兩端密封型短弧閃光燈制造技術

一種兩端密封型短弧閃光燈，在發光管的內部具有一對主電極和一對啟動輔助電極，密封用玻璃管插入并焊接在該發光管的一端部的密封管中，通過吸氣劑將發光管內的混入氣體高效吸附，并且蒸發了的吸氣劑不附著在發光部的內表面，且吸氣劑收納容器和在發光管內延伸的啟動輔助電極的內部引線之間不產生異常放電。在上述第1密封管內吸氣劑容器被固定在主電極的芯線上，該吸氣劑容器為具有一端側開口的環狀凹部的環狀部件，在上述管狀凹部內擔載有作為蒸散型吸氣劑的金屬，上述開口被朝向上述第1密封管的密封端部側配置，在上述第1密封管的內表面成膜有由蒸散型吸氣劑產生的金屬薄膜。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及兩端密封型短弧閃光燈，特別涉及一方的密封管部分為雙重管構造的兩端密封型短弧閃光燈。
技術介紹
進行閃光點燈的放電燈被廣泛用于以半導體制造工序中的閃光退火為首的工業用途中，本專利技術的燈主要用于利用真空紫外光的曝光工序中。在上述曝光工序中，能夠以短時間對小區域照射高密度的光，希望使用光的方向性以及分布上不均勻較少且接近于平行光的光。之前，在同一曝光工序中，如日本特開2012-43736號公報(專利文獻1)所示，主要使用真空管形狀的閃光燈。相比進行一般的閃光點燈的燈，該燈的主電極間距離小，能夠作為接近點光源的光源使用。但是，由于具有真空管結構，因此在一側的端部需要封入兩個主電極以及觸發電極(啟動用輔助電極)，在對裝置、電源的連接部(燈頭)為圓柱狀的構造時，外徑尺寸尤其變大。因此，在具有反光鏡等的光學系統內部使用相同的燈時，因燈頭結構等引起的遮光區域較大，結果出現來自光學系統的光輸出下降的問題。對于這些問題，日本特開2012－94362號公報(專利文獻2)中公開了如下技術，通過使用在燈泡的兩側配置密封部的所謂兩端密封型結構，從而縮小上述的遮光區域。如圖5所示，在兩端密封型短弧閃光燈中，在發光管1的兩端連接設置有第1密封管2和第2密封管3。并且，上述第2密封管3中插入有密封用玻璃管4的開口端部，兩者被焊接。在發光管1內一對第1主電極5與第2主電極6對置配置。上述第1主電極5、其芯線(電極絲)7通過分級玻璃(gradedglass)等單元而被支承密封于第1密封管2中，并向其外方導出，另一方面，上述第2主電極6的芯線8通過分級玻璃等單元而被支承·密封于上述密封用玻璃管4中，并向其外方導出。此外，在發光管1內的主電極5、6之間配設有一對啟動輔助電極10、11，各自的內部引線12、15與外部引線13、16在上述第2密封管3與密封用玻璃管4之間的焊接區域，經由金屬箔14、17電連接。根據這樣的兩端密封型短弧閃光燈，在燈泡的兩端部配設密封部，由此能夠縮小上述的遮光區域。但是，這種燈在其制造過程中大氣成分氮、二氧化碳、水蒸氣等氣體(以下稱為混入氣體)容易混入到內部，例如如果氧混入的話，存在點燈時電極氧化、所生成的氧化物蒸發而附著到燈泡內表面而使透射率降低的不良情況。此外，在混入氣體存在于輔助電極周圍時，存在即使從點燈電路對輔助電極施加高頻率高電壓、輔助電極周圍的氣體的電離效率下降、啟動特性惡化的問題。專利文獻1：日本特開2012－43736號公報專利文獻2：日本特開2012－94362號公報
技術實現思路
該專利技術所要解決的問題是，鑒于上述以往技術問題而提供一種兩端密封型短弧閃光燈，其為如下構造，在玻璃管制的發光管的內部具有一對主電極和啟動輔助電極，在該發光管的兩端具備第1密封管和第2密封管，第1主電極的芯線被密封在上述第1密封管中并被導出到發光管外，密封用玻璃管的開口端部插入到上述第2密封管的內部，并與上述第2密封管焊接，在上述密封用玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發光管外，通過吸氣劑有效吸附發光管內的混入氣體，并且蒸發了的吸氣劑不附著在發光部內表面，而且吸氣劑收納容器與延伸于發光管內的啟動輔助電極的內部引線之間不發生異常放電。為了解決上述問題，有關該專利技術的兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述第1密封管內吸氣劑容器被固定在主電極的芯線上，該吸氣劑容器為具有一端側開口的環狀凹部的環狀部件，在上述管狀凹部內擔載有作為蒸散型吸氣劑的金屬，上述開口被朝向上述第1密封管的密封端部側配置，在上述第1密封管的內表面成膜有由蒸散型吸氣劑產生的金屬薄膜。此外，上述吸氣劑容器隔著金屬箔被焊接在上述第1主電極的芯線上。