、復眼透鏡模組、平面鏡以及球面鏡,沿UV?LED光源結構的光路方向,UV?LED燈頭、復眼透鏡模組、平面鏡以及球面鏡依序布置;UV?LED中設有UV?LED燈珠,UV?LED燈頭與復眼透鏡模組相鄰平行布置,兩者之間通過可調節UV?LED燈頭與復眼透鏡模組之間距離的調節機構連接。UV?LED燈頭放置在復眼透鏡模組前方,利用復眼透鏡模組、平面鏡以及球面鏡,形成了用于曝光的平行光;將該UV?LED光源結構運用在現有的平行光曝光機中,不需要客戶更新換代設備,不需要大規模改造設備,花最少的代價,即可以獲得低溫、節能、環保、安全的采用UV?LED光源結構的曝光機,避免耽誤生產,并且大大降低成本。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及曝光機的
    ,尤其涉及UV LED光源結構和包括該UV LED光源結構的平行光曝光機。
    技術介紹
    參照圖1所示,為傳統平行光曝光機的光源結構1,傳統的平行光曝光機,其采用超高壓汞燈10作為光源,該超高壓汞燈10首先經過一個橢圓反射鏡11聚光,光線匯聚到一個第一平面鏡12上,第一平面鏡12把超高壓汞燈10光線中熱量高的IR光線(紅外光線)部分透射出去,并將超高壓汞燈10中的UV光線(紫外光線)反射匯聚到第二平面鏡13上,第二平面鏡13再進一步把UV光線幾乎無損耗得反射匯聚到一個復眼透鏡14上,復眼透鏡14學名叫平行光凸透鏡陣列,也叫蠅眼透鏡,英文名為fly eyes ;經由復眼透鏡14出來的光線匯聚在第三平面鏡15上,并由第三平面鏡15反射后,擴散到一個球面鏡16上,球面鏡16反射出大面積均勻度高、準直度好(平行半角約1.5° -5° )的平行光線,平行光線通過光掩膜板17,即可在曝光玻璃18上顯影,從而完成整個曝光的過程。由上述可知,傳統的平行光曝光機中都是采用超高壓汞燈光源結構1,其超高壓汞燈10通過復雜的光學結構達到產生大面積平行光線的目的,但是,汞燈10的壽命通常只有1000個小時左右,因此,使用1-2個月后,則需要替換一次光源。而現有技術中,UV LED(紫外線發光二極管)的發光效率在有了很大的提升,以日本日亞公司、韓國首爾公司、韓國LG公司、臺灣旭明公司、臺灣聯盛公司等為代表的365NM波長UV LED的晶元發光效率從前幾年的〈15%,到目前的接近40%,并且,UV LED與超高壓汞燈相比,具有以下優勢:1)、UV LED的壽命在20000個小時以上,因此可以避免頻繁更換光源的麻煩;2)、UV LED有效光譜范圍窄,其光利用率高,更加節能;3)、UV LED不含萊,不會產生臭氧,更加環保;4)、UV LED光源驅動電源中不含有高壓,更加安全。現時科技的發展使得LED UV光源替代超高壓汞燈光源成為可能。近兩年來,有三種替代應用方案正在興起,第一種是以深圳市藍譜里克科技、深圳市大川光電等為代表的UV LED掃描式平行光曝光光源結構;第二種是以法國A0TUMARK公司為代表的震動補光式大面積UV LED平行光曝光光源結構;第三種是以大日本網屏公司為代表的直顯式UV LED曝光光源結構。上述的三種UV LED光源替代超高壓汞燈光源方案,其使用在平行光曝光機中,都需要徹底改變傳統曝光機內部的光學結構,以達到能產生平行光的效果,這樣,對于將傳統的超高壓汞燈光源結構1的曝光機,其要實現方便快捷的改裝成UV LED光源結構的曝光機,則是無能為力的,其需要重新設計獲得平行光的整套光學結構,來完全替代現有的曝光機內的光學結構,才能夠實現獲得平行光的效果。但是,目前市面上約99%以上的曝光機都是采用傳統的超高壓汞燈光源結構1,并且,用于獲得平行光的整套光學結構的價格非常昂貴,幾乎占到整個曝光機成本的1/3,這樣,不僅成本較高,且重新設計光學結構,也導致曝光機結構復雜,且需要中斷生產導致耽誤生產的問題。
    技術實現思路
    本專利技術的目的在于提供UV LED光源結構,旨在解決現有技術中的平行光曝光機采用UV LED光源,需要重新設計光學結構,導致成本過高、結構復雜以及耽誤生產的問題。本專利技術是這樣實現的,UV LED光源結構,包括UV LED燈頭、復眼透鏡模組、平面鏡以及球面鏡,沿所述UV LED光源結構的光路方向,所述UV LED燈頭、復眼透鏡模組、平面鏡以及球面鏡依序布置;所述UV LED中設有用于出射紫外光線的UV LED燈珠,所述UV LED燈頭與所述復眼透鏡模組相鄰平行布置,兩者之間通過可調節所述UV LED燈頭與所述復眼透鏡模組之間距離的調節機構連接。本專利技術還提供了平行光曝光機,其包括上述的UV LED光源結構。