本發(fā)明專利技術(shù)提出一種光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件，其包括噴淋板裝置和置于其下方的抽風裝置，所述噴淋板裝置包括殼體，其上設(shè)有與反應(yīng)氣體發(fā)生器連接的通氣孔，設(shè)置在殼體內(nèi)部且與殼體連接的氣體勻流板組件，設(shè)置在殼體側(cè)邊的固定板和擋板；所述抽風裝置置于噴淋板的正下方，待處理的硅片從噴淋板裝置與抽風裝置之間走過。本發(fā)明專利技術(shù)的光伏電池硅片表面氣體鈍化設(shè)備的氣體噴淋組件采用三級氣體勻流，可以保證氣體在硅片片間及片內(nèi)的均勻性；通過高度可調(diào)的設(shè)計方便實際應(yīng)用時針對產(chǎn)線的具體情況進行調(diào)整，提高其應(yīng)用上的適應(yīng)性；另通過高度可調(diào)的擋板設(shè)計，避免了外界氣體對反應(yīng)氣體的干擾進而影響硅片鈍化的質(zhì)量。本發(fā)明專利技術(shù)的氣體噴淋組件及鈍化設(shè)備，可以大幅提高硅片鈍化的效果，提高硅片處理的良率，節(jié)省生產(chǎn)成本。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【專利摘要】本專利技術(shù)提出一種光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件，其包括噴淋板裝置和置于其下方的抽風裝置，所述噴淋板裝置包括殼體，其上設(shè)有與反應(yīng)氣體發(fā)生器連接的通氣孔，設(shè)置在殼體內(nèi)部且與殼體連接的氣體勻流板組件，設(shè)置在殼體側(cè)邊的固定板和擋板；所述抽風裝置置于噴淋板的正下方，待處理的硅片從噴淋板裝置與抽風裝置之間走過。本專利技術(shù)的光伏電池硅片表面氣體鈍化設(shè)備的氣體噴淋組件采用三級氣體勻流，可以保證氣體在硅片片間及片內(nèi)的均勻性；通過高度可調(diào)的設(shè)計方便實際應(yīng)用時針對產(chǎn)線的具體情況進行調(diào)整，提高其應(yīng)用上的適應(yīng)性；另通過高度可調(diào)的擋板設(shè)計，避免了外界氣體對反應(yīng)氣體的干擾進而影響硅片鈍化的質(zhì)量。本專利技術(shù)的氣體噴淋組件及鈍化設(shè)備，可以大幅提高硅片鈍化的效果，提高硅片處理的良率，節(jié)省生產(chǎn)成本?！緦＠f明】一種光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件及氣體鈍化設(shè)備
本專利技術(shù)涉及光伏太陽能電池制造
，特別涉及一種光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件及氣體鈍化設(shè)備。
技術(shù)介紹
隨著傳統(tǒng)的石化燃料的大規(guī)模使用造成的環(huán)境問題日益嚴峻，清潔能源如利用太陽能進行發(fā)電的光伏發(fā)電越來越受到各國的重視，近幾年來得到了快速的發(fā)展，但在像中國這樣的發(fā)展中國家，光伏發(fā)電的總量與傳統(tǒng)的火力發(fā)電總量相比仍然非常小。與相比傳統(tǒng)的火力發(fā)電，影響光伏發(fā)電迅速普及的一個重要原因就是發(fā)電成本仍然比較高，而降低光伏發(fā)電成本的一個重要途徑就是提高光伏發(fā)電的效率。目前在光伏領(lǐng)域使用最多的是硅基板太陽電池，硅基板太陽電池的發(fā)電效率是與硅基板表面能夠吸收到的太陽光的多少直接相關(guān)的。由于硅是間接帶隙半導(dǎo)體，其對太陽光的反射率一般都在30%以上，因此，如何降低硅片表面的太陽光的反射率，讓硅片表面盡可能多的吸收太陽光就成了提尚娃基板太陽電池發(fā)電效率的關(guān)鍵因素。目如的工藝中，最常采用的工藝是利用強酸對硅表面進行腐蝕從而在硅表面形成“蠕蟲”結(jié)構(gòu)來降低硅片表面的反射率，這種工藝成本較低但效果不是特別好，另外強酸也會帶來安全生產(chǎn)上的問題；最近幾年，反應(yīng)離子刻蝕(RIE刻蝕)、等離子體刻蝕工藝得到了越來越多的使用，這種刻蝕方法形成的硅片絨面結(jié)構(gòu)對光的反射率更低。為了提高太陽電池的轉(zhuǎn)換效率，需要對表面制絨后的硅片進行有效的鈍化，通過氧化法在硅表面形成二氧化硅薄膜，目前采用比較多的工藝是采用臭氧氣體進行硅片鈍化，即，使用氣體噴淋設(shè)備將反應(yīng)氣體噴到硅片表面對表面進行處理，在線刻蝕設(shè)備一般都有5道甚至更多道設(shè)備，氣體噴淋的均勻性，包括片間均勻性以及片內(nèi)均勻性，是影響表面處理效果的關(guān)鍵因素;另外，噴淋設(shè)備還要盡量避免外界氣流對噴淋反應(yīng)氣體的影響。
