一種靜電致動微夾持器制造技術

一種靜電致動微夾持器，其特征在于以靜電作為驅動力源，夾持器由驅動電極、柔性結構、動梳齒、定梳齒、限位塊、微夾持臂和底板組成，驅動電極、定梳齒、限位塊以鍵合方式固定在底板上，柔性結構為連續的Ｓ形結構，一端與驅動電極相連，一端與動梳齒相連，動梳齒的另一端與微夾持臂相連，在驅動電極、柔性結構、動梳齒、定梳齒、限位塊和微夾持器的上表面都濺射有金屬層，金屬層為易于與鋁、金等金屬導線壓焊的材料如金。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：李玉和，李勇，李慶祥，訾艷陽，
申請(專利權)人：清華大學，
類型：發明
國別省市：