一種噴砂草酸陽極工藝，屬于草酸陽極氧化工藝技術領域。具體步驟為：對鋁合金材料6061?T6/T651材料工件先進行噴砂處理，后進行草酸陽極氧化處理，通過控制噴砂工藝，草酸陽極氧化等。從而得到顏色均勻的氧化膜，此陽極膜進行5％的鹽酸氣泡耐腐蝕性測試時間達到4h以上，具有較高耐腐蝕性能，且顏色均勻，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥?0.3；8.0≥b≥4.0，表面粗糙度均勻，可有效控制在110?140μin。本發明專利技術可有效提高工件的耐腐蝕性能的陽極膜，耐腐蝕性硫酸硬質陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測試時間達到4h以上。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于草酸陽極
，特別是涉及一種噴砂草酸陽極工藝,適用于IC裝配關鍵耐腐蝕性反應腔體草酸陽極工藝。
技術介紹
噴砂草酸陽極氧化工藝，有其特別的重要性。噴砂草酸陽極工藝由于其特殊性能在工業生產中有著廣泛的應用，IC領域中對草酸陽極工藝性能要求越來越高，尤其陽極膜的耐腐蝕性能，色差，及表面粗糙度，其廣泛應用于關鍵反應腔體及其它關鍵零部件，開發具有穩定的噴砂草酸陽極工藝，對提高設備性能及使用壽命有重要意義。
技術實現思路
針對上述存在的技術問題，本專利技術提供一種噴砂草酸陽極工藝，對鋁合金材料工件進行硫酸陽極氧化處理，通過控制陽極過程中硫酸濃度，反應溫度，及電流密度等。從而得到致密的氧化膜，此陽極膜進行5％的鹽酸氣泡耐腐蝕性測試時間達到8h以上，具有較高耐腐蝕性能。本專利技術的目的是通過以下技術方案來實現的：本專利技術一種噴砂草酸陽極工藝，包括如下步驟：(1)將鋁合金材料工件進行陽極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra<32μin，清洗干凈后，進行堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質；(2)對工件進行噴砂處理；(3)對工件進行陽極前處理：清洗工件表面，去除表面雜質；(4)對工件進行草酸陽極氧化處理，要求膜厚25-30um；(5)將陽極氧化處理后的工件進行封孔處理，然后，使用壓縮空氣吹干，靜止24小時；(6)使用5％wt的鹽酸溶液經行Bubble Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內加入測試用5％wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測試區域溶液同一個點在一秒鐘內連續冒三個以上氣泡，代表測試結束，記錄結束時間。耐腐蝕性硫酸硬質陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測試時間達到4h以上；(7)對工件進行色差測試，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥-0.3；8.0≥b≥4.0。進一步地，所述步驟(2)的噴砂參數：使用80#白剛玉，噴砂壓力40-60PSI，角度45°，噴嘴距離工件10-15cm，移動速度2-3cm/秒，要求Ra為110-140μin。進一步地，所述步驟(3)的陽極前處理：高壓水清洗工件表面，使用45-55g/L NaOH堿咬30-60s，水洗后使用50％硝酸洗2-5min，去除表面雜質。進一步地，所述步驟(4)的草酸陽極氧化處理：40-50g/L的草酸溶液，控制溫度為18-22℃，調整電流密度為1-2A/dm2，升流時間為5-10min，反應時間為3-4h。進一步地，所述步驟(5)的將工件進行封孔處理，將陽極氧化處理后的工件放入92-98℃的純水中經行封孔，封孔時間為2-3小時。進一步地，所述步驟(6)中使用5％鹽酸溶液進行Bubble Test耐腐蝕性測試時間達到4h以上。進一步地，對工件進行色差測試，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥-0.3；8.0≥b≥4.0。本專利技術的有益效果為：1.本專利技術可有效提高工件的耐腐蝕性能的陽極膜，使用5％wt的鹽酸溶液經行Bubble Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內加入測試用5％wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測試區域溶液同一個點在一秒鐘內連續冒三個以上氣泡，代表測試結束，記錄結束時間。耐腐蝕性硫酸硬質陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測試時間達到4h以上。2.本專利技術可得到顏色較為穩定且均勻的表面，對工件進行色差測試，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥-0.3；8.0≥b≥4.0。3.本專利技術可得到表面粗糙度較為均勻的陽極膜表面Ra可達到110-140μin。具體實施方式下面結合實施例對本專利技術進行詳細描述。實施例1：本專利技術一種噴砂草酸陽極工藝，包括如下步驟：(1)將鋁合金材料工件進行陽極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra<32μin，清洗干凈后，進行堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除
