本發明專利技術涉及一種雙工件臺換臺自轉裝置，包括框架、公轉電機、第一工作臺總成、第二工作臺總成、第一直線滑動軸承、第二直線滑動軸承、第一直線導桿、第二直線導桿、第一隨動導桿驅動器、第二隨動導桿驅動器。本發明專利技術具有以下優點：1、解決了以往旋轉換臺方案硅片臺相位反轉與光學系統配套難的問題。2、將工件臺自轉的旋轉運動轉化為撥桿驅動器的直線運動，可以減小控制系統的設計難度。3、使隨動導桿驅動器與其他直線電機共用Y向導軌上的測量裝置，避免了旋轉驅動實現自轉的測量機構的使用，降低了成本。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于半導體制造裝備的
，特別涉及一種雙工件臺自轉裝置。
技術介紹
集成電路發展至今，每片芯片上已經可以實現集成十億余個器件的規模。在這種時代背景下，集成電路的制造就成了一個國家的重中之重。因此，作為生產制造集成電路的重要設備，光刻機的水平對于一個國家的發展就有了決定性的作用。一臺高端的光刻機，不但要有高精度，還需要有高產率。工件臺系統的工作主要由:將要處理的硅片上片、對準和曝光、將此硅片下片這幾項工序組成。傳統的單工件臺系統，這幾項工序是依次完成的，而新發展產生的雙工件臺系統則是將整個工序分開成對準和曝光、上下片和硅片表面特征測量兩個部分，分別在兩個工件臺上、兩個區域內完成。這就需要中間的換臺步驟，其換臺效率直接影響光刻機的產能。經查驗相關文獻，中國專利申請號:201110069546.9，步進掃描光刻機雙臺交換系統。該專利設計了一種將X向導軌拆分為兩截，通過左右兩部分的導軌的Y向運動配合工件臺的X向運動來實現換臺中的自轉，保證了工件臺坐標系與基礎框架坐標系之間的無旋轉。但該方法機械結構復雜，并且在曝光和測量的過程中，整段的導軌也需要跟隨工件臺一同運動，需要大功率電機進行實現，存在發熱量大引起系統溫升等問題。中國專利申請號:201110377824.7，一種基于測量位自轉調向的雙工件臺回轉交換方法與裝置。該專利設計了在工件臺中安裝自轉機構，通過旋轉電機實現工件臺的自轉運動。該方法轉動慣量小，機械結構相對簡單，但對控制方法要求極高，并且需要額外的圓光柵等角度測量元件，提高了成本。
技術實現思路
本專利技術的目的是提供一種雙工件臺換臺自轉裝置，是為了解決專利申請號:201110069546.9，專利的技術方案存在機械結構復雜，并且在曝光和測量的過程中，整段的導軌也需要跟隨工件臺一同運動，需要大功率電機進行實現，存在發熱量大引起系統溫升的問題，及專利申請號:201110377824.7，專利的技術方案存在對控制方法要求極高，并且需要額外的圓光柵等角度測量元件，提高了成本的問題。—種雙工件臺換臺自轉裝置具體技術方案如下，它包括框架1、公轉電機2、第一工作臺總成3、第二工作臺總成4、第一直線滑動軸承5、第二直線滑動軸承6、第一直線導桿7、第二直線導桿8、第一隨動導桿驅動器9、第二隨動導桿驅動器10 ;第一工作臺總成3由第一上平臺3-1和第一環形座3-2組成；第一環形座3-2通過氣浮軸承轉動套接在第一上平臺3-1的下端轉軸上；第二工作臺總成4由第二上平臺4-1和第二環形座4-2組成；第二環形座4-2通過氣浮軸承轉動套接在第二上平臺4-1的下端轉軸上；公轉電機2設置在框架1的中心位置上，公轉電機2的第一抓卡機構2-1抓卡在第一工作臺總成3的第一環形座3-2上，公轉電機2的第二抓卡機構2-2抓卡在第二工作臺總成4的第二環形座4-2上，第一直線滑動軸承5安裝在第一上平臺3-1下端面上，第二直線滑動軸承6安裝在第二上平臺4-1下端面上，第一隨動導桿驅動器9滑動設置在框架1上，第二隨動導桿驅動器10滑動設置在框架1上；第一直線導桿7的一端垂直安裝在第一隨動導桿驅動器9上，第二直線導桿8的一端垂直安裝在第二隨動導桿驅動器10上；第一直線導桿7的另一端滑動鑲嵌在第一直線滑動軸承5內，第二直線導桿8的另一端滑動鑲嵌在第二直線滑動軸承6內，當公轉電機2在逆時針旋轉180度后再順時針旋轉180度的循環過程中時，第一直線導桿7能在第一直線滑動軸承5內做直線滑動，能限制第一工作臺總成3的第一上平臺3-1的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器9能跟隨第一直線導桿7的往復直線滑動動作在框架1上做往復直線滑動；第二直線導桿8能在第二直線滑動軸承6內做直線滑動，能限制第二工作臺總成4的第二上平臺4-1的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器10能跟隨第二直線導桿8的往復直線滑動動作在框架1上做往復直線滑動；所述第一直線滑動軸承5和第二直線滑動軸承6可用氣浮式直線滑動軸承替換，而能將摩擦阻力減到最??；第一隨動導桿驅動器9和第二隨動導桿驅動器10器由直線電機、氣足裝置搭建組成。