一種新型鑄錠爐冷卻裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術涉及一種新型鑄錠爐冷卻裝置，其包括下爐體、熱交換臺、底部加熱裝置、抽拉裝置、水冷銅盤、水冷筒體、進水軟管和出水軟管；其中，所述熱交換臺支撐在下爐體的若干石墨立柱上；所述底部加熱裝置位于熱交換臺的底部；所述抽拉裝置位于底部加熱裝置下方；所述水冷筒體安裝在下爐體的底部，并延伸入下爐體，其內設有水冷筒體水道；所述水冷銅盤置于水冷筒體的頂部，其內設有水冷銅盤水道；所述水冷筒體水道和水冷銅盤水道相連通；所述進水軟管和出水軟管延伸入水冷筒體，并分別和水冷銅盤水道連通。本實用新型專利技術的新型鑄錠爐冷卻裝置能協調隔熱籠提升散熱，從而優化長晶系統，減少能耗，生產出高品質硅錠。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種鑄錠爐的組成裝置，具體涉及一種新型鑄錠爐冷卻裝置，屬于多晶硅生產設備

技術介紹
鑄錠爐是多晶硅片生產過程中的關鍵設備，目前市場主流的硅錠重量在500～800KG之間。根據目前國際上技術發展水平和晶體硅自身物理化學特性及多晶硅工業發展趨勢來判斷，多晶硅鑄錠爐的生產發展趨勢是往大規格（1000～1200KG），低能耗（每公斤硅錠消耗電能7度以下），高品質的方向發展。所以G7(甚至G8)硅錠的研發也提上議程。但是，隨著硅錠規格的不斷擴大，靠隔熱籠提升散熱結晶的方法，使硅錠中心部分的熱量很難散出去，影響長晶效果，而且長晶時間也會比較長因此，為解決上述技術問題，確有必要提供一種新型鑄錠爐冷卻裝置，以克服現有技術中的所述缺陷。
技術實現思路
為解決上述問題，本技術的目的在于提供一種新型鑄錠爐冷卻裝置，其協調隔熱籠提升散熱，從而優化長晶系統，減少能耗，生產出高品質硅錠。為實現上述目的，本技術采取的技術方案為：一種新型鑄錠爐冷卻裝置，其包括下爐體、熱交換臺、底部加熱裝置、抽拉裝置、水冷銅盤、水冷筒體、進水軟管和出水軟管；其中，所述熱交換臺支撐在下爐體的若干石墨立柱上；所述底部加熱裝置位于熱交換臺的底部；所述抽拉裝置位于底部加熱裝置下方；所述水冷筒體安裝在下爐體的底部，并延伸入下爐體，其內設有水冷筒體水道；所述水冷銅盤置于水冷筒體的頂部，其內設有水冷銅盤水道；所述水冷筒體水道和水冷銅盤水道相連通；所述進水軟管和出水軟管延伸入水冷筒體，并分別和水冷銅盤水道連通。本技術的新型鑄錠爐冷卻裝置進一步設置為：所述水冷銅盤的橫截面呈梯形結構，其為無氧銅材質的水冷銅盤。本技術的新型鑄錠爐冷卻裝置進一步設置為：所述水冷銅盤和水冷筒體之間，水冷筒體和下爐體之間分別設有一O型圈。本技術的新型鑄錠爐冷卻裝置還設置為：所述水冷銅盤水道為溝槽式水冷銅盤水道。與現有技術相比，本技術具有如下有益效果：1、成本低：水冷銅盤的橫截面呈梯形結構，使輻射狀吸收熱量，在不影響冷卻效果的情況下材料成本大大降低；此外采用的是盤體內水道，而不是銅管與銅盤焊接的方式，材料、人工焊接的成本進一步降低。2、進水軟管和出水軟管直接與水冷銅盤相接，因此也就無此焊接要求。3、安全性更高：水冷銅盤置于水冷筒體之上，即使發生硅液全部溢流的狀況，包裹石棉層的水冷筒體不但可以使水冷銅盤置于液位面之上，保護水冷銅盤，而且可以使液體硅快速凝固，不造成外泄事故。