本實用新型專利技術涉及真空鍍膜設備技術領域,具體涉及一種真空鍍膜設備觀察窗的保護裝置,包括帶有固定擋片、內卡圈、外卡圈等結構的不銹鋼筒體及保護玻璃。本實用新型專利技術在觀察窗現有保護措施的基礎上,采用一種簡單的裝置,將保護玻璃置于觀察窗座內腔中,使得觀察玻璃與真空腔室之間形成間隔,從而有效地阻止污染物沉積在觀察玻璃上,大大減少觀察玻璃拆卸的次數,達到保護觀察窗的目的。當保護玻璃經過長期使用變得模糊后,只要將本實用新型專利技術從觀察窗座內腔中取出,然后將保護玻璃從不銹鋼筒體的一端取出便可進行清理。無需拆卸觀察窗,操作方便簡單,不影響真空室密封性能,保護玻璃清理干凈后可以重新使用。
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及真空鍍膜設備
,具體涉及一種真空鍍膜設備觀察窗的保護裝置。
技術介紹
真空鍍膜技術作為制備薄膜材料的一種常用手段,在現代工業生產及科學研究中有著廣泛的應用。觀察窗是真空鍍膜設備不可缺少的裝置,在真空鍍膜設備運行過程中至關重要。在真空鍍膜時,操作者通過觀察窗可以隨時觀察真空腔室內部的實時運行狀況及鍍膜的進展,從而保證鍍膜的順利進行及設備的安全運行。常用的觀察窗一般采用擋板來保護觀察玻璃,在觀察的時候打開擋板,不觀察的時候關閉擋板,由擋板擋住大部分污染物,阻止污染物沉積在觀察玻璃上。但由于結構簡單,仍然會有部分沉積物附著在觀察玻璃上。同時,在長期使用觀察窗觀察鍍膜實時情況后,觀察玻璃同樣也會被沉積上污染物變得模糊不清,甚至無法觀察真空腔室內的工作情況。在這種情況下,為了獲得最佳觀察效果,往往需要拆卸觀察窗,卸下觀察玻璃進行清理。由于觀察窗直接與真空腔室相連,頻繁的拆卸會使得該部位密封性能變差,從而影響真空腔室的真空度及鍍膜的質量。并且,對于采用金屬密封墊圈的觀察窗,每次拆卸都需要更換金屬密封墊圈,維護成本較大。
技術實現思路
本技術就是為了解決現有技術中的不足,提供一種結構簡單、清理方便并能有效保護觀察玻璃不被污染的裝置。為實現上述目的,提供一種真空鍍膜設備觀察窗的保護裝置,包括帶有固定擋片1、固定擋片2、固定擋片3、內卡圈4、外卡圈5的不銹鋼筒體7及保護玻璃6,其特征在于不銹鋼筒體一端帶有向內凹用于卡緊保護玻璃的卡圈,并且帶有若干個固定擋片確保保護玻璃與觀察玻璃緊密貼合,使用時將保護玻璃放入不銹鋼筒體帶有內卡圈的一端,再將帶有保護玻璃的一端放進觀察窗座的內腔中,并將不銹鋼筒體往內推,使保護玻璃和觀察玻璃貼合,并利用向外凸起的卡圈將不銹鋼筒體卡在觀察窗座內,所述的觀察窗座一般為圓柱體并密封焊接在真空腔室上,保護玻璃在觀察玻璃與真空腔室之間現成了間隔,從而可以有效地保護觀察玻璃不被污染,達到減少拆卸觀察窗的目的。所述的不銹鋼筒體,其材料應具有一定的韌性,可以在筒體上折出永久變形的擋片,也可以是其他金屬材料制成的筒體。所述的固定擋片主要用于擋住保護玻璃,確保保護玻璃與觀察玻璃緊密貼合,擋片的數量及尺寸可以根據保護玻璃的尺寸和重量進行調整。所述的不銹鋼筒體上帶有固定擋片一端的向內凹的卡圈,在使用時,將保護玻璃從帶有卡圈的一端放入,依靠卡圈彈性變形的彈力將保護玻璃卡住,協同固定擋片固定保護玻璃,卡圈的位置及數量可以根據保護玻璃的厚度和重量設置。所述的不銹鋼筒體上帶有向外凸起的卡圈,在使用時,依靠卡圈彈性變形的彈力將筒體卡在觀察窗座腔內,卡圈的位置及數量可以根據筒體的長度和裝置整體重量設置。所述的保護玻璃的直徑要略小于觀察窗座內腔的直徑,保護玻璃由固定擋片固定在不銹鋼筒體的一端,并隨圓筒朝內卡持在觀察窗座內腔中,與觀察玻璃貼合。所述的不銹鋼筒體長度要略長于觀察窗座內腔的深度,以便于圓筒從觀察窗座內腔中取出,但不能擋住觀察窗的擋板。本技術在觀察窗現有保護措施的基礎上,采用一種簡單的裝置,將保護玻璃置于觀察窗座內腔中,使得觀察玻璃與真空腔室之間形成間隔,達到再次保護觀察玻璃不被污染、減少拆卸觀察窗的目的。本技術的由不銹鋼筒體制作而成,制作簡單、方便。保護玻璃通過該圓筒可以卡持在觀察窗座內腔內,并與觀察玻璃貼合。從而,保護玻璃可以擋住污染物,有效地阻止其沉積在觀察玻璃上,結合擋板保護,可以大大減少觀察玻璃拆卸的次數,達到保護觀察窗、減少維護成本的目的。由于保護玻璃擋住了污染物,長期使用后會變得模糊。此時,只要將本技術從觀察窗座內腔中取出,然后將保護玻璃從不銹鋼筒體的一端取出便可進行清理,無需拆卸觀察窗,方便簡單。