一種新型聲表面波器件制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開(kāi)了一種新型聲表面波器件。該新型聲表面波器件包括：柔性襯底；置于柔性襯底上的第一壓電薄層，置于第一壓電薄層之上的第二壓電薄層；置于第二壓電薄層上的電極。該聲表面波器件采用常規(guī)的聲表面波器件結(jié)構(gòu)，電極采用碳納米管或?qū)щ娞紳{加工而成，電極加工方法采用納米壓印方式，可實(shí)現(xiàn)該類器件大規(guī)模批量化生產(chǎn)的目的。本實(shí)用新型專利技術(shù)提出的新型聲表面波器件具有可大規(guī)模制造，成本低廉，用途廣泛的優(yōu)點(diǎn)。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及納米壓印
，同時(shí)涉及聲表面波器件

技術(shù)介紹
聲表面波技術(shù)是由無(wú)力學(xué)家瑞利在研究地震波的過(guò)程中發(fā)現(xiàn)的一種能量集中在表面?zhèn)鞑サ穆暡āＢ暠砻娌ㄆ骷ǎ郝暠砻娌V波器、聲表面波傳感器等器件，在現(xiàn)代射頻通信領(lǐng)域、溫度及壓力等傳感信號(hào)檢測(cè)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。聲表面波溫度傳感器在電力、汽車、家居、工業(yè)制造等行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用前景，但是常規(guī)聲表面波溫度傳感器加工大都采用光刻技術(shù)，存在加工成本高、流程復(fù)雜等問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)
技術(shù)介紹
的缺陷，提供一種加工簡(jiǎn)易，成本低廉的聲表面波器件。本技術(shù)為解決上述技術(shù)問(wèn)題，采用的技術(shù)方案如下：一種新型的聲表面波器件，該基于聲表面波的器件包括：柔性襯底；第一壓電薄層、第二壓電薄層及置于第二壓電薄層上的電極。該聲表面波器件采用常規(guī)的聲表面波器件結(jié)構(gòu)，電極采用碳納米管或?qū)щ娞紳{加工而成，電極加工方法采用納米壓印方式。器件的基本結(jié)構(gòu)如圖1所示。其中器件電極的線條寬度小于20微米。所述器件的電極采用碳納米管或?qū)щ娞紳{加工而成，碳納米管或碳粉顆粒的直徑尺寸小于10微米，同時(shí)該電極需配以易揮發(fā)漿料作為粘連材料，易揮發(fā)漿料采用聚酯材料。之后，將碳納米管同聚酯漿料混合均勻，根據(jù)具體器件的電極寬度，確定漿料的濃度，以保證壓印效果。所述器件電極的加工方式采用納米壓印方式。在進(jìn)行壓印過(guò)程中，需要襯 底均勻受力。制作出的器件截面圖如圖2所示，圖中，下面一層1為柔性襯底，2為第一壓電薄層，3為第二壓電薄層，上面4為置于第二壓電薄層上的電極。在壓印成型之后，需要將器件置于60-150℃溫度范圍的真空干燥箱中加熱20-60分鐘，以揮發(fā)部分漿料的粘連材料。所述器件壓印完成電極制作之后，進(jìn)行封裝測(cè)試工作，加工的器件應(yīng)用于溫度、壓力、氣體等檢測(cè)領(lǐng)域，或者作為濾波器應(yīng)用于特定場(chǎng)景。其中，當(dāng)電極采用碳納米管式，且封裝為氣體傳感器所用的封裝形式，則該類器件可用作氫氣的檢測(cè)。采用柔性襯底作為支撐襯底，使得加工的器件具有可彎曲的特點(diǎn)，具有更廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景，便于將器件貼合于橋梁、建筑物等待測(cè)對(duì)象表面。本技術(shù)采用以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下技術(shù)效果：通過(guò)采用納米壓印技術(shù)實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的目的，同時(shí)通過(guò)采用碳納米管或?qū)щ娞紳{作為電極的材料，一方面與納米壓印技術(shù)兼容，另一方面達(dá)到降低電極成本的目的。附圖說(shuō)明圖1是一種諧振器型聲表面波器件的結(jié)構(gòu)圖；圖2是聲表面波器件的截面圖。具體實(shí)施方式為使本技術(shù)的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本技術(shù)作進(jìn)一步說(shuō)明。