提供一種用于將AC電源(20)與裝置(30)連接的AC電力連接器。AC電力連接器包括可與AC電源連接的至少一個(gè)第一元件(11)以及可與裝置連接的至少一個(gè)第二元件(12)，所述第一元件與所述第二元件相對(duì)于彼此以第一距離(13)布置以限定電容，其中所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件相對(duì)于彼此是可旋轉(zhuǎn)的，其中所述第一元件與所述第二元件配置成用于所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件之間的AC電力的傳送。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】【專利摘要】提供一種用于將AC電源(20)與裝置(30)連接的AC電力連接器。AC電力連接器包括可與AC電源連接的至少一個(gè)第一元件(11)以及可與裝置連接的至少一個(gè)第二元件(12)，所述第一元件與所述第二元件相對(duì)于彼此以第一距離(13)布置以限定電容，其中所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件相對(duì)于彼此是可旋轉(zhuǎn)的，其中所述第一元件與所述第二元件配置成用于所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件之間的AC電力的傳送。【專利說(shuō)明】AC電力連接器、濺射設(shè)備及其方法
本專利技術(shù)的實(shí)施例涉及一種AC (交流)電力連接器、濺射設(shè)備及其方法。實(shí)施例特別涉及一種用于將AC電源與裝置連接的AC電力連接器、一種用于真空腔室中的濺射沉積的濺射設(shè)備以及一種用于將AC電力從AC電源提供至裝置的方法。
技術(shù)介紹
物理氣相沉積(PVD)工藝在例如顯示器制造之類的一些
中得到的關(guān)注增加。對(duì)于一些PVD工藝，良好的沉積速率可與足夠的層特性一同取得。例如，濺射是用于顯示器制造或其他應(yīng)用的一種重要的沉積工藝。例如磁控管濺射之類的濺射是用于涂覆基板(例如，玻璃或塑料基板)的技術(shù)。通過使用等離子體來(lái)濺射靶材，濺射生成涂層材料的蒸氣。在此期間，通過與來(lái)自等離子體的高能粒子的碰撞，材料從靶材的表面釋放。濺射可由等離子體參數(shù)控制，所述等離子體參數(shù)諸如，壓力、功率、氣體和磁場(chǎng)。在真空中，濺射出的材料從靶材向一個(gè)或多個(gè)基板或工件行進(jìn)，并且粘附至這一個(gè)或多個(gè)基板或工件的表面。可將包括金屬、半導(dǎo)體和電介質(zhì)材料的各種材料濺射成所需的規(guī)格。由此，已發(fā)現(xiàn)磁控管濺射在各種應(yīng)用中被采納，所述應(yīng)用包括半導(dǎo)體處理、光學(xué)涂層、食物封裝、磁記錄(magneticrecording)以及抗磨涂層(protective wear coating)。磁控濺射裝置包括電源、磁性元件和靶材，所述電源用于將能量沉淀到氣體中以撞擊并維持等離子體，所述磁性元件用于控制離子的運(yùn)動(dòng)，所述靶材用于通過等離子體的濺射來(lái)生成涂層材料。利用具有不同的電、磁和機(jī)械配置的各種裝置來(lái)完成濺射。這些配置包括用于產(chǎn)生等離子體的DC(直流)或AC(交流)電磁場(chǎng)或射頻能量的源。具體而言，可使用RF (射頻)濺射方法來(lái)濺射彳_導(dǎo)電材料。許多應(yīng)用可利用RF濺射來(lái)執(zhí)行，例如，濺射低電阻率的材料(例如，ITO(氧化銦錫))或?yàn)R射不可以使用DC或MF(中頻)濺射技術(shù)來(lái)濺射的材料(諸如，S12、Al203、LiPON和PTFE(聚四氟乙烯)。此外，一般使用可旋轉(zhuǎn)靶材。由于幾何結(jié)構(gòu)與設(shè)計(jì)，可旋轉(zhuǎn)靶相比平面靶具有更高的利用率和增加的操作時(shí)間。此外，可旋轉(zhuǎn)靶避免再沉積區(qū)域(re-deposit1nzone)出現(xiàn)。因此，可旋轉(zhuǎn)靶材的使用通常延長(zhǎng)了使用壽命并減少成本。然而，對(duì)于使用可旋轉(zhuǎn)靶材的RF濺射，將電力提供至靶材是困難的。因此，對(duì)于改善AC饋通(feed-through)特別是提供RF饋通具有持續(xù)的需求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
鑒于上述內(nèi)容，提供根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求的一種用于將AC電源與裝置連接的AC電力連接器、一種用于真空腔室中的濺射沉積的濺射設(shè)備以及一種用于將AC電力從AC電源提供至裝置的方法。本專利技術(shù)的其他方面、優(yōu)點(diǎn)和特征通過從屬權(quán)利要求、說(shuō)明書和附圖是顯而易見的。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供一種用于將AC電源與裝置連接的AC電力連接器。所述AC電力連接器包括可與所述AC電源連接的至少一個(gè)第一元件以及可與所述裝置連接的至少一個(gè)第二元件，所述第一元件與所述第二元件相對(duì)于彼此以第一距離布置以限定電容，其中所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件相對(duì)于彼此是可旋轉(zhuǎn)的，其中所述第一元件與所述第二元件配置成用于所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件之間的AC電力的傳送。根據(jù)另一實(shí)施例，提供一種用于真空腔室中的濺射沉積的濺射設(shè)備。