一種二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)(H)包括：保持構(gòu)件，該保持構(gòu)件附接到底座部分(14)并且保持伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)；和伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)，該伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)被保持構(gòu)件(13)保持，用于將伸長(zhǎng)形狀的二硅化鉬基陶瓷加熱元件(11)在伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)的長(zhǎng)軸線方向上間隔地安裝，其中，安裝在伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)上的伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件(11)能夠在不破壞加熱元件保持結(jié)構(gòu)的情況下被更換。設(shè)置多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)，并且蜿蜒形狀的伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件(11)的U形部分能夠在由底座部分(14)、多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)和保持該多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件的保持構(gòu)件(13)限定的空間內(nèi)從單軸方向插入和拔出，或者伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)被保持構(gòu)件(13)可拆卸地保持，使得伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件(12)能夠從保持構(gòu)件(13)移除。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】
本專(zhuān)利技術(shù)涉及一種用于二硅化鉬(MoSi2)基陶瓷加熱元件的保持結(jié)構(gòu)。
技術(shù)介紹
MoSi2基陶瓷加熱元件用在半導(dǎo)體裝置和用于玻璃等的加工裝置中，因?yàn)榕c金屬加熱元件和其它陶瓷加熱元件比較，MoSi2S陶瓷加熱元件耐熱性極佳。MoSi 2基陶瓷加熱元件能夠被加熱至1600至2000°C的高溫，并且能夠?qū)崿F(xiàn)高達(dá)約20W/cm2的高表面功率密度。因?yàn)镸oSi2S陶瓷加熱元件缺乏強(qiáng)度并且在高溫下軟化，因此伸長(zhǎng)形狀的MoSi2S陶瓷加熱元件不能夠被其單獨(dú)一端自由地保持。MoSi2基陶瓷加熱元件需要在諸如絕熱材料的襯底上以預(yù)定間隔保持。在MoSi2基陶瓷加熱元件面朝下保持在加熱爐中的頂板側(cè)上的情況下，如圖1所示，使用U形銷(xiāo)釘(3)將MoSi2S陶瓷加熱元件(1)附接到絕熱材料(2)上的結(jié)構(gòu)是公知的。通過(guò)使絕熱材料(2)成為陶瓷纖維板單元，使用這個(gè)單元能夠容易地構(gòu)造加熱爐，其中MoSi2S陶瓷加熱元件(1)附接到絕熱材料(2)。在加熱元件附接結(jié)構(gòu)中，因?yàn)镸oSi2基陶瓷加熱元件借助許多釘附著地固定到絕熱材料上，所以當(dāng)加熱元件變得退化或損壞時(shí)，難以單獨(dú)地更換加熱元件。然而，在圖1中示出的結(jié)構(gòu)中，與MoSi2基陶瓷加熱元件附接的陶瓷纖維板單元能夠被替換為單元。可替換地，雖然不是不可能破壞所有的釘、對(duì)孔進(jìn)行修理和重新附接釘，但是這需要?jiǎng)趧?dòng)，而且多次更換實(shí)際上是不可能的。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
在圖1中示出的傳統(tǒng)技術(shù)中，由于MoSi2基陶瓷加熱元件的附接結(jié)構(gòu)，難以單獨(dú)更換MoSi2基陶瓷加熱元件。如果加熱元件能夠被單獨(dú)更換，從成本和勞動(dòng)的角度看，這是期望的。而且，如果MoSi2基陶瓷加熱元件借助許多釘固定，其包含加工這些釘?shù)呢?fù)擔(dān)和大成本。而且，這樣加熱元件單元是不方便的，這在于，當(dāng)加熱至高溫時(shí)，難以更換，因?yàn)榧訜釥t的操作需要停止，以更換加熱元件單元。而且，如果加熱元件借助許多釘固定，由于在加熱的同時(shí)加熱器的膨脹和收縮，因此存在損壞的風(fēng)險(xiǎn)。鑒于傳統(tǒng)技術(shù)的上述問(wèn)題，本專(zhuān)利技術(shù)的目的是使能夠獨(dú)立地更換MoSi2基陶瓷加熱元件作為加熱元件，以能夠在加熱的同時(shí)更換，并且通過(guò)提高加熱器的固定點(diǎn)的移動(dòng)自由度來(lái)減少損壞的風(fēng)險(xiǎn)。