一種波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀制造技術

本實用新型專利技術公開了一種波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀，包括激光源、分光鏡、固定階梯平面角反射鏡、測量角反射鏡裝置、光電探測器組，其中測量角反射鏡裝置包括測量角反射鏡與精密位移裝置，激光源包括n,個平行激光束，n≥2，光電探測器組包括n個光電探測器件，固定階梯平面角反射鏡的反射面為n個階梯平面，相鄰兩個反射平面間距為(k為自然數)；經過分光鏡作用后的一束激光射入其中一個反射平面后反射到一個光電探測器，同時分光鏡內透射的另一束激光經過測量角反射鏡、分光鏡反射后也入射至該光電探測器。該激光干涉儀產生的激光干涉現象不僅和激光波長有關，還和階梯形反射平面高度差值有關，該光電探測器組能夠檢測到精度達到λ/2n級別的位移，同時在測量過程中，采用波長修正方法獲得環境等效波長，顯著提高了測量精度。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀，包括激光源(1)、分光鏡(2)、固定階梯平面角反射鏡(3)、測量角反射鏡裝置(4)、光電探測器組(5)，其特征在于：所述測量角反射鏡裝置(4)包括測量角反射鏡(7)與精密位移裝置(6)，所述測量角反射鏡(7)設置在所述精密位移裝置(6)上，所述精密位移裝置(6)設置在被測物體上，所述精密位移裝置(6)為所述測量角反射鏡(7)提供與被測物體位移同向或反向的位移；所述激光源(1)包括n個平行激光束，其中n≥2，所述光電探測器組(5)包括n個光電探測器件；所述固定階梯平面角反射鏡(3)包括成直角的兩個反射階梯面，每個所述反射階梯面包括n個成階梯形的反射平面，相鄰兩個反射平面的間距等于其中k為自然數、λ為激光源(1)發出的激光波長，所述測量角反射鏡(7)包括成直角的兩個反射平面；所述激光源(1)發出的每束激光經過所述分光鏡(2)反射后，分別射入對應一個反射平面，每個所述反射平面將每束激光反射到對應的所述光電探測器組(5)的各個光電探測器件；所述激光源(1)發出的每束激光經過所述分光鏡(2)透射后，分別入射到所述測量角反射鏡(7)后反射到對應的光電探測器組(5)的各個光電探測器件。...

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：許誠昕，徐承成，李運洪，劉俊，張白，
申請(專利權)人：成都信息工程大學，
類型：新型
國別省市：四川;51