兩端密封型短弧閃光燈制造技術(shù)

一種兩端密封型短弧閃光燈，能夠?qū)纛^牢固地固定到密封管上、并且在該燈頭內(nèi)啟動輔助電極的外部引線間不會導通而能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的點亮。在發(fā)光管內(nèi)具有一對主電極和啟動輔助電極、在上述發(fā)光管的第1密封管中，第1主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外，在上述第2密封管上熔接有密封用玻璃管，在該密封用玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外；在第2密封管上固定著燈頭，在該燈頭內(nèi)部，與上述第2密封管之間的空隙中填充有楊氏模量(Pa)大的第1粘接劑，至少在與上述密封用玻璃管之間的空隙中填充有電阻率(Q·m)大的第2粘接劑；上述啟動輔助電極的外部引線埋設(shè)在上述第2粘接劑中并被導出到外部。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及兩端密封型短弧閃光燈，特別涉及在發(fā)光管的外部具備燈頭的兩端密封型短弧閃光燈。
技術(shù)介紹
目前，作為半導體制造或薄膜晶體管制造等中的通過光加熱的退火處理用的光源，使用例如長弧型的閃光燈。與這些用途不同，作為新的用途還進行了將作為點光源的真空紫外光源通過光學系統(tǒng)而作為平行光利用的用途的開發(fā)。為此，優(yōu)選的是將閃光燈通過凹面反射鏡等聚光而形成平行光，為了提高聚光效率，密封部的直徑較小的兩端密封型短弧閃光燈是有利的。在日本特許第5360033號公報中公開了這樣的兩端密封型短弧閃光燈。在圖6中表示其概略構(gòu)造，在兩端密封型短弧閃光燈中，在發(fā)光管1的兩端上連接設(shè)置有第1密封管2和第2密封管3。并且，在上述第2密封管3中插入著密封用玻璃管4，兩者被熔接。在發(fā)光管1內(nèi)對置配置有一對第1主電極5和第2主電極6。上述第1主電極5的芯線7通過接續(xù)玻璃等的單元被支承、密封在第1密封管2上并被導出到其外方，另一方面，上述第2主電極6的芯線8通過接續(xù)玻璃等的單元被支承、密封在上述密封用玻璃管4上并被導出到其外方。在發(fā)光管1內(nèi)的主電極5、6之間，配設(shè)有一對第1啟動輔助電極10和第2啟動輔助電極11，各個內(nèi)部引線12、15和外部引線13、16在上述第2密封管3與密封用玻璃管4之間的熔接區(qū)域中經(jīng)由金屬箔14、17電連接。并且，在發(fā)光管部1內(nèi)，作為發(fā)光氣體而封入有例如氙氣。這樣的兩端密封型短弧閃光燈構(gòu)成為通過被施加規(guī)定的電壓而首先在啟動輔助電極10、11間預放電、使發(fā)光管1內(nèi)產(chǎn)生輔助主電極5、6間的放電的帶電粒子。這樣的兩端密封型短弧閃光燈構(gòu)成為通過例如使燈的發(fā)光點(亮點)與拋物面反射面鏡的焦點一致而配置，將從燈放射的光作為平行光照射的光源裝置。為了將該燈固定到反射鏡上，通過將燈頭固定到燈上、將該燈頭固定到反射鏡上，進行燈與反射鏡的高精度的對位。在圖7中表示該例子，燈的密封管在此情況下，在第2密封管3上通過粘接劑21固定著燈頭20。上述啟動輔助電極10、11的外部引線13、16埋設(shè)在該燈頭20內(nèi)的粘接劑21中并被導出到外部。然而，在這種閃光燈中，如果對啟動輔助電極10、11間施加規(guī)定的高頻電壓而產(chǎn)生預放電，通過該預放電而在燈內(nèi)帶電粒子增加，則在主電極5、6間進行放電時的絕緣破壞電壓下降，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的閃光點亮。并且，根據(jù)過去的認識可知，該高頻電壓值越高，越能夠穩(wěn)定地進行閃光點亮。這樣，如果對啟動輔助電極10、11施加高頻電壓，則有在該外部引線13、15間發(fā)生意外的異常放電的情況，如果發(fā)生這樣的異常放電，則在燈內(nèi)部發(fā)生啟動輔助放電，不能進行穩(wěn)定的閃光點亮。為了防止這樣的外部引線13、15間的異常放電，向燈頭20內(nèi)填充的粘接劑40使用由以樹脂、硅橡膠等為主原料的絕緣性材料構(gòu)成。但是，這樣的由樹脂、硅橡膠等構(gòu)成的絕緣材料與金屬材料等相比更容易發(fā)生因溫度上升帶來的剛性下降，如果將其作為用來將燈頭固定的粘接劑使用，則有通過因燈點亮帶來的密封管部的動作溫度的溫度上升而軟化、反射鏡等光學系統(tǒng)內(nèi)的燈位置變動的問題。另一方面，當用在光學系統(tǒng)內(nèi)被高精度地定位固定的水銀短弧燈等的放電燈將燈頭固定時，使用以陶瓷類粘接劑為代表的無機類粘接劑。可以考慮將該無機類粘接劑對本專利技術(shù)的燈使用、向燈頭內(nèi)填充而固定到密封管部上，但由于在無機類粘接劑中存在殘留水分及堿金屬等的成分、氣泡(空孔)等，所以在向啟動輔助電極施加高頻電壓時外部引線間電導通，產(chǎn)生啟動輔助電極管的放電不能穩(wěn)定地發(fā)生、不能使燈穩(wěn)定點亮的問題，不能將該無機類粘接劑原樣使用。專利文獻1：日本特許第5360033號公報