上述一種雙工件臺換臺自轉裝置的使用方法如下:工作時，公轉電機2的第一抓卡機構2-1抓卡在第一工作臺總成3的第一環形座3-2上，公轉電機2的第二抓卡機構2-2抓卡在第二工作臺總成4的第二環形座4-2上；當公轉電機2逆時針旋轉180度時，第一直線導桿7能在第一直線滑動軸承5內做直線滑動，能限制第一工作臺總成3的第一上平臺3-1的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器9能在其直線電機的驅動下跟隨第一直線導桿7的直線滑動動作在框架1上做直線滑動；第二直線導桿8能在第二直線滑動軸承6內做直線滑動，能限制第二工作臺總成4的第二上平臺4-1的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器10能在其直線電機的驅動下跟隨第二直線導桿8的直線滑動動作在框架1上做直線滑動；當公轉電機2再順時針旋轉180度時，第一直線導桿7能在第一直線滑動軸承5內做直線滑動，能限制第一工作臺總成3的第一上平臺3-1的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器9能在其直線電機的驅動下跟隨第一直線導桿7的直線滑動動作在框架1上做直線滑動；第二直線導桿8能在第二直線滑動軸承6內做直線滑動，能限制第二工作臺總成4的第二上平臺4-1的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器10能在其直線電機的驅動下跟隨第二直線導桿8的直線滑動動作在框架1上做直線滑動。完成一個工作周期。本專利技術具有以下優點:1、解決了以往旋轉換臺方案硅片臺相位反轉與光學系統配套難的問題。2、將工件臺自轉的旋轉運動轉化為撥桿驅動器的直線運動，可以減小控制系統的設計難度。3、使隨動導桿驅動器與其他直線電機(如Y向電機)共用Y向導軌上的測量裝置(如光柵尺)，避免了旋轉驅動實現自轉的測量機構的使用(如圓光柵)，降低了成本。【附圖說明】圖1是本專利技術的整體結構示意圖?！揪唧w實施方式】【具體實施方式】一:結合圖1所示，一種雙工件臺換臺自轉裝置包括框架1、公轉電機2、第一工作臺總成3、第二工作臺總成4、第一直線滑動軸承5、第二直線滑動軸承6、第一直線導桿7、第二直線導桿8、第一隨動導桿驅動器9、第二隨動導桿驅動器10 ;第一工作臺總成3由第一上平臺3-1和第一環形座3-2組成；第一環形座3-2通過氣浮軸承轉動套接在第一上平臺3-1的下端轉軸上；第二工作臺總成4由第二上平臺4-1和第二環形座4-2組成；第二環形座4-2通過氣浮軸承轉動套接在第二上平臺4-1的下端轉軸上；公轉電機2設置在框架1的說明書中心位置上，公轉電機2的第一抓卡機構2-1抓卡在第一工作臺總成3的第一環形座3-2上，公轉電機2的第二抓卡機構2-2抓卡在第二工作臺總成4的第二環形座4-2上，第一直線滑動軸承5安裝在第一上平臺3-1下端面上，第二直線滑動軸承6安裝在第二上平臺4-1下端面上，第當前第1頁1 2 本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種雙工件臺換臺自轉裝置，其特征在于它包括框架(1)、公轉電機(2)、第一工作臺總成(3)、第二工作臺總成(4)、第一直線滑動軸承(5)、第二直線滑動軸承(6)、第一直線導桿(7)、第二直線導桿(8)、第一隨動導桿驅動器(9)、第二隨動導桿驅動器(10)；第一工作臺總成(3)由第一上平臺(3?1)和第一環形座(3?2)組成；第一環形座(3?2)通過氣浮軸承轉動套接在第一上平臺(3?1)的下端轉軸上；第二工作臺總成(4)由第二上平臺(4?1)和第二環形座(4?2)組成；第二環形座(4?2)通過氣浮軸承轉動套接在第二上平臺(4?1)的下端轉軸上；公轉電機(2)設置在框架(1)的中心位置上，公轉電機(2)的第一抓卡機構(2?1)抓卡在第一工作臺總成(3)的第一環形座(3?2)上，公轉電機(2)的第二抓卡機構(2?2)抓卡在第二工作臺總成(4)的第二環形座(4?2)上，第一直線滑動軸承(5)安裝在第一上平臺(3?1)下端面上，第二直線滑動軸承(6)安裝在第二上平臺(4?1)下端面上，第一隨動導桿驅動器(9)滑動設置在框架(1)上，第二隨動導桿驅動器(10)滑動設置在框架(1)上；第一直線導桿(7)的一端垂直安裝在第一隨動導桿驅動器(9)上，第二直線導桿(8)的一端垂直安裝在第二隨動導桿驅動器(10)上；第一直線導桿(7)的另一端滑動鑲嵌在第一直線滑動軸承(5)內，第二直線導桿(8)的另一端滑動鑲嵌在第二直線滑動軸承(6)內，當公轉電機(2)在逆時針旋轉180度后再順時針旋轉180度的循環過程中時，第一直線導桿(7)能在第一直線滑動軸承(5)內做直線滑動，能限制第一工作臺總成(3)的第一上平臺(3?1)的轉動角度為零，第一隨動導桿驅動器(9)能跟隨第一直線導桿(7)的往復直線滑動動作在框架(1)上做往復直線滑動；第二直線導桿(8)能在第二直線滑動軸承(6)內做直線滑動，能限制第二工作臺總成(4)的第二上平臺(4?1)的轉動角度為零，第二隨動導桿驅動器(10)能跟隨第二直線導桿(8)的往復直線滑動動作在框架(1)上做往復直線滑動；所述第一直線滑動軸承(5)和第二直線滑動軸承(6)可用氣浮式直線滑動軸承替換，而能將摩擦阻力減到最小；第一隨動導桿驅動器(9)和第二隨動導桿驅動器(10)器由直線電機、氣足裝置搭建組成。...
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：楊海林，
申請(專利權)人：楊海林，
類型：發明
國別省市：北京;11
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