實(shí)現(xiàn)以上目的的本專(zhuān)利技術(shù)在于(resides in)如下幾點(diǎn):(1) 二娃化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，包括:—個(gè)或多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件，該一個(gè)或多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件用于通過(guò)將伸長(zhǎng)形狀的二硅化鉬基陶瓷加熱元件安裝在沿著伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件的長(zhǎng)軸線方向的多個(gè)位置處，來(lái)支撐伸長(zhǎng)形狀的二硅化鉬基陶瓷加熱元件，以及多個(gè)第一保持構(gòu)件，該多個(gè)第一保持構(gòu)件用于將每個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件保持在每個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件的長(zhǎng)軸線方向的兩個(gè)或多個(gè)位置處，其中，所述多個(gè)第一保持構(gòu)件被所述一個(gè)或多個(gè)第二保持構(gòu)件保持或者被保持結(jié)構(gòu)的底座部分保持，并且安裝在伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件上的伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件能夠在不破壞加熱元件保持結(jié)構(gòu)的情況下被更換。(2)根據(jù)以上(1)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，設(shè)置多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件，并且通過(guò)能夠在由底座部分或第二保持構(gòu)件、多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件以及多個(gè)第一保持構(gòu)件限定的空間中從單軸方向插入和拔出蜿蜒形狀的伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件的U形部分，在不破壞加熱元件保持結(jié)構(gòu)的情況下可更換地保持伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件。(3)根據(jù)以上(1)或(2)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件被第一保持構(gòu)件可拆卸地保持，并且通過(guò)將伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件從保持構(gòu)件拆卸，伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件能夠在不破壞保持結(jié)構(gòu)的情況下被更換。(4)根據(jù)以上(1)至(3)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，在向上和向下方向兩個(gè)方向上都敞開(kāi)的框架體被設(shè)置為第二保持構(gòu)件或底座部分，并且通過(guò)將伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件安裝到伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件，框架體的向上和向下方向兩個(gè)方向都能夠被加熱。(5)根據(jù)以上(1)至(3)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，第二保持構(gòu)件是伸長(zhǎng)形狀，并且保持多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件中的每個(gè)伸長(zhǎng)支撐結(jié)構(gòu)的多個(gè)第一保持構(gòu)件被伸長(zhǎng)形狀的第二保持構(gòu)件串聯(lián)地保持。(6)根據(jù)以上(5)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，在從在向上和向下方向中的至少一個(gè)方向上敞開(kāi)的框架體被設(shè)置成與伸長(zhǎng)形狀的第二保持構(gòu)件分開(kāi)，第二保持構(gòu)件被保持在框架體中，框架體的所述至少一個(gè)方向被作成能夠由安裝到伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件的伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件加熱，并且能夠?qū)⒌诙３謽?gòu)件與第一保持構(gòu)件和伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件一起從框架體移除。(7)根據(jù)以上⑴至(6)中的任一項(xiàng)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件包括多個(gè)彼此電絕緣的二硅化鉬基陶瓷元件，二硅化鉬基陶瓷加熱元件被以這樣的方式安裝，即:直接地與二硅化鉬基陶瓷元件接觸。(8)根據(jù)以上(1)至(6)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件是由容納二硅化鉬基陶瓷的元件的電絕緣陶瓷制成的伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件，二硅化鉬基陶瓷元件彼此電絕緣，并且二硅化鉬基陶瓷加熱元件被以這樣的方式安裝，即:直接地與二硅化鉬基陶瓷元件接觸。