一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)技術(shù)方案

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)，包括步驟：首先，提供存儲(chǔ)有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備；然后，識(shí)別其中一個(gè)工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方為基準(zhǔn)配方；再將該組中其他工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方與所述基準(zhǔn)配方一一參照對(duì)比，并生成差異報(bào)表，判斷差異報(bào)表中每一個(gè)工藝設(shè)備的配方與基準(zhǔn)配方的差異信息，若差異信息符合工藝要求，則投產(chǎn)；不符合則放棄投產(chǎn)。本發(fā)明專利技術(shù)通過系統(tǒng)定義關(guān)聯(lián)配方，識(shí)別基準(zhǔn)配方后自動(dòng)實(shí)施參照管理，提高了配方部署過程的可靠性。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造
，特別是涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
在集成電路制造領(lǐng)域，生產(chǎn)工藝配方(Recipe)是存儲(chǔ)生產(chǎn)工藝信息的文件，其內(nèi)容可包含工藝加工過程中的多個(gè)步驟以及各個(gè)步驟的各種工藝參數(shù)值和該步驟的持續(xù)時(shí)間，這些內(nèi)容被保存在設(shè)備端。半導(dǎo)體制造的過程中每一個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)都離不開Recipe，設(shè)備可依靠Recipe的內(nèi)容完成對(duì)物料的加工，由此看出，正是生產(chǎn)工藝配方真正決定生產(chǎn)原料作用于晶圓的步驟與方法，它是直接影響生產(chǎn)質(zhì)量的關(guān)鍵。在一個(gè)成熟的半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線，通常同一生產(chǎn)步驟是可以由多個(gè)設(shè)備完的，這樣不僅僅保證了設(shè)備利用率還支持多種產(chǎn)能調(diào)配策略，因此相同的Recipe需要部署在不同設(shè)備上。但由于設(shè)備自身的特性不盡相同，Recipe在部署到不同設(shè)備上的時(shí)候需要做出微調(diào)才能保證不同設(shè)備有相同的產(chǎn)出品質(zhì)。這些分布在不同生產(chǎn)設(shè)備上的用于同一生產(chǎn)步驟的Recipe，通常使用統(tǒng)一的Recipe ID，生產(chǎn)要求這些Recipe要保證主體信息一致，同時(shí)細(xì)部信息要有調(diào)整，這些Recipe之間存在一種不完全的一致性要求(簡稱:關(guān)聯(lián)Recipe, Relat1nal Recipe)。如何有效管理這些Recipe就成了一個(gè)決定能否高效生產(chǎn)的問題。通常半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括可以設(shè)置和控制數(shù)個(gè)生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)工藝配方管理系統(tǒng)(Recipe Management System簡稱RMS),連接至該RMS上的數(shù)個(gè)工作設(shè)備具有執(zhí)行相同工藝步驟的Recipe。RMS支持將生產(chǎn)設(shè)備上的Recipe信息上傳，并設(shè)置管控閥值(Spec)，在生產(chǎn)時(shí)檢驗(yàn)Recipe的具體參數(shù)。這在很大程度上幫助了制程工程師(Process Engineer簡稱PE)管理在某一設(shè)備上的某一 Recipe，但是針對(duì)這種存在多個(gè)設(shè)備上的有一定一致性關(guān)系的Recipe就顯得力不能支了。PE通常的做法是手動(dòng)將不同設(shè)備上的相關(guān)Recipe進(jìn)行對(duì)比，確認(rèn)其間的差異信息，如果可以接受那么投產(chǎn)，否則認(rèn)為Recipe設(shè)置有誤，并人為去調(diào)整。沒有任何系統(tǒng)保證PE的操作實(shí)施的頻次與質(zhì)量，且整個(gè)過程沒有其他人員有力參與，完全處于“暗操作”狀態(tài)，因此這個(gè)人工操作過程的可靠非常低。設(shè)備上的Recipe的詳細(xì)信息由于需要經(jīng)過轉(zhuǎn)譯才可讀，因此這部分信息集中在RMS系統(tǒng)中，與外部系統(tǒng)的接入性相對(duì)較低，這就導(dǎo)致由于相關(guān)Recipe的設(shè)置有誤而造成的生產(chǎn)質(zhì)量問題非常不易識(shí)別。因此，提供一種新型的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的課題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本專利技術(shù)的目的在于提供一種半導(dǎo)體工藝配方的管控方法及系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中人為進(jìn)行關(guān)聯(lián)配方校準(zhǔn)時(shí)可靠性低的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本專利技術(shù)提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法至少包括步驟:1)提供存儲(chǔ)有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備；2)識(shí)別其中一個(gè)工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方為基準(zhǔn)配方；3)將該組中其他工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方與所述基準(zhǔn)配方一一參照對(duì)比，并生成差異報(bào)表，判斷差異報(bào)表中每一個(gè)工藝設(shè)備的配方與基準(zhǔn)配方的差異信息，若差異信息符合工藝要求，則投產(chǎn)；不符合則放棄投產(chǎn)。作為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的一種優(yōu)化的方案，具有相同的設(shè)備信息和配方編號(hào)的一組配方定義為關(guān)聯(lián)配方，所述關(guān)聯(lián)配方既體現(xiàn)組內(nèi)配方的一致性，又體現(xiàn)組內(nèi)配方的差異性，具有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備用于執(zhí)行相同的工藝步驟。作為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述設(shè)備信息包括設(shè)備型號(hào)、軟件版本和生產(chǎn)用途。作為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述步驟2)中采用系統(tǒng)識(shí)別模塊來識(shí)別基準(zhǔn)配方，所述基準(zhǔn)配方為組內(nèi)第一個(gè)授權(quán)投產(chǎn)的配方。