一種光分路器晶圓貼片系統技術方案

本實用新型專利技術公布了一種光分路器晶圓貼片系統，L型支架上設有壓桿；壓桿下端設有壓頭頂住壓板；下真空吸座上設有晶圓貼合臺，晶圓貼合臺中心設有圓弧吸氣凹槽，圓弧吸氣凹槽中心設有吸氣孔連通抽氣管道；晶圓貼合臺上以吸氣孔為圓心均勻設有環形導氣槽，晶圓貼合臺上以吸氣孔為中心呈輻射狀設有直條導氣槽；下真空吸座上的環形導氣槽與直條導氣槽相互連通；上真空吸座下面設有蓋板貼合臺，蓋板貼合臺中心設有圓弧吸氣凹槽，圓弧吸氣凹槽中心設有吸氣孔連通抽氣管道；蓋板貼合臺上以吸氣孔為中心呈輻射狀均勻設有直條導氣槽與圓弧吸氣凹槽連通；抽氣管道均連接真空泵。它能大大提高晶圓的貼片效率與質量，保證光分路器芯片的可靠性。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及光通信產品領域，尤其涉及到一種光分路器晶圓貼片系統。
技術介紹
隨著光纖通信技術的發展，光纖到戶(FTTH)得到了較大規模的商用并呈現出良好的發展勢頭，其顯著特點是其采用無源光網絡鏈路，提供更大的帶寬，節省線路資源，增強線路的可靠性，同時對環境和供電要求降低，在FTTH網絡中，光分路器是其中的核心器件，特別適用于無源光網絡(EPON、BPON、GPON等)中連接局端和終端設備，實現光功率的分配。光分路器芯片是光通信、光傳感、三網融合、物聯網等技術中的光分路器的核心器件。光分路器芯片由光分路器晶圓與蓋板通過UV膠水粘接形成，膠水層的厚度與貼片質量直接影響光分路器芯片的的可靠性。傳統的光分路器晶圓與蓋板的粘接只能依靠人工手動完成，人工效率低下，貼合精度低，嚴重影響生產效率和光分路器芯片的可靠性。通過專利檢索，存在以下已知的現有技術方案：專利1：申請號：201220269074.1，申請日：2012.06.08，授權公告日：2013.01.09，該技術提供了一種晶圓貼片機，包括晶圓存放機構、晶圓轉移機構、晶圓貼片機構和晶圓傳送機構，所述晶圓存放機構包括一晶圓盒，所述晶圓轉移機構包括一金屬提籃，所述晶圓貼片機構包括機臺、設置在所述機臺上的鐵圈傳送裝置、鐵圈和貼膜滾輪，在所述金屬提籃的上方設置有離子槍。本技術的有益效果主要是避免晶圓離開晶圓盒上
升瞬間和揭開晶圓正面的保護膜瞬間產生的靜電擊穿晶圓芯片電路造成晶圓報廢的風險發生。通過以上的檢索發現，以上技術方案不能影響本專利技術的新穎性和創造性。
技術實現思路
本專利技術的目的是針對以上問題，提供一種光分路器晶圓貼片系統，它能大大提高晶圓的貼片效率與質量，保證光分路器芯片的可靠性。為實現以上目的，本專利技術采用的技術方案是：一種光分路器晶圓貼片系統，它包括垂直設置在底座(1)側邊的L型支架(10)，所述底座(1)上面設置有下真空吸座(2)；所述下真空吸座(2)上面設置有上真空吸座(3)；所述上真空吸座(3)上面中心設置有壓板(11)；所述L型支架(10)上螺紋連接垂直設置有壓桿(8)位于上真空吸座(3)中心；所述壓桿(8)頂端設置有旋鈕(9)，下端設置有壓頭(5)頂住壓板(11)；所述下真空吸座(2)上面設置有晶圓貼合臺(27)，所述晶圓貼合臺(27)中心設置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設置有吸氣孔(23)連通設置在下真空吸座(2)內部的抽氣管道(13)；所述晶圓貼合臺(27)上以吸氣孔(23)為圓心均勻設置有環形導氣槽(28)，所述晶圓貼合臺(27)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設置有直條導氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通；所述下真空吸座(2)上的環形導氣槽(28)與直條導氣槽(21)相互連通；所述上真空吸座(3)下面設置有蓋板貼合臺(20)，所述蓋板貼合臺(20)中心設置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設置有吸氣孔(23)連通設置在上真空吸座(3)內部的抽氣管道(13)；所述蓋板貼合臺(20)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設
