一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法技術

本發明專利技術公開了一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法,包括如下步驟：S1、將螺旋線涂光刻膠；S2、根據夾持桿的數量，去除螺旋線上與夾持桿接觸區域的光刻膠；S3、對夾持桿內側壁上與螺旋線接觸面的有效接觸區域實施圖形金屬化；S4、利用微電鑄在螺旋線和夾持桿之間形成金屬連接，得到螺旋線和夾持桿的復合結構；S5、去除螺旋線上的剩余光刻膠；S6、對管殼和上述已得到的螺旋線和夾持桿的復合結構進行夾持，連接管殼和夾持桿，得到高導熱螺旋線慢波結構。本發明專利技術所提供的制造方法從根本上實現了螺旋線和圖形金屬化夾持桿的更大面積的有效連接，改善了螺旋線和夾持桿的導熱能力。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及真空電子器件領域，特別涉及一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法。
技術介紹
行波管是一類在國防和國民經濟中應用最廣泛的一種真空電子器件，具有良好的功率、頻帶和增益性能。其中，螺旋線行波管是衛星通信、雷達和電子戰應用中最重要的功率放大器。作為一種最常用的慢波結構，如圖1、2所示，螺旋線慢波結構由金屬管殼1ˊ，介質桿2ˊ和金屬螺旋線3ˊ組成，圖1、2中夾持桿為角向對稱設置的三個品字形結構，該種慢波結構具有功率大、頻帶寬和高增益等特點。然而，從二維視圖可知，該種慢波結構螺旋線慢波結構的散熱能力存在不足，螺旋線由金屬帶繞制而成，從橫截面看，螺旋線外側任意位置都為弧面，但與之連接的介質桿為平面結構，熱夾持后兩種不同材料的結構之間的接觸面積小，接觸熱阻大，截獲電流增大時，不利于熱量的導出，螺旋線容易燒毀。針對現有技術的不足，需要提出一種新的螺旋線慢波結構的制造方法，進而從根本上解決螺旋線慢波結構散熱問題。
技術實現思路
本專利技術要解決的技術問題是提供一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法；該方法針對現有技術中，傳統的螺旋線慢波結構熱耗散能力不足，焊接螺旋線技術不成熟等缺陷，通過曝光顯影、圖形金屬化、微電鑄等技術手段，在螺旋線和夾持桿之間引入金屬連接結構，從根本上實現了螺旋線和圖形金屬化夾持桿的更大面積的有效連接，改善了螺旋線和夾持桿的導熱能力，且顯著提高了螺旋線行波管在大功率方面的性能。為解決上述技術問題，本專利技術采用下述技術方案：一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法,所述方法包括如下步驟：S1、將螺旋線涂光刻膠；S2、根據夾持桿的數量，去除螺旋線上與夾持桿接觸區域的光刻膠；S3、對夾持桿上與螺旋線接觸面的有效接觸區域實施圖形金屬化；S4、利用微電鑄在螺旋線和夾持桿之間形成金屬連接，得到螺旋線和夾持桿的復合結構；S5、去除螺旋線上的剩余光刻膠；S6、對管殼和上述已得到的螺旋線和夾持桿的復合結構進行夾持，連接管殼和夾持桿，得到高導熱螺旋線慢波結構。進一步的，所述步驟S2具體為：根據夾持桿的數量，利用多次曝光顯影去除螺旋線上與夾持桿接觸區域的光刻膠。進一步的，所述步驟S3具體為：對夾持桿內側壁上與螺旋線接觸面的有效接觸區域曝光光刻，并得到焊點圖形；圖形化后的上述有效接觸區域金屬化。進一步的，所述步驟S4具體為：利用定位模具保證曝光顯影后的螺旋線和圖形金屬化后的夾持桿的相對位置，利用微電鑄在螺旋線和夾持桿之間形成金屬連接，得到螺旋線和夾持桿的復合結構。本專利技術利用通過曝光顯影、圖形金屬化、微電鑄等技術手段，在螺旋線和夾持桿之間引入金屬連接結構，并采用光刻和微電鑄的方法在夾持桿與螺旋線之間的生長金屬連接結構，加大兩者接觸面積，強增兩者連接質量，從根本上實現了螺旋線和圖形金屬化夾持桿的更大面積的有效連接，改善了螺旋線和夾持桿的導熱能力，且顯著提高了螺旋線行波管在大功率方面的性能。