本發(fā)明專利技術(shù)公開(kāi)了一種顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法，該系統(tǒng)包括：第一提取設(shè)備，用于從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備提取顯影液；第二提取設(shè)備，用于從反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取反應(yīng)液；反應(yīng)室，第一提取設(shè)備和第二提取設(shè)備進(jìn)一步分別將提取到的顯影液和反應(yīng)液輸送至反應(yīng)室，以使得二者在反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)；檢測(cè)設(shè)備，用于檢測(cè)反應(yīng)后的顯影液和反應(yīng)液的PH值；計(jì)算設(shè)備，用于根據(jù)檢測(cè)設(shè)備所檢測(cè)到的PH值計(jì)算顯影液的濃度。通過(guò)上述方式，本發(fā)明專利技術(shù)能夠準(zhǔn)確直觀地在線反映顯影液的濃度。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及濃度在線監(jiān)測(cè)
，特別是涉及一種顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及顯影液的濃度監(jiān)測(cè)方法。
技術(shù)介紹
薄膜晶體管-液晶顯示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，簡(jiǎn)寫(xiě)TFT-LCD)是目前在亮度、對(duì)比度、功耗、壽命、體積和重量等綜合性能均表現(xiàn)良好的顯示器件。它的性能優(yōu)良，大規(guī)模生產(chǎn)特性好，自動(dòng)化程度高，發(fā)展空間廣闊，已經(jīng)逐漸占據(jù)了顯示器領(lǐng)域的主導(dǎo)地位。其由薄膜晶體管陣列基板(array基板)、彩色濾光片基板(CF基板)和夾在兩基板間的液晶構(gòu)成。CF基板作為L(zhǎng)CD顯色最重要的部件，主要制程為R、G、B等光阻材料在玻璃基板成膜，經(jīng)曝光、顯影，得到設(shè)計(jì)所需的彩色圖案。在目前工藝中，R、G、B、黑矩陣(Black Matrix，簡(jiǎn)寫(xiě)B(tài)M)等光阻的顯影液為氫氧化鉀水溶液，氫氧化鉀的在線濃度是通過(guò)測(cè)量溶液的電導(dǎo)率間接進(jìn)行監(jiān)控的。但此方法存在較大的缺點(diǎn)，一是電導(dǎo)率不能直觀地顯示為氫氧化鉀濃度，二是經(jīng)過(guò)一定次數(shù)的顯影后，氫氧化鉀水溶液中含有大量的雜質(zhì)和導(dǎo)電粒子，因此電導(dǎo)率的變化并不能準(zhǔn)確的反映氫氧化鉀濃度的變化。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及顯影液的濃度監(jiān)測(cè)方法，能夠準(zhǔn)確直觀地在線反映顯影液的濃度。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本專利技術(shù)采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，所述濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括：第一提取設(shè)備，用于從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備提取顯影液；第二提取設(shè)備，用于從反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取反應(yīng)液；反應(yīng)室，所述第一提取設(shè)備和所述第二提取設(shè)備進(jìn)一步分別將提取到的所述顯影液和所述反應(yīng)液輸送至所述反應(yīng)室，以使得二者在所述反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)；檢測(cè)設(shè)備，用于檢測(cè)反應(yīng)后的所述顯影液和所述反應(yīng)液的PH值；計(jì)算設(shè)備，用于根據(jù)所述檢測(cè)設(shè)備所檢測(cè)到的PH值計(jì)算所述顯影液的濃度。其中，所述濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)一步包括連接于所述第一提取設(shè)備與所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備和所述反應(yīng)室之間的第一切換設(shè)備以及連接于所述第二提取設(shè)備與所述反應(yīng)液儲(chǔ)設(shè)備和所述反應(yīng)室之間的第二切換設(shè)備；其中，所述第一切換設(shè)備用于將所述第一提取設(shè)備選擇性連接至所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備的出液口和所述反應(yīng)室的第一進(jìn)液口，以使得所述第一提取設(shè)備能夠從所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備提取所述顯影液并輸送至所述反應(yīng)室；所述第二切換設(shè)備用于將所述第二提取設(shè)備選擇性連接至所述反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備的出液口和所述反應(yīng)室的第二進(jìn)液口，以使得所述第二提取設(shè)備能夠從所述反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取所述反應(yīng)液并輸送至所述反應(yīng)室。其中，所述第一切換設(shè)備進(jìn)一步用于將所述第一提取設(shè)備選擇性連接至所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備的進(jìn)液口，以使得所述第一提取設(shè)備能夠?qū)⑻崛〉乃鲲@影液輸送回所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備；所述第二切換設(shè)備進(jìn)一步用于將所述第二提取設(shè)備選擇性連接至所述反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備的進(jìn)液口，以使得所述第二提取設(shè)備能夠?qū)⑻崛〉乃龇磻?yīng)液輸送回所述反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備。其中，所述第一切換設(shè)備和所述第二切換設(shè)備分別為四通閥門。