膜厚的檢測裝置制造方法及圖紙

本申請提供了一種膜厚的檢測裝置。該檢測裝置包括：公共電極、至少一個檢測電極與檢測電路，其中，各檢測電極與公共電極在第一方向上相對且間隔設置，且公共電極的第一公共表面與各檢測電極的第一檢測表面相對，第一公共表面與各第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道；檢測電路與各檢測電極電連接，檢測電路包括誤差消除單元，誤差消除單元用于消除噪音信號，噪音信號為公共電極未加載電壓時，檢測電極上的電信號。該檢測裝置利用誤差消除單元消除檢測電極上的噪音信號，進而消除了由于這一部分信號帶來的檢測誤差，使得該檢測裝置的檢測結果更加準確。

【技術實現步驟摘要】

本申請涉及薄膜厚度檢測的
，具體而言，涉及一種膜厚的檢測裝置。
技術介紹
薄片狀物品，如紙張、票據、塑料薄膜、紡織物品等的在線連續厚度測量，在其產品的生產、檢測、處理、回收等過程中處于越來越重要的地位。當前，薄膜厚度的檢測技術要包括霍爾、反射型超聲波、透射型超聲、電磁感應式、渦流式等技術。但這些技術對應的檢測裝置體積較大，成本較高，不利于這些技術的應用。近年來，通過電極間的靜電感應進行薄膜厚度的檢測技術在不斷研究探索之中，例如公開號CN210302446Y的專利公開的了一種電容式紙厚傳感器，其主要是將電容器的容量變化轉化成振蕩頻率的變化，再通過頻壓轉換模塊將頻率的變化轉換成電壓的變化。公開號為CN103363887A的專利也公開了一種材料厚度的檢測方法，利用平板電容的極板作為厚度檢測的敏感器件，實測對象的厚度變化引起的電容活動極板產生位移，導致平板電容器的容量發生變化。上述這些通過電極間的靜電感應的檢測薄膜厚度的技術在一定程度上減小了檢測裝置的體積，但仍需要傳動機構，因此與檢測設備的小型化發展還不相符。另外，現有技術中的檢測裝置不能精確測量薄膜的厚度，不利于薄膜產品厚度的精確監控，進而不利于薄膜產品質量的監控。
技術實現思路
本申請旨在提供一種膜厚的檢測裝置，以解決現有技術中的檢測裝置不能準確地檢測出薄膜的厚度的問題。為了實現上述目的，根據本申請的一個方面，提供了一種膜厚的檢測裝置，該裝置包括:公共電極、至少一個檢測電極與檢測電路，其中，各檢測電極與上述公共電極在第一方向上相對且間隔設置，且上述公共電極的第一公共表面與各上述檢測電極的第一檢測表面相對，上述第一公共表面與各上述第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道；檢測電路與各上述檢測電極電連接，上述檢測電路包括誤差消除單元，上述誤差消除單元用于消除噪音信號，上述噪音信號為上述公共電極未加載電壓時，上述檢測電極上的電信號。進一步地，上述檢測電路還包括復位單元，上述復位單元與上述誤差消除單元電連接，其中，上述復位單元用于存儲上述噪音信號。進一步地，上述檢測電路還包括:移位控制單元與放大單元，其中，移位控制單元包括輸入端，上述輸入端與各上述檢測電極電連接，上述移位控制單元用于控制多個上述檢測電極的電信號的輸出順序；放大單元一端與上述移位控制單元的輸出端電連接，另一端分別與上述復位單元和上述誤差消除單元電連接，上述放大單元用于放大接收到的上述電信號。進一步地，上述檢測裝置中包括多個上述檢測電極，且多個上述檢測電極被分為沿第二方向間隔設置的多個檢測電極組，上述第二方向與上述待測膜的移動方向垂直，且與上述第一方向垂直，各上述檢測電極組包括兩個檢測電極，上述移位控制單元包括兩個移位控制模塊，各上述檢測電極組中的兩個上述檢測電極與兩個上述移位控制模塊的輸入端對應電連接。進一步地，上述放大單元為差分放大單元。進一步地，上述檢測電路還包括信號傳輸時序控制單元，上述信號傳輸時序控制單元設置在上述放大單元與上述復位單元之間，上述信號傳輸時序控制單元用于控制上述放大單元是否向上述復位單元輸入上述電信號。進一步地，上述檢測裝置還包括:第一基板與第二基板，其中，上述公共電極設置在上述第一基板的第一表面上，上述第一基板的第一表面與上述第一方向垂直；第二基板與上述第一基板在上述第一方向上間隔設置，上述第二基板的第一表面朝向上述第一基板的第一表面，并且與上述第一基板的第一表面平行，各上述檢測電極設置在上述第二基板的第一表面上。進一步地，上述第一基板與上述第二基板均為陶瓷基板。進一步地，上述檢測裝置還包括:第一框體與第二框體，其中，上述第一基板設置在上述第一框體的第一表面上；第二框體與上述第一框體在上述第一方向上間隔設置，上述第二基板設置在上述第二框體的第一表面上。進一步地，上述檢測裝置中還包括:第一保護層與第二保護層，其中，第一保護層設置在上述第一公共表面上；第二保護層設置在所有上述第一檢測表面上。