一種用于硅片的噴砂器制造技術(shù)

本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)涉及一種用于硅片的噴砂器，解決了現(xiàn)有技術(shù)中噴砂裝置操作不方便的不足。本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)提供的一種用于硅片的噴砂器，在箱體上固定有封閉取放窗口的密封板，該密封板滑動(dòng)連接在箱體上，箱體上還固定有驅(qū)動(dòng)密封板滑動(dòng)的絲杠，該絲杠由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，箱體上固定有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器，該控制器與光線(xiàn)檢測(cè)器相互通訊，需要將產(chǎn)品放入上腔時(shí)，操作人員遮擋光線(xiàn)檢測(cè)器的發(fā)光器，光線(xiàn)檢測(cè)器的接收器得到信號(hào)并將該信號(hào)傳至控制器，驅(qū)動(dòng)電機(jī)動(dòng)作打開(kāi)取放窗口，操作人員操作完畢后取消遮擋發(fā)光器的動(dòng)作，接收器得到信號(hào)后控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)動(dòng)作，將取放窗口關(guān)閉操作十分方便。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種用于硅片的噴砂器。
技術(shù)介紹
硅片在生產(chǎn)過(guò)程中，將硅錠切割成硅片后部分硅片可能需要進(jìn)行噴砂處理，以利于硅片的后續(xù)處理。現(xiàn)有技術(shù)中沒(méi)有專(zhuān)門(mén)針對(duì)硅片進(jìn)行噴砂處理的裝置，由于硅片生產(chǎn)過(guò)程中可能并不需要對(duì)所有硅片進(jìn)行噴砂，因此，現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)硅片進(jìn)行噴砂時(shí)均在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)直接進(jìn)行，硅片噴砂處理過(guò)程中砂料回收率低，并且，由于噴砂時(shí)沒(méi)有防護(hù)措施，硅片的噴砂過(guò)程對(duì)環(huán)境影響大。現(xiàn)有技術(shù)中有采用其它材料的噴砂裝置對(duì)硅片進(jìn)行噴砂處理，但是現(xiàn)有技術(shù)中的噴砂裝置需要手工打開(kāi)門(mén)體將硅片放入裝置內(nèi)進(jìn)行噴砂，操作十分不方便。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)提供的一種用于硅片的噴砂器，旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中噴砂裝置操作不方便的不足。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本技術(shù)采用如下技術(shù)方案：一種用于硅片的噴砂器，包括箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)有將箱體分為上腔和下腔的隔板，所述隔板上開(kāi)設(shè)有排砂口，所述箱體上開(kāi)設(shè)有取放窗口，所述箱體上還開(kāi)設(shè)有觀察窗口，所述取放窗口和觀察窗口均與上腔相通，所述箱體上還固定有封閉觀察窗口的亞克力板，所述亞克力板通過(guò)固定螺釘固定在箱體上，所述箱體上設(shè)有封閉取放窗口的密封板，所述密封板滑動(dòng)連接在箱體上，所述箱體上固定有滑軌，所述滑軌上開(kāi)設(shè)有與密封板配合的滑槽，所述滑槽內(nèi)填充有潤(rùn)滑脂，所述箱體上還固定有驅(qū)動(dòng)密封板滑動(dòng)的絲杠，所述密封板上固定有與絲杠配合的螺母，所述箱體上還固定有驅(qū)動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述箱體上還固定有