其中，所述濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)一步包括攪拌設(shè)備，所述攪拌設(shè)備用于對(duì)所述反應(yīng)室內(nèi)的所述顯影液和所述反應(yīng)液進(jìn)行攪拌。其中，所述濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)一步包括清洗設(shè)備，所述清洗設(shè)備用于對(duì)所述反應(yīng)室進(jìn)行清洗。其中，所述濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)一步包括吹干設(shè)備，所述吹干設(shè)備用于對(duì)所述反應(yīng)室進(jìn)行吹干。其中，所述反應(yīng)室的底部呈倒錐狀設(shè)置且設(shè)置有排液口。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本專利技術(shù)采用的另一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種顯影液的濃度監(jiān)測(cè)方法，所述濃度監(jiān)測(cè)方法包括：分別提取顯影液和反應(yīng)液；使得提取的所述顯影液和所述反應(yīng)液進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)；檢測(cè)反應(yīng)后的所述顯影液和所述反應(yīng)液的PH值；根據(jù)所述PH值計(jì)算所述顯影液的濃度。其中，所述分別提取顯影液和反應(yīng)液的步驟包括：分別從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備和反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取所述顯影液和所述反應(yīng)液；將提取的所述顯影液和所述反應(yīng)液分別輸送回所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備和所述反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備；分別再次從所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備和所述反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備重新提取所述顯影液和所述反應(yīng)液。本專利技術(shù)的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本專利技術(shù)濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括：第一提取設(shè)備，用于從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備提取顯影液；第二提取設(shè)備，用于從反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取反應(yīng)液；反應(yīng)室，第一提取設(shè)備和第二提取設(shè)備進(jìn)一步分別將提取到的顯影液和反應(yīng)液輸送至反應(yīng)室，以使得二者在反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)；檢測(cè)設(shè)備，用于檢測(cè)反應(yīng)后的顯影液和反應(yīng)液的PH值；計(jì)算設(shè)備，用于根據(jù)檢測(cè)設(shè)備所檢測(cè)到的PH值計(jì)算顯影液的濃度。由于監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是檢測(cè)反應(yīng)后的顯影液和反應(yīng)液的PH值，通過(guò)這種方式，能夠準(zhǔn)確直觀地在線反映顯影液的濃度。附圖說(shuō)明圖1是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)另一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)方法一實(shí)施方式的流程圖；圖4是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)方法另一實(shí)施方式的流程圖；圖5是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的第一示意圖；圖6是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的第二示意圖；圖7是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的第三示意圖；圖8是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的第四示意圖；圖9是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的第五示意圖；圖10是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的pH與顯影液質(zhì)量濃度對(duì)應(yīng)關(guān)系示意圖；圖11是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的第六示意圖；圖12是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的第七示意圖；圖13是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法在實(shí)際應(yīng)用中的第八示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本專利技術(shù)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。參閱圖1，圖1是本專利技術(shù)顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖，該濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)100包括：第一提取設(shè)備1、第二提取設(shè)備2、反應(yīng)室3、檢測(cè)設(shè)備4以及計(jì)算設(shè)備5。第一提取設(shè)備1用于從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備6提取顯影液。第一提取設(shè)備1從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備6提取顯影液時(shí)，可以是固定體積的顯影液或者非固定體積的顯影液。