置有直條導氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通；所述抽氣管道(13)均通過抽氣接頭(14)連接真空泵。進一步的，所述上真空吸座(3)四角均設置有千分尺(29)，所述千分尺(29)通過高度調節孔(30)支撐在下真空吸座(2)上。進一步的，所述蓋板貼合臺(20)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設置有鏤空(19)。進一步的，所述下真空吸座(2)上面四角均設置有凸臺(24)，所述凸臺(24)上設置有定位銷(26)；所述上真空吸座(3)下面四角均設置有凸臺(24)，所述凸臺(24)上設置有與定位銷(26)配合的定位孔(25)。進一步的，所述壓頭(5)為半球形狀，所述壓板(11)上面中心設置有與壓頭(5)相配合的圓弧凹槽(12)。進一步的，所述壓桿(8)下端設置有兩塊壓塊(6)；所述壓塊(6)之間設置有壓縮彈簧(7)；所述壓頭(5)設置在下端壓塊(6)底部中心。進一步的，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)側邊均設置有頂起裝置(18)；所述頂起裝置(18)包括頂起旋鈕(181)，所述頂起旋鈕(181)連接旋轉軸(183)，所述旋轉軸(183)上設置有固定塊(182)，末端設置有頂起塊(184)；所述頂起塊(184)上設置有頂起凸臺(185)。進一步的，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)側邊均設置有不少于兩個的頂起裝置(18)。進一步的，所述蓋板貼合臺(20)高于上真空吸座(3)下表面；所述晶圓貼合臺(20)高于下真空吸座(2)上表面。進一步的，所述上真空吸座(3)上面四周均勻設置有提手桿(4)。本專利技術的有益效果：1、本專利技術可實現光分路器芯片中晶圓與蓋板之間膠層厚度的自由調節控制，保證晶圓與蓋板的高精度對接，大大提高光分路器芯片的穩定可靠性和精度。2、本專利技術中通過上真空吸座吸住蓋板，通過下真空吸座吸住晶圓，通過上真空吸座四角的千分尺實現蓋板與晶圓厚度的高精度調節，提高光分路器芯片的精度控制。3、本專利技術中上真空吸座底面上設置了圓弧真空吸槽與直條導氣槽，能保證蓋板的吸住穩定性和水平性；下真空吸座底面上設置有圓弧真空吸槽與直條導氣槽和環形導氣槽，能保證晶圓的擺放平整性和穩定性，提高晶圓與蓋板重疊精度，并能實現晶圓與蓋板之間膠水厚度調節。4、本專利技術中上真空吸座上的鏤空能保證晶圓與蓋板之間的UV膠水可接觸足夠紫外光照面積，保證UV膠的迅速凝固。附圖說明圖1為本專利技術側面示意圖。圖2為本專利技術主剖視示意圖。圖3為本專利技術中上真空吸座仰視示意圖。圖4為本專利技術中上真空吸座俯視示意圖。圖5為本專利技術中下真空吸座俯視示意圖。圖6為本專利技術中頂起裝置結構示意圖。圖7為本專利技術中頂起塊結構示意圖。圖中所示數字標注表示為：1、底座，2、下真空吸座，3、上真空吸座，4、提手桿，5、壓頭，6、壓塊，7、壓縮彈簧，8、壓桿，9、旋鈕，10、L型支架，11、壓板，12、凹槽，13、抽氣管道，14、抽氣接頭，15、晶圓，
16、玻璃蓋板，17、UV膠，18、頂起裝置，19、鏤空槽，20、蓋板貼合臺，21、直條導氣槽，22、圓弧吸氣凹槽，23、吸氣孔，24、凸臺，25、定位孔，26、定位銷，27、晶圓貼合臺，28、環形導氣槽，29、千分尺，30、高度調節孔，181、頂起旋鈕，182、固定塊，183、旋轉軸，184、頂起塊，185、頂起凸臺。具體實施方式為了使本領域技術人員更好地理解本專利技術的技術方案，下面結合附圖對本專利技術進行詳細描述，本部分的描述僅是示范性和解釋性，不應對本專利技術的保護范圍有任何的限制作用。如圖1-圖7所示，本專利技術的具體結構為：一種光分路器晶圓貼片系統，它包括垂直設置在底座1側邊的L型支架10，所述底座1上面設置有下真空吸座2；所述下真空吸座2上面設置有上真空吸座3；所述上真空吸座3上面中心設置有壓板11；所述L型支架10上螺紋連接垂直設置有壓桿8位于上真空吸座3中心；所述壓桿8頂端設置有旋鈕9，下端設置有壓頭5頂住壓板11；所述下真空吸座2上面設置有晶圓貼合臺27，所述晶圓貼合臺27中心設置有圓弧吸氣凹槽22，所述圓弧吸氣凹槽22中心設置有吸氣孔23連通設置在下真空吸本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光分路器晶圓貼片系統，其特征在于，它包括垂直設置在底座(1)側邊的L型支架(10)，所述底座(1