本發(fā)明專利技術(shù)提供一種低溫泵。所述低溫泵包括泵本體、自潤滑系統(tǒng)和電機(jī)，所述自潤滑系統(tǒng)設(shè)于所述泵本體內(nèi)，所述自潤滑系統(tǒng)包括相連通的主流道、軸承支路、主軸支路及由所述主軸支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流道由所述殼體的入口、所述殼體與所述葉輪形成的流道、所述后蓋的潤滑槽依次連通形成，各支路相通。與相關(guān)技術(shù)相比，本發(fā)明專利技術(shù)提供的低溫泵，將所述自潤滑系統(tǒng)內(nèi)置于所述泵本體內(nèi)，所述自潤滑系統(tǒng)包括多條管路，能夠?qū)崿F(xiàn)對泵本體內(nèi)的多個部件進(jìn)行自潤滑功能，且所述增壓葉輪的設(shè)計，能提高所述自潤滑系統(tǒng)的潤滑效果，從而保證泵本體內(nèi)各部件的正常運行，提高所述低溫泵的工作效率，延長其使用壽命。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及泵
，具體涉及一種低溫泵。
技術(shù)介紹
低溫泵是將氣體分子通過冷凝或吸附捕捉于冷卻成超低溫的低溫板上而進(jìn)行排氣的真空泵，其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等領(lǐng)域。低溫泵的泵本體工作溫度一般低于零下一百多攝氏度，根據(jù)低溫泵的泵本體內(nèi)工作環(huán)境，各部件需要在充分潤滑的情況下才能正常工作，潤滑不到位將會出現(xiàn)零件失效的情況，從而影響低溫泵的正常工作，給維修帶來很大的成本。相關(guān)技術(shù)中，低溫泵自帶一套潤滑系統(tǒng)，所述潤滑系統(tǒng)只能潤滑其內(nèi)部的部分部件，而大部分部件工作時處于無潤滑狀態(tài)，從而使所述低溫泵的故障率高。因此，有必要提供一種新的低溫泵解決上述問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
為解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)提供一種能實現(xiàn)對多個潤滑點進(jìn)行自潤滑的低溫泵。本專利技術(shù)提供一種低溫泵，包括泵本體、自潤滑系統(tǒng)和電機(jī)，所述自潤滑系統(tǒng)設(shè)于所述泵本體內(nèi)，所述泵本體包括具有收容空間的殼體、收容于所述殼體內(nèi)的主軸以及由所述泵本體的進(jìn)口至所述電機(jī)方向依次設(shè)置的葉輪、后蓋、第一軸承、內(nèi)磁聯(lián)軸器、增壓葉輪、第二軸承和隔離套，所述自潤滑系統(tǒng)包括相連通的主流道、軸承支路、主軸支路以及由所述主軸支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流道由所述殼體的入口、所述殼體與所述葉輪形成的流道、所述后蓋的潤滑槽依次連通形成；所述軸承支路由所述潤滑槽連通所述第一軸承形成；所述主軸支路由所述潤滑槽、所述主軸上的油槽及所述增壓葉輪依次連通形成；所述第一支路由所述增壓葉輪、所述內(nèi)磁聯(lián)軸器的管路槽及所述第一軸承依次連通形成，所述第二支路由所述增壓葉輪連通所述內(nèi)磁聯(lián)軸器與所述隔離套之間的通道形成，所述第三支路由所述增壓葉輪、所述隔離套的流槽、所述第二軸承和所述主軸的油槽依次連通形成。優(yōu)選的，所述第二支路的潤滑液為經(jīng)所述增壓葉輪汽化后的潤滑液。優(yōu)選的，所述增壓葉輪外端面具有斜角，所述斜角傾斜于所述第二支路。優(yōu)選的，所述低溫泵的工作溫度小于或等于﹣196℃。與相關(guān)技術(shù)相比，本專利技術(shù)提供的低溫泵，將所述自潤滑系統(tǒng)內(nèi)置于所述泵本體內(nèi)，所述自潤滑系統(tǒng)包括多條管路，能夠?qū)崿F(xiàn)對泵本體內(nèi)的多個部件進(jìn)行自潤滑功能，且所述增壓葉輪的設(shè)計，能提高所述自潤滑系統(tǒng)的潤滑效果，從而保證泵本體內(nèi)各部件的正常運行，提高所述低溫泵的工作效率，延長其使用壽命。附圖說明圖1為本專利技術(shù)低溫泵的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式下面將結(jié)合附圖和實施方式對本專利技術(shù)作進(jìn)一步說明。請參閱圖1，為本專利技術(shù)低溫泵的結(jié)構(gòu)示意圖。所述低溫泵1包括泵本體11、自潤滑系統(tǒng)12和電機(jī)13。所述自潤滑系統(tǒng)12設(shè)于所述泵本體11內(nèi)。所述電機(jī)13與所述泵本體11連接。所述泵本體11包括具有收容空間的殼體101、收容于所述殼體101內(nèi)的主軸102以及由所述泵本體11的入口1011至所述電機(jī)13方向依次設(shè)置的葉輪103、后蓋104、第一軸承105、內(nèi)磁聯(lián)軸器106、增壓葉輪107、第二軸承108和所述隔離套109。所述葉輪103、所述后蓋104、所述第一軸承105、所述內(nèi)磁聯(lián)軸器106、所述增壓葉輪107及所述第二軸承108分別與所述主軸102連接，所述隔離套109環(huán)設(shè)于所述內(nèi)磁聯(lián)軸器106。所述殼體101與所述葉輪103形成流道1012。所述主軸102具有油槽1021。所述后蓋104具有潤滑槽1041。所述內(nèi)磁聯(lián)軸器106與所述隔離套109間隔設(shè)置形成通道1091。所述隔離套109具有流槽1092。