【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及靶材涂銦平臺(tái)，具體涉及一種可更換發(fā)熱管均勻加熱靶材涂銦平臺(tái)。
技術(shù)介紹
靶材是一種具有高附加價(jià)值的特種電子材料，主要使用在微電子、顯示器、存儲(chǔ)器以及光學(xué)鍍膜等產(chǎn)業(yè)上，市場(chǎng)對(duì)靶材濺射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。靶材涂銦是指將銦金屬融化后涂布在靶材表面。目前靶材涂銦采用的加熱平臺(tái)都是澆鑄成型。有以下缺點(diǎn)：1、表面粗糙；2、加熱速度慢（加熱至200攝氏度時(shí)需要2小時(shí)）；3、表面容易氧化；4、整體容易變形；5、發(fā)熱管不能更換；6、平臺(tái)表面溫差大（正負(fù)15度以上），靶材容易受熱不均而出現(xiàn)裂紋。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足及存在的問題，本技術(shù)提供一種可以改善傳統(tǒng)靶材涂銦的加熱平臺(tái)結(jié)構(gòu)。本技術(shù)是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：一種靶材涂銦加熱平臺(tái)，包括不銹鋼框架、柜體部分和安裝在不銹鋼框架上部的加熱平臺(tái)；所述加熱平臺(tái)上設(shè)有孔，孔內(nèi)裝有發(fā)熱管。所述加熱平臺(tái)采用鋁合金板材壓鑄成型，加熱平臺(tái)上的孔為均勻分布，加熱平臺(tái)的邊緣設(shè)有匯流槽。所述發(fā)熱管為單頭出線發(fā)熱管，發(fā)熱管與加熱平臺(tái)上的孔間隙配合。所述加熱平臺(tái)上每一個(gè)孔內(nèi)裝入一支發(fā)熱管。所述不銹鋼框架上還安裝有活動(dòng)腳輪和平衡固定膠杯。所述柜體部分上還設(shè)有總開關(guān)、溫控器和指示燈。本技術(shù)提供的一種靶材涂銦加熱平臺(tái)的支架采用不銹鋼結(jié)構(gòu)，堅(jiān)固耐用；加熱平臺(tái)使用的壓鑄成型鋁合金板材表面可作精磨加工，表面光滑，能與靶材無縫接觸，熱傳遞快；鋁合金板材易于加工，發(fā)熱管均勻分布，因此加熱平臺(tái)的表面溫差小，在正...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種靶材涂銦加熱平臺(tái)，其特征在于：包括不銹鋼框架（1）、柜體部分（2）和安裝在不銹鋼框架（1）上部的加熱平臺(tái)（3）；所述加熱平臺(tái)（3）上設(shè)有孔，孔內(nèi)裝有發(fā)熱管（9）。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種靶材涂銦加熱平臺(tái)，其特征在于：包括不銹鋼框架（1）、柜體部分（2）和安裝在不銹鋼框架（1）上部的加熱平臺(tái)（3）；所述加熱平臺(tái)（3）上設(shè)有孔，孔內(nèi)裝有發(fā)熱管（9）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材涂銦加熱平臺(tái)，其特征在于：所述加熱平臺(tái)（3）采用鋁合金板材壓鑄成型，加熱平臺(tái)（3）上的孔為均勻分布，加熱平臺(tái)（3）的邊緣設(shè)有匯流槽（10）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材涂銦加熱平臺(tái)，其特征在于：發(fā)熱管（9）為單頭出線發(fā)熱管，發(fā)熱管（...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：梁國(guó)雄，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：廣州市番禺科進(jìn)超聲波設(shè)備廠，
類型：新型
國(guó)別省市：廣東;44
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