附圖說明圖1為常用慢波結構的結構示意圖。圖2為圖1中的A部放大示意圖。圖3為利用本專利技術制成的螺旋線慢波結構的結構示意圖。圖4為圖3中的B部放大示意圖。圖5為本專利技術所提供的制造方法的流程示意圖圖一。圖6為本專利技術所提供的制造方法的流程示意圖圖二。圖7為本專利技術所提供的制造方法的流程示意圖圖三。圖8為本專利技術所提供的制造方法的流程示意圖圖四。圖9為本專利技術所提供的制造方法的流程示意圖圖五。圖10為本專利技術所提供的制造方法的流程示意圖圖六。圖11為本專利技術的流程方框示意圖。具體實施方式下面結合附圖說明本專利技術的具體實施方式。如圖3至11所示，一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法,所述方法包括如下步驟：S1、將螺旋線1涂光刻膠，光刻膠需選用正膠；S2、根據夾持桿2的數量，利用多次曝光顯影去除螺旋線1上與夾持桿2接觸區域11的光刻膠；曝光顯影時螺旋線1中還需要插入模具，防止光照到螺旋線1上的軸對稱區域；S3、對夾持桿2內側壁上與螺旋線1接觸面的有效接觸區域21曝光光刻，并得到焊點圖形；圖形化后的上述有效接觸區域金屬化；S4、利用定位模具保證曝光顯影后的螺旋線1和圖形金屬化后的夾持桿2內側壁的相對位置，由于螺旋線1的其他部位有光刻膠，夾持桿2本身為介質材料，金屬只會在螺旋線1裸露的表面(即，螺旋線上與夾持桿的接觸區域11)和夾持桿2圖形金屬化之后內側壁上的有效接觸區域21之間通過各向同性生長形成，并利用微電鑄在螺旋線1和夾持桿2之間形成金屬連接，得到螺旋線1和夾持桿2的復合結構；S5、去除螺旋線1上的剩余光刻膠；S6、對管殼3和上述已得到的螺旋線1和夾持桿2的復合結構進行夾持，連接管殼3和夾持桿2，得到高導熱螺旋線慢波結構。本專利技術通過曝光顯影和微電鑄方法獲得夾持桿和螺旋線的大面積有效連接，實現了螺旋線與夾持桿散熱能力的大幅提升。本文中所采用的描述方位的詞語“上”、“下”、“左”、“右”等均是為了說明的方便基于附圖中圖面所示的方位而言的，在實際裝置中這些方位可能由于裝置的擺放方式而有所不同。綜上所述，本專利技術所述的實施方式僅提供一種最佳的實施方式，本專利技術的
技術實現思路
及技術特點已揭示如上，然而熟悉本項技術的人士仍可能基于本專利技術所揭示的內容而作各種不背離本專利技術創作精神的替換及修飾；因此，本專利技術的保護范圍不限于實施例所揭示的
技術實現思路
，故凡依本專利技術的形狀、構造及原理所做的等效變化，均涵蓋在本專利技術的保護范圍內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法,其特征在于，所述方法包括如下步驟：S1、將螺旋線涂光刻膠；S2、根據夾持桿的數量，去除螺旋線上與夾持桿接觸區域的光刻膠；S3、對夾持桿內側壁上與螺旋線接觸面的有效接觸區域實施圖形金屬化；S4、利用微電鑄在螺旋線和夾持桿之間形成金屬連接，得到螺旋線和夾持桿的復合結構；S5、去除螺旋線上的剩余光刻膠；S6、對管殼和上述已得到的螺旋線和夾持桿的復合結構進行夾持，連接管殼和夾持桿，得到高導熱螺旋線慢波結構。

【技術特征摘要】
1.一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法,其特征在于，所述方法包括如下步驟：S1、將螺旋線涂光刻膠；S2、根據夾持桿的數量，去除螺旋線上與夾持桿接觸區域的光刻膠；S3、對夾持桿內側壁上與螺旋線接觸面的有效接觸區域實施圖形金屬化；S4、利用微電鑄在螺旋線和夾持桿之間形成金屬連接，得到螺旋線和夾持桿的復合結構；S5、去除螺旋線上的剩余光刻膠；S6、對管殼和上述已得到的螺旋線和夾持桿的復合結構進行夾持，連接管殼和夾持桿，得到高導熱螺旋線慢波結構。2.根據權利要求1所述的一種高導熱螺旋線慢波結構的制造方法,其特征在于，所述...

【專利技術屬性】
技術研發人員：蔡軍，鄔顯平，李莉莉，馮進軍，杜英華，潘攀，
申請(專利權)人：中國電子科技集團公司第十二研究所，
類型：發明
國別省市：北京;11