本實用新型專利技術公開了一種氣體純化器，包括殼體，所述的殼體兩端設置有氣體進口和氣體出口，所述的氣體進口設置有濾網，所述的氣體出口設置有墊片，所述的墊片上設置有至少一個濾芯安裝孔，所述的濾芯安裝孔中設置有向內伸入所述的殼體的內腔的濾芯，所述的殼體內腔中設置有填料。本實用新型專利技術具有結構簡單、操作方便、純化效率高、使用壽命長的優點。
【技術實現步驟摘要】
本技術設及過濾裝置，特別設及一種氣體純化器。
技術介紹
氣體純化器是從分子水平將氣體中的雜質去除的一種裝置，它是輸送高純介質管 道上不可缺少的一種裝置，其工作原理主要有化學反應、化學吸附和物理吸附。 電子工業中，經常需要化學氣體(神化氨、氨氣、憐化氨、硅烷等）、惰性氣體(氮氣、 氛氣、甲燒、氣氣等）、腐蝕性氣體(氯氣、氣氣、氯化氨、氨氣、Ξ氣化棚、四氯化娃等），并且 需要運些氣體具有"超高純度"，尤其是需要具有低級含量的氧氣、水、二氧化碳、一氧化碳 等雜質。 Tamhankar在美國專利第4，713，224號中掲示一種用于純化惰性氣體的一步法，其 通過使包括微小量之選自由C0、C化、〇2、也、也0及其混合物組成之群的雜質的惰性氣體與W 至少約5重量％的量包含呈分布于有效表面區域(典型地約100至200m^g)上的元素儀形式 的儀的微粒材料接觸，從而形成具有少于Ippm且較佳少于O.lppm的任何該雜質的惰性氣 體。 市場上的氣體純化器，通常是用侶、儀、錯等"活潑金屬"擔當吸氣劑。當氣體通過 運些活潑金屬時，其中的氧氣、水、二氧化碳、一氧化碳被運些活潑金屬吸收，氣體得到純 化。然而運些活潑金屬都是固體，當固體的表面吸收含氧元素后，變成金屬氧化物，在金屬 表面結成一層"殼"，運一層"殼"阻礙了固體內部的金屬進一步吸收。 目前使用的氣體純化器大多采用沿管路的截面方向設有一定規格過濾網的濾筒 結構，運樣的氣體純化器過濾面積小，過濾流量小，過濾網易堵塞，過濾網兩側的壓差大，容 易造成過濾網的損壞，增加了維修成本，造成機器元件的損壞。. 濾忍純化器是一種新型多功能純化器，其工作原理為：高純氣體由純化器進口進 入，經濾忍過濾層后被凈化成超純凈物質，然后經出口排出，雜質被截留在濾忍的深層及表 面，從而被達到純化的目的。[000引但現有的濾忍純化器將濾忍直接焊接在純化器殼體上，堵塞的濾忍不能隨時取出 更換，造成濾忍純化器只能一次性使用。另外，現有的濾忍純化器中只有一個濾忍，不能采 用復合濾忍，純化器的純化效率較低、使用壽命較短。
技術實現思路
本技術針對現有技術的不足之處，提供一種結構簡單、操作方便、純化效率 高、使用壽命長、成本低的氣體純化器。 為解決上述技術問題，本技術采用的技術方案為：一種氣體純化器，包括殼 體，所述的殼體兩端設置有氣體進口和氣體出口，所述的氣體進口設置有濾網，所述的氣體 出口設置有墊片，所述的墊片上設置有至少一個濾忍安裝孔，所述的濾忍安裝孔中設置有 向內伸入所述殼體的內腔的濾忍，所述的殼體內腔中設置有填料。 進一步的；所述的殼體內壁設置有內襯。 所述的氣體出口設置有環形凹槽，所述的墊片設置在所述的環形凹槽內，所述的 墊片外壓接有法蘭，所述的法蘭與所述的殼體固定連接，所述的法蘭上設置有封頭，所述的 氣體出口設置在所述的封頭上。 所述的氣體進口和所述的氣體出口直徑均優選為0.3~1.3厘米。 所述的殼體直徑優選為2~10厘米，長度優選為10~30厘米。 所述的濾網規格優選為50~200目。 所述的濾忍直徑優選為0.635厘米~10厘米，長度優選為3~10厘米。 本技術的氣體純化器具有耐高溫、耐腐蝕、純化效率高、使用壽命長、可W再 生、使用成本低廉的特性，具有強大的吸附能力，可W控制及減少高純氣體中的微量化、出0、 C〇2、CO等雜質，出口氣體中雜質的含量小于Ippb。氣體的最大流量可高達10,000標準升/分 鐘，最大的操作壓力為lOMpa。 本技術的氣體純化器的殼體可采用無縫焊接，運種焊接方式可W避免因為過 濾震動引起的裂縫。 本技術的氣體純化器殼體材質選擇與所連接的工藝管道材質相同。