光學固化系統技術方案

本發明專利技術公開一種光學固化系統，其包括承載座、第一光學透鏡、第二光學透鏡及照光源。承載座用以承載一基板。第二光學透鏡位于第一光學透鏡與承載座之間。照光源用以發射一光線通過第一光學透鏡及第二光學透鏡至基板，其中光線發散地入射至基板。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種光學固化系統，且特別是涉及一種具有多個透鏡的光學固化系統。
技術介紹
傳統的光學固化系統的照光源發射光線至薄膜，以固化薄膜。目前光學固化系統的照光源多采用數個點光源配置。然而，礙于點光源的分布上的問題，反而導致薄膜數個局部之間接受光強度差異大。如此，薄膜數個局部的特性差異也隨之變大。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種光學固化系統，可改善薄膜數個局部的特性差異過大的問題。根據本專利技術，提出一種光學固化系統。光學固化系統包括一承載座、一第一光學透鏡、一第二光學透鏡及一照光源。承載座用以承載一基板。第二光學透鏡位于第一光學透鏡與承載座之間。照光源用以發射一光線通過第一光學透鏡及第二光學透鏡至基板，其中光線發散地入射至基板。為讓本專利技術的上述內容能更明顯易懂，下文特舉優選實施例，并配合所附的附圖，作詳細說明如下：附圖說明圖1A為本專利技術一實施例的光學固化系統的示意圖；圖1B為圖1A的光學固化系統的俯視圖(未繪示照光源、基板及承載座)；圖2為本專利技術另一實施例的光學固化系統的示意圖；圖3為本專利技術另一實施例的光學固化系統的示意圖。主要元件符號說明100、200、300：光學固化系統10：基板11：薄膜110：承載座120、220：第一光學透鏡130、230、330：第二光學透鏡140：照光源150：清潔噴嘴160：轉動元件161：轉軸162：固定器220a：第一貫孔230a：第二貫孔C1：中心D1：距離F1：焦點G1：氣流L1：光線R1：徑向S1：焦距具體實施方式請參照圖1A，其繪示依照本專利技術一實施例的光學固化系統的示意圖。光學固化系統100包括承載座110、第一光學透鏡120、第二光學透鏡130、數個照光源140、清潔噴嘴150及轉動元件160。承載座110可承載基板10。第一光學透鏡120可固定地位于照光源140與承載座110之間。一實施例中，第一光學透鏡120例如是石英玻璃或其它材料的透光元件。此外，第一光學透鏡120可以是平面透鏡。第二光學透鏡130位于第一光學透鏡120與承載座110之間。照光源140可發射一光線L1通過第一光學透鏡120及第二光學透鏡130至基板10的薄膜11，以固化基板10上的薄膜11。當光線L1入射至薄膜11時是發散的，如此，可使薄膜11的中間區域及邊緣區域所接受到的光強度接近一致，進而使薄膜11的中間區域及邊緣區域的特性接近一致。此處所指的特性例如是平面度、厚度、k值等。本實施例中，第二光學透鏡130例如是凹透鏡，因此光線L1穿透第二光學透鏡130是發散的，使光線L1發散地入射至基板10。此外，第二光學透鏡130的材質可類似第一光學透鏡120，容此不再贅述。第二光學透鏡130相對第一光學透鏡120及/或基板10的上下位置可視入射至基板10的照光范圍而定，本專利技術實施例不加以限制。例如，第二光學透鏡130與第一光學透鏡120可分離而保持一間距，然而也可能直接接觸。照光源140例如是紫外光源或其它具有合適波長的光源。照光源140在發射光線過程中可同時繞著薄膜11的中心C1公轉，使薄膜11周向(即繞中心C1轉動的方向)各局部所接收的光強度接近。此外，由于光線L1入射至薄膜11時是發散的而能使薄膜11的中間區域及邊緣區域所接受到的光強度接近一致，因此，可不特別考慮照光源140的數量及/或照光源140相對第一光學透鏡120的位置。進一步地說，即使照光源140的數量集中地位于第一光學透鏡120的中間區域上方，通過本專利技術實施例的第二光學透鏡130仍可避免薄膜11的中間區域與邊緣區域的特性差異過大。