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器，所述箱體上在取放窗口處還固定有檢測(cè)是否需要打開(kāi)密封板的光線(xiàn)檢測(cè)器，所述光線(xiàn)檢測(cè)器包括發(fā)光器和接收器，所述發(fā)光器位于取放窗口的上端，所述接收器位于取放窗口的下端，所述接收器與控制器相互通訊，所述箱體上還固定有一對(duì)限制密封板極限位置的限位開(kāi)關(guān)，所述限位開(kāi)關(guān)與控制器相互通訊；該用于硅片的噴砂器還包括噴槍?zhuān)鰢姌屛挥谏锨粌?nèi)，所述下腔內(nèi)固定有噴砂器，所述上腔內(nèi)還固定有控制噴砂器的控制裝置，所述控制裝置與控制器相互通訊，所述排砂口與噴砂器之間通過(guò)排砂管連接，所述噴砂器通過(guò)噴砂管與噴槍連接，所述隔板上開(kāi)設(shè)有穿設(shè)噴砂管的通孔，所述箱體上還開(kāi)設(shè)有檢修口，所述檢修口與下腔相通，所述箱體上固定有封閉檢修口的檢修門(mén)，所述箱體上還開(kāi)設(shè)有兩個(gè)便于操作人員手持產(chǎn)品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封閉手持窗口的手套，所述手套位于上腔內(nèi)。上述構(gòu)成中，密封板滑動(dòng)連接在箱體上，并且在箱體上固定有驅(qū)動(dòng)密封板滑動(dòng)的絲杠，絲杠由固定在箱體上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，箱體上固定有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器，光線(xiàn)檢測(cè)器用于檢測(cè)是否需要打開(kāi)取放窗口，當(dāng)需要打開(kāi)取放窗口時(shí)，操作人員遮擋光線(xiàn)檢測(cè)器的發(fā)光器，此時(shí)接收器得到該信號(hào)并將該信號(hào)傳輸給控制器，控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)工作，從而打開(kāi)取放窗口，操作人員操作完畢后取消對(duì)發(fā)光器的遮擋，從而使得取放窗口自動(dòng)恢復(fù)關(guān)閉狀態(tài)，操作十分方便；另外，控制裝置與控制器互相通訊，噴砂器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)可以形成互鎖效果，大大提高了噴砂器的安全性能。一種可選的方案，所述箱體上開(kāi)設(shè)有容納亞克力板的容納槽，所述容納槽與觀察窗口相通，所述亞克力板與容納槽之間固定有密封墊片，所述密封墊片粘接在容納槽內(nèi)。箱體上開(kāi)設(shè)容納槽并將亞克力板固定在容納槽內(nèi)，亞克力板與容納槽之間粘接有密封墊片，亞克力板可以良好地將觀察窗口密封，減少了噴砂過(guò)程中對(duì)環(huán)境的污染。一種可選的方案，所述檢修門(mén)通過(guò)連接螺釘固定在箱體上，所述檢修門(mén)上粘接有密封圈，所述檢修門(mén)上開(kāi)設(shè)有容納密封圈的裝配槽。檢修門(mén)與箱體之間粘接密封圈，可以避免灰塵進(jìn)入下腔內(nèi)影響噴砂器的工作環(huán)境，提高了噴砂器工作時(shí)的穩(wěn)定性能。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)提供的一種用于硅片的噴砂器，具有如下優(yōu)點(diǎn)：在箱體上固定有封閉取放窗口的密封板，該密封板滑動(dòng)連接在箱體上，箱體上還固定有驅(qū)動(dòng)密封板滑動(dòng)的絲杠，該絲杠由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，箱體上固定有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器，該控制器與光線(xiàn)檢測(cè)器相互通訊，需要將產(chǎn)品放入上腔時(shí)，操作人員遮擋光線(xiàn)檢測(cè)器的發(fā)光器，光線(xiàn)檢測(cè)器的接收器得到信號(hào)并將該信號(hào)傳至控制器，驅(qū)動(dòng)電機(jī)動(dòng)作打開(kāi)取放窗口，操作人員操作完畢后取消遮擋發(fā)光器的動(dòng)作，接收器得到信號(hào)后控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)動(dòng)作，將取放窗口關(guān)閉，操作人員在取放產(chǎn)品時(shí)，取放窗口自動(dòng)打開(kāi)或關(guān)閉，操作十分方便；另外，控制器與控制裝置相互通訊，可以將控制裝置、控制器組成互鎖結(jié)構(gòu)，大大提高了噴砂操作的安全性能。