技術(shù)實現(xiàn)思路
針對現(xiàn)有工藝中的使用需求，滿足太陽電池制造工藝中硅片鈍化的工藝要求，本專利技術(shù)的目的是提供一種光伏電池硅片刻蝕氣體噴淋組件及氣體鈍化設(shè)備，其可以大幅提高氣體噴淋的均勻性，并且免受外界氣體的影響，進而提高硅片表面鈍化處理的質(zhì)量，提高電池的轉(zhuǎn)換效率。為達到本專利技術(shù)的目的，本專利技術(shù)提出一種光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件，所述氣體噴淋組件包括噴淋板裝置和置于其下方的抽風裝置，所述噴淋板裝置包括殼體，其上設(shè)有與反應(yīng)氣體發(fā)生器連接的通氣孔，設(shè)置在殼體內(nèi)部且與殼體連接的氣體勻流板組件，設(shè)置在殼體側(cè)邊的固定板和擋板，所述的殼體與氣體勻流板組件通過螺絲固定并設(shè)有氣體勻流板組件高度調(diào)節(jié)的螺栓;所述抽風裝置置于噴淋板的正下方，待處理的硅片從噴淋板裝置與抽風裝置之間走過，所述抽風裝置呈盒體狀，盒體的上蓋板的邊緣部設(shè)有抽風槽，盒體左右兩側(cè)蓋板上設(shè)有多個抽風小孔，盒體的前側(cè)或后側(cè)蓋板上設(shè)有與抽風機連接的出氣口；從噴淋板噴出的反應(yīng)氣體對硅片表面進行處理后被其下方的抽風裝置吸走以避免氣體泄漏。優(yōu)選的，所述的氣體勻流板組件包括一級勻流板、二級勻流板以及三級勻流板，一級勻流板與二級勻流板之間以及二級勻流板與三級勻流板之間采用粘合或焊接的方式固定。再優(yōu)選的，所述的一級勻流板的長度和寬度均小于二級勻流板和三級勻流板的長度和寬度，二級勻流板和三級勻流板的寬度和長度相同。再優(yōu)選的，所述的擋板上設(shè)有調(diào)節(jié)擋板高度的橢圓長孔。再優(yōu)選的，所述的一級勻流板包括鏤空部分，盲孔風槽以及設(shè)置在風槽中部的對稱設(shè)置的通氣孔，所述的通氣孔與殼體上的通氣孔相通。再優(yōu)選的，所述的二級勻流板包括多個呈矩形設(shè)置且均勻排布的盲孔通風部，設(shè)置在盲孔通風部中間的通氣孔以及設(shè)置在二級勻流板兩側(cè)及盲孔通風部之間的螺絲固定孔，所述的通氣孔與一級勻流板的風槽相通。再優(yōu)選的，所述的抽風裝置的盒體上蓋板的邊緣部還設(shè)有多個抽風小孔。再優(yōu)選的，所述的三級勻流板為凹形薄板狀，其上均勻分布有多個微通氣孔以及螺絲固定柱，所述微通氣孔與二級勻流板的通風部相通。再優(yōu)選的，所述外殼、勻流板、擋板以及抽風裝置的材料包括聚丙烯，聚氯乙烯，氯化聚氯乙烯、聚偏氟乙烯、全氟烷氧基樹脂、聚四氟乙烯、鋁合金或不銹鋼材料。根據(jù)本專利技術(shù)的另一目的，本專利技術(shù)提出一種光伏電池硅片表面氣體鈍化設(shè)備，所述鈍化設(shè)備包括上述的氣體噴淋組件以及控制箱，所述控制箱包括控制面板、反應(yīng)氣體發(fā)生器、與反應(yīng)氣體發(fā)生器連接的出氣口，所述出氣口通過通氣管與氣體噴淋組件殼體上的通氣孔連接，所述的氣體噴淋組件固定在硅片刻蝕機上，待處理的硅片由硅片刻蝕機的傳送裝置帶動從氣體噴淋組件的噴淋板裝置與抽風裝置之間走過。本專利技術(shù)的光伏電池硅片表面氣體鈍化設(shè)備的氣體噴淋組件采用三級氣體勻流，可以保證氣體在硅片片間及片內(nèi)的均勻性;通過高度可調(diào)的設(shè)計方便實際應(yīng)用時針對刻蝕機的具體情況進行調(diào)整，提高其應(yīng)用上的適應(yīng)性;另通過高度可調(diào)的擋板設(shè)計，避免了外界氣體對反應(yīng)氣體的干擾進而影響硅片鈍化的質(zhì)量。