對于不同 的條件可選擇31化不誘鋼、30化不誘鋼、430不誘鋼、儀、哈氏合金C - 276、錯儀鐵合金⑩600、 鐵或者其他合金，優選31化不誘鋼材質。本技術的氣體純化器殼體直徑優選2~10厘 米，殼體長度優選10~30厘米。 本技術的氣體純化器中的內襯緊貼于殼體內壁，并且緊密接觸。在純化器設 置內襯，增加整個純化器的抗腐蝕型。本專利技術的內襯材質可W選擇PTFE、PP、聚氯乙締、玻璃 鋼等，優選PT陽。 本技術的氣體純化器中的濾網為網格結構，作用為密封填料。濾網可W選擇 單層網、多層復合過濾網片、組合式過濾網片。 用于本技術的濾網材質可W選擇金屬絲網，更優選31化不誘鋼。 本技術的濾網規格為10~500目，優選50~200目。 用于本技術的填料起吸附作用，吸附氣體中含有的微量大分子雜質，具有淺 過濾的作用。填料為^碳質為原料的各種吸附劑和金屬、非金屬氧化物類吸附劑，可選擇娃 膠、活性氧化侶、活性炭、分子篩、石墨締、吸氧劑、脫除二氧化碳、一氧化碳劑等填料的一種 或幾種。 用于本技術的濾忍具有介質截留的微孔結構，具有較高的耐壓性能、耐壓能 力可超過lOMpa。其作用為密封填料，深過濾，除去高純氣體中的微量小分子雜質及填料的 固體粉末，當高純氣體經過純化器中具有一定精度的濾忍后，其微量雜質被阻擋，而超高純 的氣體通過濾忍流出。 本技術的濾忍材質選擇廣泛，本技術可選用的濾忍材質為30化、310、 31化、347和430不誘鋼；哈氏合金8、8-2、(：-22、〔276、閑扣(;銘儀鐵合金600、625和690;蒙乃 爾400、200儀合金20和鐵、幾基材料、陶瓷材料、聚合材料等。金屬濾忍性質穩定，使用壽命 長、不需要頻繁的更換。另外金屬濾忍具有較好的抗摩擦性能、很容易清洗。W316L不誘鋼 為材質的濾忍可W在溫度為350~560°C條件下使用；W蒙乃爾合金為材質的濾忍可W在溫 度為560~1000°C下使用。W儀、哈氏合金、蒙乃爾合金，PPS為材質的濾忍具有較好的抗腐 蝕性能。本技術的濾忍材質優選31化不誘鋼、鐵、儀、哈氏合金、蒙乃爾合金。 本技術中的濾忍直徑可W選擇1/4英寸(0.635厘米）、1/2英寸（1.27厘米）、1 英寸(2.54厘米）、3/2英寸（3.81厘米）、2英寸(5.08厘米）、5/2英寸(6.35厘米）、11/4英寸 (6.985厘米）、3英寸(7.62厘米）。所述的濾忍直徑優選為0.635厘米~10厘米，更優選1/2英 寸（1.27厘米）、1英寸(2.54厘米）、3/2英寸(3.81厘米）。本技術的濾忍長度可W選擇為 殼體長度的10~50% (2~15厘米），優選30% (3~10厘米）。本技術的濾忍的過濾精度可W選擇0.001~1微米，優選0.001~0.01微米。 本技術的濾忍使用后可W清洗，清洗方法可W選擇采用物理清洗和化學清 洗。化學清洗可W選擇溶劑、堿洗、酸洗等方法。物理清洗可W選擇水洗、蒸汽洗涂和空氣吹 掃等方法。也可W選擇用超聲清洗的方法除去一些較為惰性的污染物。 用于本技術的墊片的作用為固定濾忍，將濾忍直接連接到墊片上，增加過濾 器的可操作性。墊片插入到殼體的凹槽中，加強其牢固性。 本技術的墊片材質可W選擇:31化不誘鋼、￥0?、？了。6、？。4、黃銅等材質。優選 VCR材質。 本技術的濾忍與墊片的結合方式優選焊接、螺紋連接。 用于本技術的封頭及法蘭的作用為密封填本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種氣體純化器，包括殼體，所述的殼體兩端設置有氣體進口和氣體出口，所述的氣體進口設置有濾網，其特征在于所述的氣體出口設置有墊片，所述的墊片上設置有至少一個濾芯安裝孔，所述的濾芯安裝孔中設置有向內伸入所述殼體的內腔的濾芯，所述的殼體內腔中設置有填料。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：葉向榮，劉華平，葉素芳，陳剛，吳周安，
申請(專利權)人：浙江博瑞電子科技有限公司，浙江師范大學，
類型：新型
國別省市：浙江;33
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