附圖說(shuō)明附圖1是本技術(shù)一種用于硅片的噴砂器的主視圖；附圖2是本技術(shù)一種用于硅片的噴砂器的左視圖；附圖3是附圖2中B-B處剖視圖；附圖4是附圖1中A-A處剖視圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖，對(duì)本技術(shù)的一種用于硅片的噴砂器作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖1、圖2、圖3、圖4所示，一種用于硅片的噴砂器，包括箱體1，所述箱體1內(nèi)設(shè)有將箱體1分為上腔2和下腔3的隔板4，所述隔板4上開(kāi)設(shè)有排砂口5，該用于硅片的噴砂器還包括噴槍19，所述噴槍19位于上腔2內(nèi)，所述下腔3內(nèi)固定有噴砂器20，所述上腔2內(nèi)還固定有控制噴砂器20的控制裝置21，所述排砂口5與噴砂器20之間通過(guò)排砂管22連接，所述噴砂器20通過(guò)噴砂管23與噴槍19連接，所述隔板4上開(kāi)設(shè)有穿設(shè)噴砂管23的通孔；參見(jiàn)圖1、圖4，所述箱體1上還開(kāi)設(shè)有檢修口24，所述檢修口24與下腔3相通，所述箱體1上固定有封閉檢修口24的檢修門(mén)25，所述檢修門(mén)25通過(guò)連接螺釘固定在箱體1上，所述檢修門(mén)25上粘接有密封圈，所述檢修門(mén)25上開(kāi)設(shè)有容納密封圈的裝配槽；參見(jiàn)圖2，所述箱體1上還開(kāi)設(shè)有兩個(gè)便于操作人員手持產(chǎn)品的手持窗口26，所述手持窗口26上固定有封閉手持窗口26的手套，所述手套位于上腔2內(nèi)；參見(jiàn)圖2，所述箱體1上開(kāi)設(shè)有取放窗口6，所述箱體1上還開(kāi)設(shè)有觀察窗口7，所述取放窗口6和觀察窗口7均與上腔2相通，所述箱體1上還固定有封閉觀察窗口7的亞克力板8，所述亞克力板8通過(guò)固定螺釘固定在箱體1上，所述箱體1上開(kāi)設(shè)有容納亞克力板8的容納槽，所述容納槽與觀察窗口7相通，所述亞克力板8與容納槽之間固定有密封墊片，所述密封墊片粘接在容納槽內(nèi)；參見(jiàn)圖3、圖4，所述箱體1上設(shè)有封閉取放窗口6的密封板9，所述密封板9滑動(dòng)連接在箱體1上，所述箱體1上固定有滑軌10，所述滑軌10通過(guò)焊接方式固定在箱體1上，所述滑軌10上開(kāi)設(shè)有與密封板9配合的滑槽11，所述滑槽11內(nèi)填充有潤(rùn)滑脂，所述箱體1上還固定有驅(qū)動(dòng)密封板9滑動(dòng)的絲杠12，所...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種用于硅片的噴砂器，其特征在于：包括箱體(1)，所述箱體(1)內(nèi)設(shè)有將箱體(1)分為上腔(2)和下腔(3)的隔板(4)，所述隔板(4)上開(kāi)設(shè)有排砂口(5)，所述箱體(1)上開(kāi)設(shè)有取放窗口(6)，所述箱體(1)上還開(kāi)設(shè)有觀察窗口(7)，所述取放窗口(6)和觀察窗口(7)均與上腔(2)相通，所述箱體(1)上還固定有封閉觀察窗口(7)的亞克力板(8)，所述亞克力板(8)通過(guò)固定螺釘固定在箱體(1)上，所述箱體(1)上設(shè)有封閉取放窗口(6)的密封板(9)，所述密封板(9)滑動(dòng)連接在箱體(1)上，所述箱體(1)上固定有滑軌(10)，所述滑軌(10)上開(kāi)設(shè)有與密封板(9)配合的滑槽(11)，所述滑槽(11)內(nèi)填充有潤(rùn)滑脂，所述箱體(1)上還固定有驅(qū)動(dòng)密封板(9)滑動(dòng)的絲杠(12)，