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)要解決的課題是，鑒于上述以往技術(shù)的問題，在兩端密封型短弧閃光燈中，提供一種能夠?qū)纛^牢固地固定到密封管上、并且在該燈頭內(nèi)啟動輔助電極的外部引線間不會導通而能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的點亮的構(gòu)造；所述兩端密封型短弧閃光燈為：在玻璃制的發(fā)光管的內(nèi)部具有一對主電極和啟動輔助電極，在該發(fā)光管的兩端具備第1密封管和第2密封管；在上述第1密封管中，第1主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外；在上述第2密封管上，熔接有被插入在該第2密封管的內(nèi)部的密封用玻璃管，在該密封用玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外；上述啟動輔助電極的外部引線穿過上述第2密封管與上述密封用玻璃管之間被導出到外部。為了解決上述課題，有關(guān)本專利技術(shù)的兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述第2密封管上固定著燈頭，在該燈頭內(nèi)部，與上述第2密封管之間的空隙中填充有第1粘接劑，至少在與上述密封用玻璃管之間的空隙中填充有第2粘接劑，通過上述第1粘接劑將上述燈頭固定在上述第2密封管上，上述啟動輔助電極的外部引線埋設(shè)在上述第2粘接劑中并被導出到外部；上述第1粘接劑與上述第2粘接劑相比楊氏模量(Pa)大；上述第2粘接劑與上述第1粘接劑相比電阻率(Q·m)大。此外，兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述燈頭的內(nèi)部，配置有將填充有上述第1粘接劑的空隙和填充有上述第2粘接劑的空隙區(qū)劃的分隔部件。此外，兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述燈頭的內(nèi)部，設(shè)有用來將上述分隔部件定位的定位單元。此外，兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述第1密封管及/或第2密封管的外部配置有外部觸發(fā)器，該外部觸發(fā)器的導線也被插入在上述燈頭的內(nèi)部中并被導出到外部。此外，兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述燈頭的內(nèi)部，配置有將填充有上述第1粘接劑的空隙和填充有上述第2粘接劑的空隙區(qū)劃的分隔部件，并且在該分隔部件上，穿設(shè)有上述外部觸發(fā)器的導線貫通的貫通孔。此外，兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述燈頭的內(nèi)部，在上述第2粘接劑的后端側(cè)，填充有與該第2粘接劑相比楊氏模量(Pa)大的第3粘接劑。此外，兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，在上述燈頭的后端設(shè)有輔助燈頭，在該輔助燈頭上設(shè)有上述第2主電極的芯線貫通的芯線保持筒部。根據(jù)本專利技術(shù)的兩端密封型短弧閃光燈，在固定于上述第2密封管的燈頭的內(nèi)部中，與該第2密封管之間的空隙中填充有第1粘接劑，至少在與上述密封用玻璃管之間的空隙中填充有第2粘接劑，由于上述第1粘接劑與上述第2粘接劑相比楊氏模量(Pa)大，所以上述燈頭被該第1粘接劑牢固地固定到第2密封管上。此外，由于啟動輔助電極的外部引線被埋設(shè)的第2粘接劑與上述第1粘接劑相比電阻率(Q·m)大而絕緣性高，所以本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種兩端密封型短弧閃光燈，在玻璃制的發(fā)光管的內(nèi)部具有啟動輔助電極和一對主電極，在該發(fā)光管的兩端具備第1密封管和第2密封管；在上述第1密封管中，第1主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外；在上述第2密封管上熔接有被插入在該第2密封管的內(nèi)部的密封用玻璃管，在該密封用玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外；上述啟動輔助電極的外部引線穿過上述第2密封管與上述密封用玻璃管之間被導出到外部；該兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，燈頭被固定于上述第2密封管，在該燈頭內(nèi)部，與上述第2密封管之間的空隙中填充有第1粘接劑，至少在與上述密封用玻璃管之間的空隙中填充有第2粘接劑，通過上述第1粘接劑上述燈頭被固定在上述第2密封管上，上述啟動輔助電極的外部引線被埋設(shè)在上述第2粘接劑中并被導出到外部；上述第1粘接劑與上述第2粘接劑相比楊氏模量(Pa)大；上述第2粘接劑與上述第1粘接劑相比電阻率(Q·m)大。

【技術(shù)特征摘要】
2015.01.15 JP 2015-0055511.一種兩端密封型短弧閃光燈，
在玻璃制的發(fā)光管的內(nèi)部具有啟動輔助電極和一對主電極，在該發(fā)光
管的兩端具備第1密封管和第2密封管；
在上述第1密封管中，第1主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管外；
在上述第2密封管上熔接有被插入在該第2密封管的內(nèi)部的密封用玻
璃管，在該密封用玻璃管中，第2主電極的芯線被密封并被導出到發(fā)光管
外；
上述啟動輔助電極的外部引線穿過上述第2密封管與上述密封用玻璃
管之間被導出到外部；
該兩端密封型短弧閃光燈的特征在于，
燈頭被固定于上述第2密封管，在該燈頭內(nèi)部，與上述第2密封管之
間的空隙中填充有第1粘接劑，至少在與上述密封用玻璃管之間的空隙中
填充有第2粘接劑，通過上述第1粘接劑上述燈頭被固定在上述第2密封
管上，上述啟動輔助電極的外部引線被埋設(shè)在上述第2粘接劑中并被導出
到外部；
上述第1粘接劑與上述第2粘接劑相比楊氏模量(Pa)大；
上述第2粘接劑與上述第1粘接劑相比電阻率(Q·m)大。
2.如權(quán)利要求1所述的兩端密封型短...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：加瀨征彥，
申請(專利權(quán))人：優(yōu)志旺電機株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：日本;JP