所述濺射設(shè)備包括:真空腔室，具有壁部;可旋轉(zhuǎn)靶材，位于所述真空腔室內(nèi)；AC電源，用于將AC電力提供至所述可旋轉(zhuǎn)靶材；以及AC電力連接器，在所述壁部中提供，其中所述至少一個(gè)第一元件連接至所述AC電源，并且所述至少一個(gè)第二元件連接至所述可旋轉(zhuǎn)靶材。所述AC電力連接器包括可與所述AC電源連接的至少一個(gè)第一元件以及可與所述裝置連接的至少一個(gè)第二元件，所述第一元件與所述第二元件相對(duì)于彼此以第一距離布置以限定電容，其中所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件相對(duì)于彼此是可旋轉(zhuǎn)的，其中所述第一元件與所述第二元件配置成用于所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件之間的AC電力的傳送。根據(jù)進(jìn)一步的實(shí)施例，提供一種用于將AC電力從AC電源提供至裝置的方法。所述方法包括以下步驟:將AC電力從AC電源經(jīng)由至少一個(gè)第一元件傳送到至少一個(gè)第二元件，其中所述至少一個(gè)第一元件和所述至少一個(gè)第二元件相對(duì)于彼此以第一距離布置;以及相對(duì)于彼此旋轉(zhuǎn)所述至少一個(gè)第一元件和所述至少一個(gè)第二元件中的至少一者。【附圖說(shuō)明】因此，為了可詳細(xì)地理解本專利技術(shù)的上述特征，可參照實(shí)施例對(duì)上文簡(jiǎn)要概述的本專利技術(shù)進(jìn)行更具體的說(shuō)明。附圖關(guān)于本專利技術(shù)的實(shí)施例，并且描述如下:圖1示出根據(jù)本文中所述的實(shí)施例的AC電力連接器的示意圖；圖2示出根據(jù)本文中所述的另一實(shí)施例的AC電力連接器的示意圖；圖3示出根據(jù)本文中所述的又一實(shí)施例的AC電力連接器的示意圖；圖4示出根據(jù)本文中所述的進(jìn)一步的實(shí)施例的AC電力連接器的示意圖；圖5示出圖4的AC電力連接器的剖面圖；圖6示出根據(jù)本文中所述的又一實(shí)施例的AC電力連接器的示意圖；圖7示出根據(jù)本文中所述的實(shí)施例的、具有AC電力連接器的濺射設(shè)備的詳細(xì)視圖；以及圖8示出根據(jù)本文中所述的實(shí)施例的、用于將AC電力從AC電源提供至裝置的方法的流程圖。【具體實(shí)施方式】現(xiàn)在將詳細(xì)參照本專利技術(shù)的各種實(shí)施例，在附圖中示出這些實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)示例。在下文對(duì)附圖的描述中，相同的元件符號(hào)指示相同的元件。一般來(lái)說(shuō)，僅描繪相對(duì)于單個(gè)實(shí)施例的差異。通過解釋本專利技術(shù)的方式提供每一個(gè)示例，并且每一個(gè)示例不旨在是對(duì)本專利技術(shù)的限制。此外，示出并描述為一個(gè)實(shí)施例的部分的特征可用于其他實(shí)施例或與其他實(shí)施例結(jié)合，以取得更進(jìn)一步的實(shí)施例。說(shuō)明書旨在包括此類修改和變型。圖1示出根據(jù)本文中所述的實(shí)施例的、用于將AC電源20與裝置30連接的AC電力連接器10 AC電力連接器10包括至少一個(gè)第一元件11和至少一個(gè)第二元件12，所述至少一個(gè)第一元件11可與AC電源20連接，所述至少一個(gè)第二元件12可與裝置30連接，所述第一元件11和所述第二元件12相對(duì)于彼此以第一距離13布置，以便限定電容或電容的至少主要部分(例如，至少70%)。所述至少一個(gè)第一元件11和所述至少一個(gè)第二元件12相對(duì)于彼此是可旋轉(zhuǎn)的。如本文中所使用的術(shù)語(yǔ)“AC(交流)”或“AC電力”是指例如由電源提供的交變電流(alternating current)。在交變電流電路中，發(fā)生能量流方向的周期性反轉(zhuǎn)。在一個(gè)方向上的能量的凈傳送(net transfer)可以是指“有功功率(real power)”。如本文中所使用的術(shù)語(yǔ)“RF(射頻)”可以是指AC電力的頻率范圍。作為示例，術(shù)語(yǔ)“RF電力”可以是指具有在9kHz至300GHz的范圍中的頻率的AC電力，特別是頻率為13.56MHz或27.12MHz的AC電力。如本文中所使用的術(shù)語(yǔ)“MF(中頻)本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種用于將AC電源與裝置連接的AC電力連接器，所述AC電力連接器包括：至少一個(gè)第一元件和至少一個(gè)第二元件，所述至少一個(gè)第一元件可與所述AC電源連接，所述至少一個(gè)第二元件可與所述裝置連接，所述第一元件與所述第二元件相對(duì)于彼此以第一距離布置以限定電容；其中所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件相對(duì)于彼此是可旋轉(zhuǎn)的；其中所述第一元件與所述第二元件配置成用于所述至少一個(gè)第一元件與所述至少一個(gè)第二元件之間的AC電力的傳送。
【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：F·施納朋伯格，A·赫爾米希，S·凱勒，M·本德，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：應(yīng)用材料公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：美國(guó);US
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