【附圖說明】圖1是本技術的結構示意圖;如圖所示,圖中:1、2、3為固定擋片4為內卡圈5為外卡圈6為保護玻璃7為不銹鋼筒體;圖2是本技術的截面圖;如圖所示,圖中:8為不銹鋼筒體截面9為保護玻璃截面10為內卡圈截面11為外卡圈截面;圖3是將本技術置于觀察窗座內腔內的實施示意圖;如圖所示,圖中:12為不銹鋼筒體13為保護玻璃14為內卡圈15為外卡圈16為觀察玻璃17為觀察窗座內腔18為真空腔室壁。【具體實施方式】下面結合附圖對本技術作進一步說明,這種裝置的結構和原理對于本技術來說是非常清楚明了的。本技術包括帶有固定擋片、內卡圈、外卡圈等結構的不銹鋼筒體及保護玻璃,其特征在于不銹鋼筒體一端帶有向內凹用于卡緊保護玻璃的卡圈,并且帶有若干個固定擋片確保保護玻璃與觀察玻璃緊密貼合,使用時將保護玻璃放入不銹鋼筒體帶有內卡圈的一端,再將帶有保護玻璃的一端放進觀察窗座的內腔中,并將不銹鋼筒體往內推,使保護玻璃和觀察玻璃貼合,并利用向外凸起的卡圈將不銹鋼筒體卡在觀察窗座內,所述的觀察窗座一般為圓柱體并密封焊接在真空腔室上,保護玻璃在觀察玻璃與真空腔室之間現成了間隔,從而可以有效地保護觀察玻璃不被污染,達到減少拆卸觀察窗的目的。經過長期使用,保護玻璃會變得模糊。此時,只要將本技術從觀察窗座內腔中取出,然后將保護玻璃從不銹鋼筒體的一端取出便可進行清理。無需拆卸觀察窗,操作方便簡單,不影響真空室密封性能,保護玻璃清理干凈后可以重新使用。首先制作出如圖1所示的不銹鋼筒體7,如圖所示,該不銹鋼筒體帶有固定擋片1、2、3內卡圈4及外卡圈5等結構,內卡圈位于不銹鋼筒體帶有固定擋片的一端。固定擋片1、2、3均勻分布在筒體上并與筒體壁垂直,固定擋片離不銹鋼筒體的端口距離相等。如圖1所示,將保護玻璃6由不銹鋼筒體帶有內卡圈的一端放入就構成了本技術。本技術的截面圖如圖2所示,保護玻璃9被置于不銹鋼筒體8的一端,依靠內卡圈10發生彈性形變卡在不銹鋼筒體8的一端,筒體上還帶有向外凸起的卡圈11。在使用時,將帶有保護玻璃的一端放入觀察窗座內腔中,并將不銹鋼筒體往內推,使保護玻璃和觀察玻璃貼合,獲得最佳觀察效果。本技術置于觀察窗座內腔內的實施示意圖如圖3所示,保護玻璃13可以隨不銹鋼筒體12卡持在觀察窗座內腔17中,將觀察玻璃16和真空腔室隔開。不銹鋼筒體依靠外卡圈15發生彈性形變的向外彈力固定在觀察窗內腔中。在使用觀察窗觀察真空室內鍍膜狀態時,保護玻璃可以擋住污染物,避免沉積到觀察玻璃上對觀察玻璃造成污染,從而達到減少拆卸觀察窗的目的。如圖3所示,所設計的圓筒長度要略長于觀察窗座內腔的深度,圓筒有部分超出真空腔室壁18,露在真空腔室內。在需要清理保護玻璃時,可以很容易地把圓筒從觀察窗座內腔中取出,然后將保護玻璃從不銹鋼筒體的一端取出進行清理。【主權項】1.一種真空鍍膜設備觀察窗的保護裝置,包括帶有固定擋片1、固定擋片2、固定擋片3、內卡圈4、外卡圈5的不銹鋼筒體7及保護玻璃6,其特征在于不銹鋼筒體一端帶有向內凹用于卡緊保護玻璃的卡圈,并且帶有若干個固定擋片確保保護玻璃與觀察玻璃緊密貼合,使用時將保護玻璃放入不銹鋼筒體帶有內卡圈的一端,再將帶有保護玻璃的一端放進觀察窗座的內腔中,并將不銹鋼筒體往內推,使保護玻璃和觀察玻璃貼合,并利用向外凸起的卡圈將不銹鋼筒體卡在觀察窗座內,所述的觀察窗座一般為圓柱體并密封焊接在真空腔室上,保護玻璃在觀察玻璃與真空腔室之間現成了間隔,本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種真空鍍膜設備觀察窗的保護裝置,包括帶有固定擋片1、固定擋片2、固定擋片3、內卡圈4、外卡圈5的不銹鋼筒體7及保護玻璃6,其特征在于不銹鋼筒體一端帶有向內凹用于卡緊保護玻璃的卡圈,并且帶有若干個固定擋片確保保護玻璃與觀察玻璃緊密貼合,使用時將保護玻璃放入不銹鋼筒體帶有內卡圈的一端,再將帶有保護玻璃的一端放進觀察窗座的內腔中,并將不銹鋼筒體往內推,使保護玻璃和觀察玻璃貼合,并利用向外凸起的卡圈將不銹鋼筒體卡在觀察窗座內,所述的觀察窗座一般為圓柱體并密封焊接在真空腔室上,保護玻璃在觀察玻璃與真空腔室之間現成了間隔,從而可以有效地保護觀察玻璃不被污染,達到減少拆卸觀察窗的目的。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:張平,楊康,王慧斌,張夢賢,方一航,
申請(專利權)人:張平,臺州學院,
類型:新型
國別省市:浙江;33
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