本專利技術(shù)的氣體噴淋組件及鈍化設(shè)備，可以大幅提尚娃片純化的效果，提尚娃片處理的良率，節(jié)省生廣成本?！靖綀D說明】通過下面結(jié)合附圖的詳細描述，本專利技術(shù)前述的和其他的目的、特征和優(yōu)點將變得顯而易見。其中:圖1所不為本專利技術(shù)的一實施例的光伏電池娃片表面鈍化氣體噴淋組件的噴淋板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2所示為本專利技術(shù)的一實施例的光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件的抽風裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2A所示圖2的抽風裝置的一實施例的正面視圖；圖2B所不圖2的抽風裝置的另一實施例的正面視圖；圖3所示為圖1的光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件的氣體勻流板組件的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖4所示為圖3的勻流板的正視圖；圖4A所示為圖4的剖面示意圖；圖4B所不為圖4的右視圖；圖5所示為一級勻流板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6所示為二極勻流板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6A所示為圖6的剖面示意圖；圖7所示為三級勻流板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7A所示為圖7的剖面示意圖；圖7B所示為圖7的右視圖；圖8所不為本專利技術(shù)的一實施例的光伏電池娃片表面氣體鈍化設(shè)備的組成架構(gòu)不意圖?！揪唧w實施方式】參照圖1所示的本專利技術(shù)的一實施例的光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件的裝備結(jié)構(gòu)示意圖，所述噴淋組件包括噴淋板裝置10和置于其下方的抽風裝置20(如圖2所示)，所述噴淋板裝置包括殼體101，其上設(shè)有通氣孔102，設(shè)置在殼體內(nèi)部且與殼體連接的氣體勻流板組件30(見圖2)，設(shè)置在殼體101側(cè)邊的固定板104以及擋板120，所述的殼體101與氣體勻流板組件30通過螺絲133固定并設(shè)有氣體勻流板組件高度調(diào)節(jié)的螺栓131。所述的氣體噴淋組件在使用時通過固定板104本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
一種光伏電池硅片表面鈍化氣體噴淋組件，其特征在于，所述氣體噴淋組件包括噴淋板裝置和置于其下方的抽風裝置，所述噴淋板裝置包括殼體，其上設(shè)有與反應(yīng)氣體發(fā)生器連接的通氣孔，設(shè)置在殼體內(nèi)部且與殼體連接的氣體勻流板組件，設(shè)置在殼體側(cè)邊的固定板和擋板，所述的殼體與氣體勻流板組件通過螺絲固定并設(shè)有氣體勻流板組件高度調(diào)節(jié)的螺栓；所述抽風裝置置于噴淋板的正下方，待處理的硅片從噴淋板裝置與抽風裝置之間走過，所述抽風裝置呈盒體狀，盒體的上蓋板的邊緣部設(shè)有抽風槽，盒體左右兩側(cè)蓋板上設(shè)有多個抽風小孔，盒體的前側(cè)或后側(cè)蓋板上設(shè)有與抽風機連接的出氣口；從噴淋板噴出的反應(yīng)氣體對硅片表面進行處理后被其下方的抽風裝置吸走以避免氣體泄漏。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王振交，艾凡凡，韓培育，
申請(專利權(quán))人：蘇州中世太新能源科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：江蘇;32
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