(9)根據(jù)以上(8)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，電絕緣體插在各個(gè)二硅化鉬基陶瓷制成的元件之間，以抑制二硅化鉬基陶瓷制成的元件的移動(dòng)，并且電絕緣體具有比二娃化鉬基陶瓷制成的元件更大的尺寸，使得在它們的高度上(in theirlevels)形成差異，并且抑制當(dāng)加熱時(shí)二硅化鉬基陶瓷加熱元件的變形。(10)根據(jù)以上(7)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，其中，多個(gè)二硅化鉬基陶瓷元件是棒狀的或管狀的元件，每對(duì)相鄰的棒狀或管狀其元件之間介入有電絕緣體，并且被棒狀或管狀電絕緣體保持在一起。根據(jù)本專(zhuān)利技術(shù)，提供上述的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)、與其對(duì)應(yīng)的二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持方法、以及在這個(gè)加熱元件保持結(jié)構(gòu)中使用的特定的構(gòu)件。根據(jù)本專(zhuān)利技術(shù)的MoSi2基陶瓷加熱元件的保持結(jié)構(gòu)，能夠容易地單獨(dú)更換MoSi2基陶瓷加熱元件。能夠減少加熱元件(加熱器)和保持結(jié)構(gòu)的總體制造成本、和更換加熱元件的成本和勞動(dòng)或努力。而且，在優(yōu)選的實(shí)施例中，當(dāng)加熱到高溫時(shí)也容易更換MoSi2基陶瓷加熱元件。而且，根據(jù)本專(zhuān)利技術(shù)，防止加熱元件的支撐材料的退化，并且能夠減少對(duì)加熱元件脫落的關(guān)注。而且，能夠降低由于在加熱到高溫或降溫到低溫期間收縮和膨脹兩者造成的Mo S i 2基陶瓷加熱元件的損壞頻率?！靖綀D說(shuō)明】圖1示出了傳統(tǒng)的加熱元件保持單元。圖2示出了MoSi2基陶瓷加熱元件的示例。圖3A-3C示出了本專(zhuān)利技術(shù)的第一實(shí)施例。圖4示出了加熱元件保持單元的陶瓷棒從其移除的狀態(tài)。圖5示出了伸長(zhǎng)的陶瓷保持構(gòu)件的結(jié)構(gòu)和部件示例。圖6A-6B示出了陶瓷管的示例。圖7A-7B示出了伸長(zhǎng)的陶瓷保持構(gòu)件的另一個(gè)示例。圖7C示出了保持如圖7A-圖7B所示的伸長(zhǎng)的陶瓷保持構(gòu)件的方式的示例。圖8A-8B示出了本專(zhuān)利技術(shù)的第二實(shí)施例。圖9A-9B示出了本專(zhuān)利技術(shù)的第三實(shí)施例。圖10示出了本專(zhuān)利技術(shù)的第四實(shí)施例。圖11示出了本專(zhuān)利技術(shù)的第四實(shí)施例的修改實(shí)施例?！揪唧w實(shí)施方式】在本專(zhuān)利技術(shù)中使用的二硅化鉬(MoSi2)基陶瓷加熱元件是公知的。二硅化鉬(MoSi2)基陶瓷是具有抗高溫和高壓的加熱元件，并且一般地包括從50至95體積百分比的二硅化鉬(MoSi2)和5至50體積百分比的二氧化硅基氧化物相或玻璃相，基于以上主要成分的本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種二硅化鉬基陶瓷加熱元件保持結(jié)構(gòu)，包括：一個(gè)或多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件，所述一個(gè)或多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件用于通過(guò)將伸長(zhǎng)形狀的二硅化鉬基陶瓷加熱元件安裝在沿著所述一個(gè)或多個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件的長(zhǎng)軸線方向的多個(gè)位置上而支撐所述伸長(zhǎng)形狀的二硅化鉬基陶瓷加熱元件；以及多個(gè)第一保持構(gòu)件，所述多個(gè)第一保持構(gòu)件用于在每個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件的長(zhǎng)軸線方向的兩個(gè)或更多個(gè)位置上保持每個(gè)伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件；其中，所述多個(gè)第一保持構(gòu)件被一個(gè)或多個(gè)第二保持構(gòu)件保持，或者被保持結(jié)構(gòu)的底座部分保持，并且能夠在不破壞加熱元件保持結(jié)構(gòu)的情況下更換被安裝在所述伸長(zhǎng)支撐構(gòu)件上的所述伸長(zhǎng)二硅化鉬基陶瓷加熱元件。
【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：后藤和貴，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：山特維克株式會(huì)社，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：日本;JP
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