本技術(shù)公開(kāi)了一種新型的聲表面波器件，該器件包括：柔性襯底；第一壓電薄層、第二壓電薄層及置于第二壓電薄層上的電極。參照?qǐng)D1，示出了聲表面波溫度傳感器單元第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，包括：柔性襯底1：主要采用PET柔性材料作為柔性襯底。第一壓電薄層2：主要可以采用具有壓電性的材料：石英晶體、鈮酸鋰晶體、鉭酸鋰晶體、ZnO多晶或A1N材料，厚度為500-1500納米，用于產(chǎn)生壓電效應(yīng)，在襯底表面?zhèn)鬏斅暠砻娌ǎ坏诙弘姳?：主要可以采用具有壓電性的材料：鈮酸鋰晶體、鉭酸鋰晶體、Zn0多晶或A1N材料，但跟第一壓電薄層2所用材料不同，厚度為300～500納米，用于產(chǎn)生聲表面波；置于第二壓電薄層上的電極4：主要采用碳納米管或?qū)щ娞紳{，位于第二壓電薄層之上，并與第二壓電薄層緊密接觸，用于產(chǎn)生聲電-電聲信號(hào)轉(zhuǎn)換，通過(guò)采用納米壓印的方式制備于第二壓電薄層3之上。參照?qǐng)D2，示出了本技術(shù)第一實(shí)施例器件截面圖。第二壓電薄層3和第一壓電薄層2位于柔性襯底1之上，所述第二壓電薄層3和第一壓電薄層2同圖1中的第二壓電薄層3和第一壓電薄層2一致；其上為置于第二壓電薄層上的電極4，所述置于第二壓電薄層上的電極4同圖1中的置于第二壓電薄層上的電極4一致。對(duì)于前述的各方法實(shí)施例，為了描述簡(jiǎn)單，故將其都表述為一系列的動(dòng)作組合，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該知悉，本技術(shù)并不受所描述的動(dòng)作順序的限制，因?yàn)楦鶕?jù)本技術(shù)，某些步驟可以采用其他順序或同時(shí)執(zhí)行；其次，本領(lǐng)域技術(shù)人員也應(yīng)該知悉，上述方法實(shí)施例均屬于優(yōu)選實(shí)施例，所涉及的動(dòng)作和模塊并不一定是本技術(shù)所必須的。本說(shuō)明書中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)本技術(shù)公開(kāi)的一種新型聲表面波器件，文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本技術(shù)的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本技術(shù)的方法及其核心思想；所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本技術(shù)的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本技術(shù)，凡在本技術(shù)的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本技術(shù)的保護(hù)范圍之內(nèi)。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種新型聲表面波器件，其特征在于，包括：柔性襯底、第一壓電薄層、第二壓電薄層及置于第二壓電薄層上的電極，電極的加工方式采用納米壓印方式實(shí)現(xiàn)，電極的材料選用導(dǎo)電碳漿或碳納米管。

【技術(shù)特征摘要】
2015.03.19 CN 201520154894X1.一種新型聲表面波器件，其特征在于，包括：柔性襯底、第一壓電薄層、第二壓電薄層及置于第二壓電薄層上的電極，電極的加工方式采用納米壓印方式實(shí)現(xiàn)，電極的材料選用導(dǎo)電碳漿或碳納米管。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型聲表面波器件，其特征在于，柔性襯底所用材料為PET聚合物，所用第一壓電薄層為具有壓電性的材料，包括：石英晶體、鈮酸鋰晶體、鉭酸鋰晶體、ZnO多晶或AlN材料，所用第一壓電薄...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：不公告發(fā)明人，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中科鼎源北京科技有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：北京;11