與現有技術相比,本專利技術提供的UV LED光源結構,其直接將UV LED燈頭放置在復眼透鏡模組前方,UV LED燈珠發出的光線經由復眼透鏡模組、平面鏡以及球面鏡,則形成了用于曝光的平行光;將該UV LED光源結構運用在現有的平行光曝光機中,其可以減去現有技術中平行光曝光機中的橢圓反射鏡以及兩個平面鏡,使得其光學結構更加簡單,不需要客戶更新換代設備,也不需要大規模改造設備,花最少的代價,即可以使得熱量大、功耗高、有污染的采用超高壓汞燈的曝光機改造成低溫、節能、環保、安全的采用UV LED光源結構的曝光機,避免耽誤生產,并且大大降低成本。采用上述UV LED光源結構的平行光曝光機,其避免采用超高壓汞燈作為光源,具有低溫、節能、環保、安全等優點,其相對節省器件使用,可以節約生產成本及空間。【附圖說明】圖1是現有技術中的平行光曝光機的光源結構的主視示意圖;圖2是本專利技術實施例提供的UV LED光源結構的主視示意圖;圖3是本專利技術實施例提供的UV LED光源結構的部分立體示意圖;圖4是本專利技術實施例提供的UV LED燈頭與復眼透鏡模組之間的立體爆炸示意圖圖5是本專利技術實施例提供的UV LED燈頭與復眼透鏡模組之間的立體爆炸示意圖--,圖6是本專利技術實施例提供的驅動器的立體爆炸圖一;圖7是本專利技術實施例提供的驅動器的立體爆炸圖二。【具體實施方式】為了使本專利技術的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本專利技術進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本專利技術,并不用于限定本專利技術。以下結合具體實施例對本專利技術的實現進行詳細的描述。參照圖2?7所示,為本專利技術提供的較佳實施例。參照2?5所示,本專利技術提供的UV LED光源結構2運用在平行光曝光機中,或者,其也可以運用在其它需要曝光的設備中,并不僅限制于本實施例中的平行光曝光機。UV LED光源結構2包括UV LED燈頭23、復眼透鏡模組24、平面鏡25以及球面鏡26,沿著光路的出射方向,UV LED燈頭23、復眼透鏡模組24、平面鏡25以及球面鏡26依序布置;其中,UV LED燈頭23與復眼透鏡模組24相鄰平行布置,且置于復眼透鏡模組24的前方,內設有UV LED光源,該UV LED用于射出UV光線;UV LED燈頭23出射的光線透過復眼透鏡模組24,射至平面鏡25,光線經由平面鏡25反射至球面鏡26,經由球面鏡26反射后形成平行光線,該平行光線透過光掩膜板27,則可以在曝光玻璃28上顯影。UV LED燈頭23與復眼透鏡模組24之間相鄰平行布置,兩者之間通過調節機構連接,該調節機構可以用于調節UV LED燈頭23與復眼透鏡模組24之間的距離。上述提供的UV LED光源結構2,其采用UV LED光源,直接將UV LED燈頭23放置在復眼透鏡模組24的前方,并且,UV LED光源發出的光線通過復眼透鏡模組24、平面鏡25以及球面鏡26以后,可以形成平行光,用于對曝光玻璃進行曝光。將上述提供的UV LED光源結構2運用在現有技術中的平行光曝光機中,其可以直接將UV LED燈頭23放置在復眼透鏡模組24前方,代替超高壓汞燈光源,利用后端的平面鏡25和球面鏡26直接得到大面積均勻平行的紫外光線。并且可以減去現有技術中平行光曝光機中的橢圓反射鏡以及兩個平面鏡,使得其光學結構更加簡單,在更換的過程中,直接拆卸掉一些器件則可,不需要本文檔來自技高網
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    <a  title="UV LED光源結構和平行光曝光機原文來自X技術">UV LED光源結構和平行光曝光機</a>

    【技術保護點】
    UV?LED光源結構,其特征在于,包括UV?LED燈頭、復眼透鏡模組、平面鏡以及球面鏡,沿所述UV?LED光源結構的光路方向,所述UV?LED燈頭、復眼透鏡模組、平面鏡以及球面鏡依序布置;所述UV?LED中設有用于出射紫外光線的UV?LED燈珠,所述UV?LED燈頭與所述復眼透鏡模組相鄰平行布置,兩者之間通過可調節所述UV?LED燈頭與所述復眼透鏡模組之間距離的調節機構連接。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:張河生唐威張春玲
    申請(專利權)人:張河生
    類型:發明
    國別省市:廣東;44

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