【技術實現步驟摘要】
本技術屬于升華設備
,具體涉及一種真空升華設備用玻璃管。
技術介紹
真空升華設備的內管放置于外管內,一般由3-6節玻璃管拼接而成;由于內管間存在拼接縫隙的原因,導致升華過程中材料容易從接縫處泄露,污染外管并影響收率。另外,內管放置于外管內,其底部與外管底部接觸,在升溫加熱過程中,內管內材料底部受熱溫度較高,容易發生底部材料的裂解或劣化。
技術實現思路
解決的技術問題:本技術的目的是克服現有技術的不足而提供一種真空升華設備用玻璃管,該玻璃管密封性好,升華材料受熱均勻。技術方案:一種真空升華設備用玻璃管,包括玻璃外管和玻璃內管,玻璃內管嵌套于玻璃外管內,玻璃內管由兩節以上玻璃管連接而成,相鄰玻璃管之間通過連接部件連接。進一步地,所述連接部件為T型連接部件或工型連接部件。進一步地,所述T型連接部件包括部件主體和凸出部,所述部件主體嵌套于玻璃內管和玻璃外管之間的空隙,凸出部嵌套于相鄰玻璃管之間的空隙。進一步地,所述工型連接部件的工型槽嵌套于相鄰玻璃管之間的空隙。進一步地,所述連接部件為玻璃材質。有益效果:本技術的真空升華設備用玻璃管通過連接部件的設置可以防止材料升華過程中從玻璃管接縫處外泄,并防止內管與外管直接接觸,使升華材料受熱的均一性得到提升,防止材料受熱不均引起的材料裂解發生。附圖說明圖1為本技術實施例1所述的真空升華設備用玻璃管結構示意圖;圖2為本技術實施例2所述的真空升華設備用玻璃管結構示意圖;其中,1為玻璃外管,2為玻璃內管,3為 ...
【技術保護點】
一種真空升華設備用玻璃管,其特征在于:包括玻璃外管和玻璃內管,玻璃內管嵌套于玻璃外管內,玻璃內管由兩節以上玻璃管連接而成,相鄰玻璃管之間通過連接部件連接。
【技術特征摘要】
1.一種真空升華設備用玻璃管,其特征在于:包括玻璃外管和玻璃內管,玻璃內管嵌套于玻璃外管內,玻璃內管由兩節以上玻璃管連接而成,相鄰玻璃管之間通過連接部件連接。
2.根據權利要求1所述的真空升華設備用玻璃管,其特征在于:所述連接部件為T型連接部件或工型連接部件。
3.根據權利要求2所述的真空升華設備用玻璃管,其特征在于:所述T...
【專利技術屬性】
技術研發人員:呂兆輝,
申請(專利權)人:南京高光半導體材料有限公司,
類型:新型
國別省市:江蘇;32
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