4、焊接效果更加可靠：此水冷銅盤采用的是溝槽式水道，焊縫面在爐腔外側，避免了焊縫反復處在無氧高溫與有氧常溫狀態中有可能發生焊縫氧化甚至脫落的狀況。5、氣密效果更好：兩處只采用O型圈密封，大大降低因密封效果差導致漏氣的可能性。附圖說明圖1是本技術的新型鑄錠爐冷卻裝置的結構示意圖。圖2是圖1的局部結構示意圖。具體實施方式請參閱說明書附圖1和附圖2所示，本技術為一種新型鑄錠爐冷卻裝置，其由下爐體1、熱交換臺2、底部加熱裝置3、抽拉裝置4、水冷銅盤5、水冷筒體6、進水軟管7和出水軟管8等幾部分組成。其中，所述熱交換臺2支撐在下爐體1的若干石墨立柱9上，其主要用導熱性能好的石墨材料制成，在長晶時便于散熱。所述底部加熱裝置3位于熱交換臺2的底部；所述抽拉裝置4位于底部加熱裝置3下方。所述水冷筒體6安裝在下爐體1的底部，并延伸入下爐體1，其內設有水冷筒體水道10。所述水冷銅盤5置于水冷筒體6的頂部，其內設有水冷銅盤水道11，該水冷銅盤水道11為溝槽式水冷銅盤水道11。所述水冷筒體水道10和水冷銅盤水道11相連通。進一步的，所述水冷銅盤5的橫截面呈梯形結構，從而能輻射狀吸收熱量，其為無氧銅材質的水冷銅盤5。所述水冷銅盤5和水冷筒體6之間，水冷筒體6和下爐體1之間分別設有一O型圈12，從而增強兩者的密封性。所述進水軟管7和出水軟管8延伸入水冷筒體6，并分別和水冷銅盤水道11連通，通過進水軟管7輸入冷卻水，而通過出水軟管8將換熱后的水排出。本技術的新型鑄錠爐冷卻裝置在長晶階段與隔熱籠相互協作，具體過程為：在長晶階段，隔熱籠提升裝置（未圖示）和抽拉裝置4按照程序設定的工藝參數配合運行，隔熱籠提升裝置提升隔熱籠緩慢提升，并將抽拉裝置4抽開，熱量過熱交換臺2向底部散發，結合底部的水冷銅盤5散熱。以上的具體實施方式僅為本創作的較佳實施例，并不用以限制本創作，凡在本創作的精神及原則之內所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本創作的保護范圍之內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種新型鑄錠爐冷卻裝置，其特征在于：包括下爐體、熱交換臺、底部加熱裝置、抽拉裝置、水冷銅盤、水冷筒體、進水軟管和出水軟管；其中，所述熱交換臺支撐在下爐體的若干石墨立柱上；所述底部加熱裝置位于熱交換臺的底部；所述抽拉裝置位于底部加熱裝置下方；所述水冷筒體安裝在下爐體的底部，并延伸入下爐體，其內設有水冷筒體水道；所述水冷銅盤置于水冷筒體的頂部，其內設有水冷銅盤水道；所述水冷筒體水道和水冷銅盤水道相連通；所述進水軟管和出水軟管延伸入水冷筒體，并分別和水冷銅盤水道連通。

【技術特征摘要】
1.一種新型鑄錠爐冷卻裝置，其特征在于：包括下爐體、熱交換臺、底部加熱裝置、抽拉裝置、水冷銅盤、水冷筒體、進水軟管和出水軟管；其中，所述熱交換臺支撐在下爐體的若干石墨立柱上；所述底部加熱裝置位于熱交換臺的底部；所述抽拉裝置位于底部加熱裝置下方；所述水冷筒體安裝在下爐體的底部，并延伸入下爐體，其內設有水冷筒體水道；所述水冷銅盤置于水冷筒體的頂部，其內設有水冷銅盤水道；所述水冷筒體水道和水冷銅盤水道相連通；所述進...

【專利技術屬性】
技術研發人員：金越順，朱偉鋒，朱一鳴，來迪文，史冰冰，
申請(專利權)人：浙江精功科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：浙江;33