)上面設置有下真空吸座(2)；所述下真空吸座(2)上面設置有上真空吸座(3)；所述上真空吸座(3)上面中心設置有壓板(11)；所述L型支架(10)上螺紋連接垂直設置有壓桿(8)位于上真空吸座(3)中心；所述壓桿(8)頂端設置有旋鈕(9)，下端設置有壓頭(5)頂住壓板(11)；所述下真空吸座(2)上面設置有晶圓貼合臺(27)，所述晶圓貼合臺(27)中心設置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設置有吸氣孔(23)連通設置在下真空吸座(2)內部的抽氣管道(13)；所述晶圓貼合臺(27)上以吸氣孔(23)為圓心均勻設置有環形導氣槽(28)，所述晶圓貼合臺(27)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設置有直條導氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通；所述下真空吸座(2)上的環形導氣槽(28)與直條導氣槽(21)相互連通；所述上真空吸座(3)下面設置有蓋板貼合臺(20)，所述蓋板貼合臺(20)中心設置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設置有吸氣孔(23)連通設置在上真空吸座(3)內部的抽氣管道(13)；所述蓋板貼合臺(20)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設置有直條導氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通；所述抽氣管道(13)均通過抽氣接頭(14)連接真空泵。...

【技術特征摘要】
1.一種光分路器晶圓貼片系統，其特征在于，它包括垂直設置在底座(1)側邊的L型支架(10)，所述底座(1)上面設置有下真空吸座(2)；所述下真空吸座(2)上面設置有上真空吸座(3)；所述上真空吸座(3)上面中心設置有壓板(11)；所述L型支架(10)上螺紋連接垂直設置有壓桿(8)位于上真空吸座(3)中心；所述壓桿(8)頂端設置有旋鈕(9)，下端設置有壓頭(5)頂住壓板(11)；所述下真空吸座(2)上面設置有晶圓貼合臺(27)，所述晶圓貼合臺(27)中心設置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設置有吸氣孔(23)連通設置在下真空吸座(2)內部的抽氣管道(13)；所述晶圓貼合臺(27)上以吸氣孔(23)為圓心均勻設置有環形導氣槽(28)，所述晶圓貼合臺(27)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設置有直條導氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通；所述下真空吸座(2)上的環形導氣槽(28)與直條導氣槽(21)相互連通；所述上真空吸座(3)下面設置有蓋板貼合臺(20)，所述蓋板貼合臺(20)中心設置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設置有吸氣孔(23)連通設置在上真空吸座(3)內部的抽氣管道(13)；所述蓋板貼合臺(20)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設置有直條導氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通；所述抽氣管道(13)均通過抽氣接頭(14)連接真空泵。2.如權利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統，其特征在于，所述上真空吸座(3)四角均設置有千分尺(29)，所述千分尺(29)通過高度調節孔(30)支撐在下真空吸座(2)上。3.如權利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統，其特征在于，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳波，李順成，唐淋，余朝晃，
申請(專利權)人：湖南新中合光電科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：湖南;43