此外，由于光線L1入射至薄膜11時是發散的，使薄膜11的徑向R1各局部所接收到的光強度接近，進而可縮小薄膜11的徑向R1各局部的特性差異。如圖1A所示，清潔噴嘴150鄰近基板10的側向設置，其可吹出一氣流G1側向地吹至第二光學透鏡130與基板10之間，以將薄膜11固化過程中產生的揮發性氣體迅速從薄膜11上吹除。例如，在一種固化制作工藝中，如美商應用材料公司的納米多孔性低介電薄膜ULK(ultralowk)固化制作工藝中，薄膜11中的α-萜品烯(α-terpinene)固化會產生揮發性的碳氫化合物(CxHy)而形成納米孔洞。然而，通過清潔噴嘴150，可使碳氫化合物一產生后即可從薄膜11上吹除。此外，氣流G1可包含惰性氣體，如氦氣或氬氣。圖1B繪示圖1A的光學固化系統100的俯視圖(未繪示照光源、基板及承載座)。轉動元件160包括轉軸161及固定器162，其中轉軸161與固定器162相連，以帶動固定器162轉動。第二光學透鏡130可固定于固定器162，轉軸161可驅動固定器162轉動，以帶動第二光學透鏡130位于第一光學透鏡120與基板10(如圖1A所示)之間的空間內或位于第一光學透鏡120與基板10之間的空間外。由于第二光學透鏡130是可轉動的，因此在照光時間中，第二光學透鏡130可視制作工藝設定而定，全程地或有時地位于第一光學透鏡120與基板10之間的空間。另一實施例中，如圖1A-圖1B所示，轉動元件160也可以上下地調整位置，以調整改變第二光學透鏡130相對第一光學透鏡120及/或基板10的上下相對位置，進而可調整入射至基板10的光線L1的涵蓋范圍。請參照圖2，其繪示依照本專利技術另一實施例的光學固化系統的示意圖。光學固化系統200包括承載座110、第一光學透鏡220、第二光學透鏡230、照光源140、清潔噴嘴150及轉動元件160。本實施例中，第一光學透鏡220及第二光學透鏡230分別具有第一貫孔220a及第二貫孔230a。清潔噴嘴150可穿過第一貫孔220a及第二貫孔230a，使清潔噴嘴150的吹出氣流G1由上而下吹至基板10，以將薄膜11固化過程中產生的揮發性氣體迅速從薄膜11上吹除。另一實施例中，清潔噴嘴150可只穿過第二光學透鏡230的第二貫孔230a，在此設計下，第一光學透鏡220可選擇性地省略第一貫孔220a。請參照圖3，其繪示依照本專利技術另一實施例的光學固化系統的示意圖。光學固化系統300包括承載座110、第一光學透鏡120、第二光學透鏡330、照光源140、清潔噴嘴150及轉動元件160。本實施例中，第二光學透鏡330是凸透鏡。第二光學透鏡330位于第本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光學固化系統，包括：承載座，用以承載一基板；第一光學透鏡；第二光學透鏡，該第二光學透鏡位于該第一光學透鏡與該承載座之間；以及照光源，用以發射一光線通過該第一光學透鏡及該第二光學透鏡至該基板，其中該光線發散地入射至該基板。

【技術特征摘要】
1.一種光學固化系統，包括：
承載座，用以承載一基板；
第一光學透鏡；
第二光學透鏡，該第二光學透鏡位于該第一光學透鏡與該承載座之間；
以及
照光源，用以發射一光線通過該第一光學透鏡及該第二光學透鏡至該基
板，其中該光線發散地入射至該基板。
2.如權利要求1所述的光學固化系統，其中該第二光學透鏡為凹透鏡。
3.如權利要求1所述的光學固化系統，其中該第二光學透鏡為凸透鏡。
4.如權利要求3所述的光學固化系統，其中該光線的焦點位于該第二光
學透鏡與該承載座之間。
5.如權利要求3所述的光學固化系統，其中該承載座位于該第二光學透
鏡的二倍焦距之外。
6.如權利要求1所述的光學固化系...

【專利技術屬性】
技術研發人員：林雨謙，施惠紳，
申請(專利權)人：聯華電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：中國臺灣;71