一種柔性有機發光二極管顯示器及其制作方法技術

本發明專利技術提供一種柔性有機發光二極管顯示器及其制作方法，所述方法包括：在襯底基板上形成有機發光二極管、第一防水層、含氟聚合物層、光阻層；對所述光阻層進行圖案化處理，以形成多個光阻部；對所述含氟聚合物層進行刻蝕，以形成多個聚合部；在所述光阻部上沉積出光增強層的材料，以在所述聚合部之間形成出光增強部，所述出光增強部用于提高所述有機發光二極管的出光率；去除所述含氟聚合物層和所述光阻層；在所述出光增強部上制作緩沖層；以及在所述緩沖層上制作第二防水層。本發明專利技術的柔性有機發光二極管顯示器及其制作方法，有效地增強光的散射效果，提高了出光率。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及顯示
，特別是涉及一種柔性有機發光二極管顯示器及其制作方法。
技術介紹
有機發光二極管(OLED,Organic Light-Emitting Diode)，由于其具有高對比度、廣色域、自發光、響應速度快等優點，在顯示和照明領域被廣泛地應用，特別是在柔性顯示領域OLED顯示出其他顯示技術所不具備的巨大市場潛力。然而，目前制約柔性顯示器發展的因素在于器件的封裝能力，現有的柔性OLED器件很容易在彎曲、折疊時造成封裝膜的斷裂或剝離。且由于有機發光層的材料與電極的材料之間的折射率差異或者基板的材料以及空氣之間折射率的差異，導致大量的光子被限制在基板內，或會通過激發陰極表面等離子的模式在有機材料和陰極界面之間耗散，因此導致OLED器件的實際出光效率比較低。因此，有必要提供一種柔性有機發光二極管顯示器及其制作方法，以解決現有技術所存在的問題。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種柔性有機發光二極管顯示器及其制作方法，以解決現有技術的有機發光二極管顯示器出光率比較低的技術問題。為解決上述技術問題，本專利技術構造了一種柔性有機發光二極管顯示器的制作方法，包括以下步驟：在襯底基板上形成有機發光二極管；在所述有機發光二極管上形成第一防水層；在所述第一防水層上形成含氟聚合物層；在所述含氟聚合物層上形成光阻層，對所述光阻層進行圖案化處理，以形成多個光阻部，相鄰兩個所述光阻部靠近所述第一防水層之間的間隙大于其遠離所述第一防水層之間的間隙；對所述含氟聚合物層進行刻蝕，以形成多個聚合部，其中所述聚合部與所述光阻部的位置相對應；在所述光阻部上沉積出光增強層的材料，以在所述聚合部之間形成出光增強部，所述出光增強部用于提高所述有機發光二極管的出光率；去除所述含氟聚合物層和所述光阻層；在所述出光增強部上制作緩沖層；以及在所述緩沖層上制作第二防水層；其中，所述緩沖層的材料為有機材料，所述第一防水層、所述第二防水層以及所述出光增強層的材料為無機材料。在本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法中，所述光阻部的截面形狀為四邊形，所述光阻部具有兩個相對設置的側面，所述側面與所述含氟聚合物層所在的平面之間的銳角角度小于等于預設角度。在本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法中，所述光阻部還包括下端面和上端面，所述聚合部的寬度與所述下端面的寬度之間的差值位于預設范圍內。在本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法中，所述含氟聚合物層的厚度小于等于所述光阻層的厚度。在本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法中，所述出光增強部的厚度小于所述聚合部的厚度。在本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法中，所述聚合部的截面形狀為矩形。在本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法中，所述出光增強部具有弧形的頂部。在本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法中，所述緩沖層的厚度大于所述出光增強部的厚度。在本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法中，所述出光增強層的材料包括Al2O3、TiO2、SiNx、SiCNx以及SiOx中的至少一種。本專利技術還提供一種柔性有機發光二極管顯示器，其包括：有機發光二極管，位于襯底基板上；封裝層，位于所述有機發光二極管上；其包括：第一防水層；出光增強層，包括多個間隔設置的出光增強部，所述出光增強部用于提高所述有機發光二極管的出光率；緩沖層，位于所述出光增強部上；第二防水層，位于所述緩沖層上，其中所述第一防水層、所述第二防水層以及所述出光增強層的材料為無機材料，所述緩沖層的材料為有機材料。本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器及其制作方法，通過制作無機材料與有機材料交替的薄膜封裝層，從而可以避免封裝層被損壞，同時在封裝層中設置出光增強結構，還能有效地增強光的散射效果，提高了出光率。【附圖說明】圖1為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第一步的結構示意圖；圖2為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第二步的結構示意圖；圖3為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第三步的結構示意圖；圖4為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第四步的結構示意圖；圖5為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第五步的結構示意圖；圖6為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第六步的結構示意圖；圖7為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第七步的結構示意圖；圖8為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第八步的結構示意圖。【具體實施方式】以下各實施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本專利技術可用以實施的特定實施例。本專利技術所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內」、「外」、「側面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本專利技術，而非用以限制本專利技術。在圖中，結構相似的單元是以相同標號表示。請參照圖1，圖1為本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法的第一步的結構示意圖。本專利技術的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法包括：S101、在所述有機發光二極管上形成第一防水層；如圖1所示，在有機發光二極管10上形成第一防水層11，該第一防水層11的材料為無機材料，比如為氧化鋁Al2O3、二氧化鈦TiO2、氮化硅SiNx、SiCNx、納米二氧化硅SiOx中的一種或者幾種。該有機發光二極管包括陽極層、有機發光層以及陰極層，具體地比如將制備好的有機發光二極管放置在等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)、ALD(原子力沉積)、PLD(脈沖激光沉積)或Sputter(濺射)的腔室中，通過在陰極層上沉積或者濺射具有防水效果的無機材料，得到第一防水層。S 102、在所述第一防水層上形成含氟聚合物層；如圖2所示，比如將具有防水層的有機發光二極管移至手套箱中，通過涂布方式在第一防水層11上形成含氟聚合物的材料，并在80度下固化1個小時，得到含氟聚合物層12；該含氟聚合物層12的厚度比如為1至2微米。S 103、在所述含氟聚合物層上形成光阻層，對所述光阻層進行圖案化處理，以形成多個光阻部；如圖3所示，比如在含氟聚合物層12上涂布光阻材料，以形成整層光阻層，然后對整層光阻層進行曝光、顯影、形成多個光阻部13，相鄰兩個所述光阻部13靠近所述第一防水層之間的間隙大于其遠離所述第一防水層之間的間隙，也即下方的光阻部之間的間距大于上方的光阻部之間的間距，以便于限定形成具有散射效果的出光增強部。優選地，所述光阻部13的截面形狀為四邊形，比如等腰梯形等，所述光阻部13具有兩個相對設置的側面，左側面和右側面，比如右側面與所述含氟聚合物層12所在的平面之間的角度小于等于45度；左側面與所述含氟聚合物層所在的平面之間銳角角度小于等于45度，更加有利于形成弧形頂面的出光增強部，使其散射效果更好。S104、對所述含氟聚合物層進行刻蝕，以形成多個聚合部，其中所述聚合部與所述光阻部的位置相對應；如圖4所示，通過氧氣等離子體干刻法對含氟聚合物層12進行刻蝕，以得到多個聚合部121，該聚合部121與光阻部13的位置相對應。優選地，所述光阻部13還包括下端面和上端面(比如下表面和上表面)，所述聚合部121的寬度本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種柔性有機發光二極管顯示器的制作方法，其特征在于，包括：在襯底基板上形成有機發光二極管；在所述有機發光二極管上形成第一防水層；在所述第一防水層上形成含氟聚合物層；在所述含氟聚合物層上形成光阻層，對所述光阻層進行圖案化處理，以形成多個光阻部，相鄰兩個所述光阻部靠近所述第一防水層之間的間隙大于其遠離所述第一防水層之間的間隙；對所述含氟聚合物層進行刻蝕，以形成多個聚合部，其中所述聚合部與所述光阻部的位置相對應；在所述光阻部上沉積出光增強層的材料，以在所述聚合部之間形成出光增強部，所述出光增強部用于提高所述有機發光二極管的出光率；去除所述含氟聚合物層和所述光阻層；在所述出光增強部上制作緩沖層；以及在所述緩沖層上制作第二防水層；其中，所述緩沖層的材料為有機材料，所述第一防水層、所述第二防水層以及所述出光增強層的材料為無機材料。