表面雜質；(2)對工件進行噴砂處理；(3)對工件進行陽極前處理：清洗工件表面，去除表面雜質；(4)對工件進行草酸陽極氧化處理，要求膜厚25-30um；(5)將陽極氧化處理后的工件進行封孔處理，然后，使用壓縮空氣吹干，靜止24小時；(6)使用5％wt的鹽酸溶液經行Bubble Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內加入測試用5％wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測試區域溶液同一個點在一秒鐘內連續冒三個以上氣泡，代表測試結束，記錄結束時間。耐腐蝕性硫酸硬質陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測試時間達到4h以上；(7)對工件進行色差測試，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥-0.3；8.0≥b≥4.0。本例中：所述步驟(1)中的水洗后使用硝酸洗去除表面雜質：是使用高壓水清洗工件表面，使用50g/L NaOH堿咬40s，水洗后使用50％硝酸洗4min，去除表面雜質。所述步驟(2)中噴砂參數：使用80#白剛玉，噴砂壓力50PSI，角度45°，噴嘴距離工件12cm，移動速度3cm/秒，要求Ra為130μin。所述步驟(4)的草酸陽極氧化處理：40-50g/L的草酸溶液，控制溫度為20℃，調整電流密度為1.5A/dm2，升流時間為8min，反應時間為3.5h。所述步驟(5)的將工件進行封孔處理，將陽極氧化處理后的工件放入95℃的純水中經行封孔，封孔時間為2.5小時。所述步驟(6)中使用5％鹽酸溶液進行Bubble Test耐腐蝕性測試時間達到4h。所述步驟(7)中對工件進行色差測試，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥-0.3；8.0≥b≥4.0。實施例2：本例與實施例1不同的是：本例中所述步驟(1)中的水洗后使用硝酸洗去除表面雜質,使用45g/L NaOH堿咬30s，水洗后使用50％硝酸洗2min，去除表面雜質。所述步驟(2)中噴砂參數：使用80#白剛玉，噴砂壓力40PSI，角度45°，噴嘴距離工件10cm，移動速度2cm/秒，要求Ra為110μin。所述步驟(4)的草酸陽極氧化處理：40g/L的草酸溶液，控制溫度為18℃，調整電流密度為1A/dm2，升流時間為5min，反應時間為3h。所述步驟(5)的將工件進行封孔處理，將陽極氧化處理后的工件放入92℃的純水中經行封孔，封孔時間為2小時。所述步驟(6)中使用5％鹽酸溶液進行Bubble Test耐腐蝕性測試時間達到5h。實施例3：本例與實施例1不同的是：本例中所述步驟(1)中的水洗后使用硝酸洗去除表面雜質：是使用高壓水清洗工件表面，使用55g/L NaOH堿咬60s，水洗后使用50％硝酸洗5min，去除表面雜質。所述步驟(2)中噴砂參數：使用80#白剛玉，噴砂壓力60PSI，角度45°，噴嘴距離工件15cm，移動速度3cm/秒，要求Ra為140μin。所述步驟(4)的草酸陽極氧化處理：50g/L的草酸溶液，控制溫度為22℃，調整電流密度為2A/dm2，升流時間為10min，反應時間為4h。所述步驟(5)的將工件進行封孔處理，將陽極氧化處理后的工件放入98℃的純水中經行封孔，封孔時間為3小時。所述步驟(6)中使用5％鹽酸溶液進行Bubble Test耐腐蝕性測試時間達到4.5h。本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種噴砂草酸陽極工藝，其特征在于：包括如下步驟：(1)將鋁合金材料工件進行陽極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra<32μin，清洗干凈后，進行堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質；(2)對工件進行噴砂處理；(3)對工件進行陽極前處理：清洗工件表面，去除表面雜質；(4)對工件進行草酸陽極氧化處理，要求膜厚25?30um；(5)將陽極氧化處理后的工件進行封孔處理，然后，使用壓縮空氣吹干，靜止24小時；(6)使用5％wt的鹽酸溶液經行Bubble?Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內加入測試用5％wt鹽酸溶液液位高2?3cm，測試區域溶液同一個點在一秒鐘內連續冒三個以上氣泡，代表測試結束，記錄結束時間。耐腐蝕性硫酸硬質陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測試時間達到4h以上；(7)對工件進行色差測試，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥?0.3；8.0≥b≥4.0。
【技術特征摘要】
1.一種噴砂草酸陽極工藝，其特征在于：包括如下步驟：(1)將鋁合金材料工件進行陽極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra<32μin，清洗干凈后，進行堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質；(2)對工件進行噴砂處理；(3)對工件進行陽極前處理：清洗工件表面，去除表面雜質；(4)對工件進行草酸陽極氧化處理，要求膜厚25-30um；(5)將陽極氧化處理后的工件進行封孔處理，然后，使用壓縮空氣吹干，靜止24小時；(6)使用5％wt的鹽酸溶液經行Bubble Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內加入測試用5％wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測試區域溶液同一個點在一秒鐘內連續冒三個以上氣泡，代表測試結束，記錄結束時間。耐腐蝕性硫酸硬質陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測試時間達到4h以上；(7)對工件進行色差測試，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥-0.3；8.0≥b≥4.0。2.如權利要求1所述噴砂草酸陽極工藝，其特征在于：所述步驟(2)的噴砂參數：使用80#白剛玉，噴砂壓力40-60PSI，角度45°，噴...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張少杰，
申請(專利權)人：沈陽富創精密設備有限公司，
類型：發明
國別省市：遼寧;21
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