進一步地，上述檢測裝置中還包括:第一導電薄膜與第二導電薄膜，其中，第一導電薄膜設置在上述公共電極與上述第一保護層之間；第二導電薄膜設置在所有上述檢測電極與上述第二保護層之間。應用本申請的技術方案，當公共電極上未加載電壓時，檢測電極由于外界的因素已經感應出一定量的電荷，這樣的電信號實際為噪音信號，如果不消除這樣的噪音信號直接進行檢測，檢測出的結果并不準確。本申請中利用誤差消除單元消除檢測電極上的噪音信號，進而消除了由于這一部分信號帶來的檢測誤差，使得該檢測裝置的檢測結果更加準確。【附圖說明】構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本申請的進一步理解，本申請的示意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構成對本申請的不當限定。在附圖中:圖1示出了本申請一種典型實施方式提出的膜厚的檢測裝置的結構示意圖；圖2示出了一種優選實施例提供的部分膜厚的檢測裝置的剖面結構示意圖；圖3示出了一種優選實施例提供的部分膜厚的檢測裝置的剖面結構示意圖；以及圖4示出了一種優選實施例提供的部分膜厚的檢測裝置的剖面結構示意圖。其中，上述附圖包括以下附圖標記:2、檢測電極組；3、檢測電路；10、公共電極；20、檢測電極；30、第一基板；40、第二基板；50、第一框體；60、第二框體；11、第一導電薄膜；12、第一保護層；21、第二導電薄膜；22、第二保護層；31、移位控制單元；32、放大單元；33、信號傳輸時序控制單元；34、復位單元；35、誤差消除單元；201、第一檢測電極；202、第二檢測電極；311、第一移位控制模塊；312、第二移位控制模塊。【具體實施方式】應該指出，以下詳細說明都是例示性的，旨在對本申請提供進一步的說明。除非另有指明，本文使用的所有技術和科學術語具有與本申請所屬
的普通技術人員通常理解的相同含義。需要注意的是，這里所使用的術語僅是為了描述【具體實施方式】，而非意圖限制根據本申請的示例性實施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數形式也意圖包括復數形式，此外，還應當理解的是，當在本說明書中使用術語“包含”和/或“包括”時，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。正如
技術介紹
所介紹的，現有技術中的檢測裝置不能精確測量薄膜的厚度，為了解決如上的技術問題，本申請提出了一種膜厚的檢測裝置。本申請的一種典型的實施方式中，如圖1所示，提供了一種膜厚的檢測裝置，該裝置包括公共電極10、至少一個檢測電極20與檢測電路3。其中，各檢測電極20與上述公共電極10在第一方向上相對且間隔設置，且上述公共電極10的第一公共表面與每個上述檢測電極20的第一檢測表面相對，上述第一公共表面與各上述第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道，檢測電路3與各上述檢測電極20電連接，上述檢測電路3包括誤差消除單元35，上述誤差消除單元35用于消除噪音信號，上述噪音信號為上述公共電極未加載電壓時，上述檢測電極20上的電信號。該檢測裝置中的該檢測裝置中，公共電極10與各檢測電極20都是平面電極，公共電極10與檢測電極20在第一方向上相對且間隔設置，公共電極10與每個檢測電極20形成類似平板電容結構，并且二者之間沒有固定的介質填充而是形成一個傳輸通道。當公共電極10上帶電荷后，各檢測電本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種膜厚的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置包括：公共電極(10)；至少一個檢測電極(20)，各所述檢測電極(20)與所述公共電極(10)在第一方向上相對且間隔設置，且所述公共電極(10)的第一公共表面與各所述檢測電極(20)的第一檢測表面相對，所述第一公共表面與各所述第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道；以及檢測電路(3)，與各所述檢測電極(20)電連接，所述檢測電路(3)包括誤差消除單元(35)，所述誤差消除單元(35)用于消除噪音信號，所述噪音信號為所述公共電極未加載電壓時，所述檢測電極(20)上的電信號。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：姜利，
申請(專利權)人：威海華菱光電股份有限公司，
類型：發明
國別省市：山東;37