所述密封板(9)上固定有與絲杠(12)配合的螺母(13)，所述箱體(1)上還固定有驅(qū)動(dòng)絲杠(12)轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(14)，所述箱體(1)上還固定有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)(14)的控制器(15)，所述箱體(1)上在取放窗口(6)處還固定有檢測(cè)是否需要打開(kāi)密封板(9)的光線(xiàn)檢測(cè)器，所述光線(xiàn)檢測(cè)器包括發(fā)光器(16)和接收器(17)，所述發(fā)光器(16)位于取放窗口(6)的上端，所述接收器(17)位于取放窗口(6)的下端，所述接收器(17)與控制器(15)相互通訊，所述箱體(1)上還固定有一對(duì)限制密封板(9)極限位置的限位開(kāi)關(guān)(18)，所述限位開(kāi)關(guān)(18)與控制器(15)相互通訊；該用于硅片的噴砂器還包括噴槍(19)，所述噴槍(19)位于上腔(2)內(nèi)，所述下腔(3)內(nèi)固定有噴砂器(20)，所述上腔(2)內(nèi)還固定有控制噴砂器(20)的控制裝置(21)，所述控制裝置(21)與控制器(15)相互通訊，所述排砂口(5)與噴砂器(20)之間通過(guò)排砂管(22)連接，所述噴砂器(20)通過(guò)噴砂管(23)與噴槍(19)連接，所述隔板(4)上開(kāi)設(shè)有穿設(shè)噴砂管(23)的通孔，所述箱體(1)上還開(kāi)設(shè)有檢修口(24)，所述檢修口(24)與下腔(3)相通，所述箱體(1)上固定有封閉檢修口(24)的檢修門(mén)(25)，所述箱體(1)上還開(kāi)設(shè)有兩個(gè)便于操作人員手持產(chǎn)品的手持窗口(26)，所述手持窗口(26)上固定有封閉手持窗口(26)的手套，所述手套位于上腔(2)內(nèi)。...

【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于硅片的噴砂器，其特征在于：包括箱體(1)，所述箱體(1)內(nèi)
設(shè)有將箱體(1)分為上腔(2)和下腔(3)的隔板(4)，所述隔板(4)
上開(kāi)設(shè)有排砂口(5)，所述箱體(1)上開(kāi)設(shè)有取放窗口(6)，所述箱體
(1)上還開(kāi)設(shè)有觀察窗口(7)，所述取放窗口(6)和觀察窗口(7)均
與上腔(2)相通，所述箱體(1)上還固定有封閉觀察窗口(7)的亞克
力板(8)，所述亞克力板(8)通過(guò)固定螺釘固定在箱體(1)上，所述箱
體(1)上設(shè)有封閉取放窗口(6)的密封板(9)，所述密封板(9)滑動(dòng)
連接在箱體(1)上，所述箱體(1)上固定有滑軌(10)，所述滑軌(10)
上開(kāi)設(shè)有與密封板(9)配合的滑槽(11)，所述滑槽(11)內(nèi)填充有潤(rùn)滑
脂，所述箱體(1)上還固定有驅(qū)動(dòng)密封板(9)滑動(dòng)的絲杠(12)，所述
密封板(9)上固定有與絲杠(12)配合的螺母(13)，所述箱體(1)上
還固定有驅(qū)動(dòng)絲杠(12)轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(14)，所述箱體(1)上還固定
有控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)(14)的控制器(15)，所述箱體(1)上在取放窗口(6)
處還固定有檢測(cè)是否需要打開(kāi)密封板(9)的光線(xiàn)檢測(cè)器，所述光線(xiàn)檢測(cè)
器包括發(fā)光器(16)和接收器(17)，所述發(fā)光器(16)位于取放窗口(6)
的上端，所述接收器(17)位于取放窗口(6)的下端，所述接收器(17)
與控制器(15)相互通訊，所述箱體(1)上還固定有一對(duì)限制密封板(9)...

【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳小力，戴忠杰，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：浙江輝弘光電能源有限公司，
類(lèi)型：新型
國(guó)別省市：浙江;33