作為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的一種優(yōu)化的方案，若系統(tǒng)識(shí)別模塊無法識(shí)別基準(zhǔn)配方，則手動(dòng)選擇產(chǎn)品產(chǎn)出質(zhì)量最優(yōu)的配方為基準(zhǔn)配方。本專利技術(shù)還提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)至少包括:用于識(shí)別基準(zhǔn)配方的識(shí)別模塊；用于對(duì)比關(guān)聯(lián)配方中指定的配方與所述基準(zhǔn)配方之間的差異并產(chǎn)生差異報(bào)表的對(duì)比模塊；用于顯示所述差異信息的顯示模塊。作為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述管控系統(tǒng)還包括與簽核系統(tǒng)相連的簽核系統(tǒng)接口模塊，通過簽核系統(tǒng)接口模塊將產(chǎn)生的差異報(bào)表以附件的形式傳遞到所述簽核系統(tǒng)中。作為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述顯示模塊還用于顯示指定工藝設(shè)備上配方的詳細(xì)信息。作為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述基準(zhǔn)配方為組內(nèi)第一個(gè)授權(quán)投產(chǎn)的配方。作為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述基準(zhǔn)配方為產(chǎn)品產(chǎn)出質(zhì)量最優(yōu)的配方。如上所述，本專利技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法及系統(tǒng)，包括步驟:首先，提供存儲(chǔ)有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備；然后，識(shí)別其中一個(gè)工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方為基準(zhǔn)配方；最后將該組中其他工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方與所述基準(zhǔn)配方一一參照對(duì)比，并生成差異報(bào)表，判斷差異報(bào)表中每一個(gè)工藝設(shè)備的配方與基準(zhǔn)配方的差異信息，若差異信息符合工藝要求，則投產(chǎn)；不符合則放棄投產(chǎn)。本專利技術(shù)的具有以下有益效果:1、這個(gè)方法與制程工程師日常管理單一 Recipe的工作結(jié)合在一起，沒有增加額外的工作量。2、這個(gè)方法在制程工程師決定投產(chǎn)Recipe的時(shí)刻由系統(tǒng)自動(dòng)執(zhí)行，不會(huì)有投產(chǎn)Recipe漏查的情況，而且關(guān)聯(lián)配方組內(nèi)差異信息完全公開給相關(guān)人員，過程公開結(jié)果明了。3、由于差異信息以附加的形式由RMS系統(tǒng)中導(dǎo)出，因此為其他外部系統(tǒng)的接入提供了基礎(chǔ)。【附圖說明】圖1為本專利技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法的流程示意圖。圖2為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法中的關(guān)聯(lián)配方定義示意圖。圖3為本專利技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法中的基準(zhǔn)配方定義示意圖。圖4為半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。【具體實(shí)施方式】以下通過特定的具體實(shí)例說明本專利技術(shù)的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本專利技術(shù)的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本專利技術(shù)還可以通過另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本專利技術(shù)的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。請(qǐng)參閱附圖。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本專利技術(shù)的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本專利技術(shù)中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。實(shí)施例一本專利技術(shù)提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法，如圖1所示，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法至少包括以下步驟:步驟一，提供存儲(chǔ)有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備；步驟二，識(shí)別其中一個(gè)工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方為基準(zhǔn)配方；步驟三，將該組中其他工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方與所述基準(zhǔn)配方一一參照對(duì)比，并生成差異報(bào)表，判斷差異報(bào)表中每一個(gè)工藝設(shè)備的配方與基準(zhǔn)配方的差異信息，若差異信息符合工藝要求，則投產(chǎn)；不符合則放棄投產(chǎn)。下面結(jié)合具體附圖對(duì)本專利技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法進(jìn)行詳細(xì)的介紹。首先進(jìn)行步驟一，如圖2所示，提供存儲(chǔ)有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備，例如，工藝設(shè)備1本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝配方的管控方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體工藝配方的管控方法至少包括步驟：1)提供存儲(chǔ)有關(guān)聯(lián)配方的一組工藝設(shè)備；2)識(shí)別其中一個(gè)工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方為基準(zhǔn)配方；3)將該組中其他工藝設(shè)備上存儲(chǔ)的配方與所述基準(zhǔn)配方一一參照對(duì)比，并生成差異報(bào)表，判斷差異報(bào)表中每一個(gè)工藝設(shè)備的配方與基準(zhǔn)配方的差異信息，若差異信息符合工藝要求，則投產(chǎn)；不符合則放棄投產(chǎn)。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：范光瑛，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中芯國際集成電路制造上海有限公司，中芯國際集成電路制造北京有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：上海;31