所述自潤滑系統(tǒng)12包括相連通的主流道120、軸承支路121、主軸支路122以及由所述主軸支路122延伸的第一支路123、第二支路124和第三支路125。所述主流道120由所述殼體101的入口1011、所述殼體101與所述葉輪103形成的所述流道1012、所述后蓋104的所述潤滑槽1041依次連通形成。所述軸承支路121由所述潤滑槽1041連通所述第一軸承105形成，潤滑液可對所述第一軸承105進(jìn)行潤滑。所述主軸支路122由所述潤滑槽1041、所述主軸102上的所述油槽1021及所述增壓葉輪107依次連通形成。所述第一支路123由所述增壓葉輪107、所述內(nèi)磁聯(lián)軸器106的管路槽1061及所述第一軸承105依次連通形成，潤滑液可通過所述第一支路123回到所述軸承105。所述增壓葉輪107外端面具有斜角，所述斜角傾斜于所述第二支路124，潤滑液被所述增壓葉輪107汽化的部分，流向所述第二支路124。所述第二支路124由所述增壓葉輪107連通所述內(nèi)磁聯(lián)軸器106與所述隔離套109之間的所述通道1091形成。流經(jīng)所述軸承支路121的潤滑液及所述第一支路123的潤滑液經(jīng)過所述第一軸承105后并流，再與流經(jīng)所述第二支路124的潤滑液并流于所述后蓋104的所述潤滑槽1041中，由此構(gòu)成循環(huán)潤滑。所述第三支路125由所述增壓葉輪107、所述隔離套109的所述流槽1092、所述第二軸承108和所述主軸102的油槽1021依次連通形成。流經(jīng)所述第三支路125的潤滑液通過所述增壓葉輪107與其它潤滑液通道連通構(gòu)成循環(huán)潤滑。在本實施方式中，所述主軸102的所述油槽1021與所述殼體101的入口1011相通，進(jìn)入所述殼體101的潤滑液也可直接進(jìn)入所述油槽102，對所述主軸102進(jìn)行潤滑。再經(jīng)所述軸承支路121、所述主軸支路122、所述第一支路123、所述第二支路124和所述第三支路125對所述第一軸承105、所述第二軸承108等部件進(jìn)行循環(huán)潤滑。在本實施方式中，所述低溫泵1的工作溫度小于或等于﹣196℃。與相關(guān)技術(shù)相比，本專利技術(shù)提供的低溫泵，將所述自潤滑系統(tǒng)內(nèi)置于所述泵本體內(nèi)，所述自潤滑系統(tǒng)包括多條管路，能夠?qū)崿F(xiàn)對泵本體內(nèi)的多個部件進(jìn)行自潤滑功能，且所述增壓葉輪的設(shè)計，能提高所述自潤滑系統(tǒng)的潤滑效果，從而保證泵本體內(nèi)各部件的正常運行，提高所述低溫泵的工作效率，延長其使用壽命。以上所述僅為本專利技術(shù)的實施例，并非因此限制本專利技術(shù)的專利范圍，凡是利用本專利技術(shù)說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其它相關(guān)的
，均同理包括在本專利技術(shù)的專利保護(hù)范圍內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點】
一種低溫泵，包括泵本體、自潤滑系統(tǒng)和電機(jī)，所述自潤滑系統(tǒng)設(shè)于所述泵本體內(nèi)，其特征在于，所述泵本體包括具有收容空間的殼體、收容于所述殼體內(nèi)的主軸以及由所述泵本體的進(jìn)口至所述電機(jī)方向依次設(shè)置的葉輪、后蓋、第一軸承、內(nèi)磁聯(lián)軸器、增壓葉輪、第二軸承和隔離套，所述自潤滑系統(tǒng)包括相連通的主流道、軸承支路、主軸支路以及由所述主軸支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流道由所述殼體的入口、所述殼體與所述葉輪形成的流道、所述后蓋的潤滑槽依次連通形成；所述軸承支路由所述潤滑槽連通所述第一軸承形成；所述主軸支路由所述潤滑槽、所述主軸上的油槽及所述增壓葉輪依次連通形成；所述第一支路由所述增壓葉輪、所述內(nèi)磁聯(lián)軸器的管路槽及所述第一軸承依次連通形成，所述第二支路由所述增壓葉輪連通所述內(nèi)磁聯(lián)軸器與所述隔離套之間的通道形成，所述第三支路由所述增壓葉輪、所述隔離套的流槽、所述第二軸承和所述主軸的油槽依次連通形成。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種低溫泵，包括泵本體、自潤滑系統(tǒng)和電機(jī)，所述自潤滑系
統(tǒng)設(shè)于所述泵本體內(nèi)，其特征在于，所述泵本體包括具有收容空間的殼
體、收容于所述殼體內(nèi)的主軸以及由所述泵本體的進(jìn)口至所述電機(jī)方向
依次設(shè)置的葉輪、后蓋、第一軸承、內(nèi)磁聯(lián)軸器、增壓葉輪、第二軸承
和隔離套，所述自潤滑系統(tǒng)包括相連通的主流道、軸承支路、主軸支路
以及由所述主軸支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流
道由所述殼體的入口、所述殼體與所述葉輪形成的流道、所述后蓋的潤
滑槽依次連通形成；所述軸承支路由所述潤滑槽連通所述第一軸承形
成；所述主軸支路由所述潤滑槽、所述主軸上的油槽及所述增壓葉輪依<...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：苗偉，吳磊軍，張盼利，
申請(專利權(quán))人：湖南耐普泵業(yè)股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：湖南;43
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