如果是固定體積的顯影液，則每次的體積是固定的，如果是非固定體積的顯影液，則每次的體積是非固定的，此時(shí)第一提取設(shè)備1還需要專門測(cè)量提取的顯影液的體積。第二提取設(shè)備2用于從反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備7提取反應(yīng)液。第二提取設(shè)備2從反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備7提取反應(yīng)液時(shí)，可以是固定體積的反應(yīng)液或者非固定體積的反應(yīng)液。如果是固定體積的反應(yīng)液，則每次的體積是固定的，如果是非固定體積的反應(yīng)液，則每次的體積是非固定的，此時(shí)第二提取設(shè)備2還需要專門測(cè)量提取的反應(yīng)液的體積。反應(yīng)液的初始濃度是已知的。反應(yīng)室3，第一提取設(shè)備1和第二提取設(shè)備2進(jìn)一步分別將提取到的顯影液和反應(yīng)液輸送至反應(yīng)室3，以使得二者在反應(yīng)室3內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。檢測(cè)設(shè)備4用于檢測(cè)反應(yīng)后的顯影液和反應(yīng)液的PH值。顯影液和反應(yīng)液實(shí)際上發(fā)生的是酸堿中和反應(yīng)。計(jì)算設(shè)備5用于根據(jù)檢測(cè)設(shè)備4所檢測(cè)到的PH值計(jì)算顯影液的濃度。根據(jù)顯影液與反應(yīng)液反應(yīng)的化學(xué)式、提取的顯影液的體積、反應(yīng)液的體積、反應(yīng)液的初始濃度以及檢測(cè)到的PH值，計(jì)算設(shè)備5即可計(jì)算出顯影液的濃度。本專利技術(shù)實(shí)施方式濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括：第一提取設(shè)備，用于從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備提取顯影液；第二提取設(shè)備，用于從反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取反應(yīng)液；反應(yīng)室，第一提取設(shè)本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括：第一提取設(shè)備，用于從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備提取顯影液；第二提取設(shè)備，用于從反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取反應(yīng)液；反應(yīng)室，所述第一提取設(shè)備和所述第二提取設(shè)備進(jìn)一步分別將提取到的所述顯影液和所述反應(yīng)液輸送至所述反應(yīng)室，以使得二者在所述反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)；檢測(cè)設(shè)備，用于檢測(cè)反應(yīng)后的所述顯影液和所述反應(yīng)液的PH值；計(jì)算設(shè)備，用于根據(jù)所述檢測(cè)設(shè)備所檢測(cè)到的PH值計(jì)算所述顯影液的濃度。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種顯影液的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括：第一提取設(shè)備，用于從顯影液存儲(chǔ)設(shè)備提取顯影液；第二提取設(shè)備，用于從反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取反應(yīng)液；反應(yīng)室，所述第一提取設(shè)備和所述第二提取設(shè)備進(jìn)一步分別將提取到的所述顯影液和所述反應(yīng)液輸送至所述反應(yīng)室，以使得二者在所述反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)；檢測(cè)設(shè)備，用于檢測(cè)反應(yīng)后的所述顯影液和所述反應(yīng)液的PH值；計(jì)算設(shè)備，用于根據(jù)所述檢測(cè)設(shè)備所檢測(cè)到的PH值計(jì)算所述顯影液的濃度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)進(jìn)一步包括連接于所述第一提取設(shè)備與所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備和所述反應(yīng)室之間的第一切換設(shè)備以及連接于所述第二提取設(shè)備與所述反應(yīng)液儲(chǔ)設(shè)備和所述反應(yīng)室之間的第二切換設(shè)備；其中，所述第一切換設(shè)備用于將所述第一提取設(shè)備選擇性連接至所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備的出液口和所述反應(yīng)室的第一進(jìn)液口，以使得所述第一提取設(shè)備能夠從所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備提取所述顯影液并輸送至所述反應(yīng)室；所述第二切換設(shè)備用于將所述第二提取設(shè)備選擇性連接至所述反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備的出液口和所述反應(yīng)室的第二進(jìn)液口，以使得所述第二提取設(shè)備能夠從所述反應(yīng)液存儲(chǔ)設(shè)備提取所述反應(yīng)液并輸送至所述反應(yīng)室。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一切換設(shè)備進(jìn)一步用于將所述第一提取設(shè)備選擇性連接至所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備的進(jìn)液口，以使得所述第一提取設(shè)備能夠?qū)⑻崛〉乃鲲@影液輸送回所述顯影液存儲(chǔ)設(shè)備；所述第二切換設(shè)備進(jìn)一步用于...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：巫景銘，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：深圳市華星光電技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：廣東;44
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