具有蒸發器的離子源制造技術

本發明專利技術是關于一種具有蒸發器的離子源，離子源可具有蒸發器并使用以下之一或更多方式減少蒸發器內的溫差。首先，至少一個熱絕緣體設置鄰近于部分容器并且遠離特別熱源，其中蒸發器的容器由該特別熱源加熱。其次，至少一個熱絕緣體設置在加熱器周圍，其中該容器設置在蒸發器內并由加熱器加熱。第三，至少一個輻射遮罩設置用于讓熱能通過外殼與通道元件，其中電弧室藉由通道元件機械連接至外殼。因此熱絕緣體可減少熱能損失，同時蒸發器內的溫差亦減少。此外，具有多個開孔的中空的擴散器用于增加傳導性并減少已蒸發材料的凝結。

【技術實現步驟摘要】
201510961990

【技術保護點】
一種具有蒸發器的離子源，其特征在于包含：電弧室；及設置鄰近于該電弧室的蒸發器，包含：鄰近于該電弧室的外殼；位于該外殼內的容器；及鄰近于該外殼的熱絕緣體；其中該容器儲存待蒸發的材料；其中該容器的第一部分面向該電弧室且第二部分面向該熱絕緣體。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：白曉，胡扣霖，荊澤，陳麗暖，萬志民，胡邵喻，
申請(專利權)人：漢辰科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：中國臺灣;71