【技術特征摘要】
1.一種柔性有機發光二極管顯示器的制作方法，其特征在于，包括：在襯底基板上形成有機發光二極管；在所述有機發光二極管上形成第一防水層；在所述第一防水層上形成含氟聚合物層；在所述含氟聚合物層上形成光阻層，對所述光阻層進行圖案化處理，以形成多個光阻部，相鄰兩個所述光阻部靠近所述第一防水層之間的間隙大于其遠離所述第一防水層之間的間隙；對所述含氟聚合物層進行刻蝕，以形成多個聚合部，其中所述聚合部與所述光阻部的位置相對應；在所述光阻部上沉積出光增強層的材料，以在所述聚合部之間形成出光增強部，所述出光增強部用于提高所述有機發光二極管的出光率；去除所述含氟聚合物層和所述光阻層；在所述出光增強部上制作緩沖層；以及在所述緩沖層上制作第二防水層；其中，所述緩沖層的材料為有機材料，所述第一防水層、所述第二防水層以及所述出光增強層的材料為無機材料。2.根據權利要求1所述的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法，其特征在于，所述光阻部的截面形狀為四邊形，所述光阻部具有兩個相對設置的側面，所述側面與所述含氟聚合物層所在的平面之間的銳角角度小于等于預設角度。3.根據權利要求2所述的柔性有機發光二極管顯示器的制作方法，其特征在于，所述光阻部還包括下端面和上端面，所述聚合部的寬度與所述下端面的寬度之間的差值位于預設范圍內。4...

【專利技術屬性】
技術研發人員：金江江，
申請(專利權)人：武漢華星光電技術有限公司，
類型：發明
國別省市：湖北;42