此外，上述吸氣劑容器通過在上述第1主電極的芯線的延伸方向跨越的橋部件被固定在芯線上。專利技術的效果根據該專利技術的兩端密封型短弧閃光燈，通過在密封管內設置將蒸發型吸氣劑擔載在環狀凹部內的吸氣劑容器，吸氣劑蒸發而在上述密封管內表面成膜金屬薄膜，由此，該金屬薄膜吸附發光管內的混入氣體，防止電極氧化，能夠防止因氧化物引起的發光管的透射率下降。而且，由于混入氣體不會存在于啟動輔助電極周圍，因此啟動特性被良好地保持。此外，由于將吸氣劑容器固定在第1密封管內，因此，與啟動輔助電極的內部引線延伸的第2密封管不同，在吸氣劑容器與內部引線之間不會產生異常放電，進而在蒸發而成膜在第1密封管的吸氣劑與內部引線之間不會發生短路而引起異常放電。另外，在將吸氣劑容器固定在第1密封管內的電極芯線上時，使該管狀凹部的開口朝向密封端部側，因此蒸發的吸氣劑成膜在第1密封管的密封端部側而不會成膜在發光部，因此不會使來自發光部的光透射率下降。附圖說明圖1是本專利技術的兩端密封型短弧閃光燈的剖面圖。圖2是圖1的主要部分的放大剖面圖。圖3是吸氣劑收納容器的安裝方法的一例。圖4是安裝方法的其它例。圖5是以往的兩端密封型短弧閃光燈的剖面圖。附圖符號說明1發光管；2第1密封管；3第2密封管；4密封用玻璃管；5第1主電極；6第2主電極；7第1主電極的芯線；8第2主電極的芯線；10第1啟動輔助電極；11第2啟動輔助電極；12第1啟動輔助電極的內部引線；13第1啟動輔助電極的外部引線；14金屬箔；15第2啟動輔助電極的內部引線；16第2啟動輔助電極的外部引線；17金屬箔；20吸氣劑容器；21環狀部件；22管狀凹部；22a環狀開口；23吸氣劑；25金屬箔；28橋部件；30吸氣劑的金屬薄膜；X成為射出光影子的區域。具體實施方式圖1是本專利技術的兩端密封型短弧閃光燈的整體剖面圖，圖2是其主要部的放大剖面圖。燈整體的結構與圖5所示的以往技術相同，在發光管1內一對第1主電極5與第2主電極6對置配置。并且，上述第1主電極5的芯線7通過分級玻璃(gradedglass)等單元而被支承密封于第1密封管2，并被向其外方導出，另一方面，上述第2主電極6的芯線8通過分級玻璃等單元而被支承·密封于上述密封用玻璃管4并被向其外方導出。此外，在發光管1內的主電極5、6之間配設有一對啟動輔助電極10、11，各自的內部引線12、15與外部引線13、16在上述第2密封管3與密封用玻璃管4之間的焊接區域，經由金屬箔14、17電連接。即，與啟動輔助電極10、11連接的內部引線12、15被密封在密封用<本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種兩端密封型短弧閃光燈，在玻璃管制的發光管的內部具有一對主電極和啟動輔助電極，在該發光管的兩端具備第1密封管和第2密封管；在上述第1密封管中第1主電極的芯線被密封并被導出到發光管外；密封用玻璃管的開口端部被插入到上述第2密封管的內部，并與上述第2密封管焊接；在上述密封用玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發光管外；上述兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，與上述啟動輔助電極連接的內部引線的一部分被密封在上述密封用玻璃管與上述第2密封管之間；在上述第1密封管內具有開口的吸氣劑容器被固定在主電極的芯線上；在上述吸氣劑容器中擔載有作為蒸散型吸氣劑的金屬；在上述第1密封管的內表面成膜有由蒸散型吸氣劑產生的金屬薄膜。

【技術特征摘要】
2015.01.08 JP 2015-0021291.一種兩端密封型短弧閃光燈，在玻璃管制的發光管的內部具有一對
主電極和啟動輔助電極，在該發光管的兩端具備第1密封管和第2密封管；
在上述第1密封管中第1主電極的芯線被密封并被導出到發光管外；
密封用玻璃管的開口端部被插入到上述第2密封管的內部，并與上述
第2密封管焊接；
在上述密封用玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發光管
外；上述兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，
與上述啟動輔助電極連接的內部引線的一部分被密封在上述密封用玻
璃管與上述第2密封管之間；
在上...

【專利技術屬性】
技術研發人員：加瀨征彥，大西貴之，
申請(專利權)人：優志旺電機株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP