【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用的整體式觀察蓋板結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備反應(yīng)腔內(nèi)常溫或高溫工藝過(guò)程中，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積的應(yīng)用
技術(shù)介紹
現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備在進(jìn)行常溫或者高溫傳片工藝過(guò)程時(shí)，反應(yīng)腔內(nèi)是密閉不可見(jiàn)的狀態(tài)，尤其在進(jìn)行高溫400℃工藝過(guò)程時(shí)，反應(yīng)腔內(nèi)為密閉不可見(jiàn)的真空狀態(tài)，有時(shí)候開(kāi)腔觀察時(shí)會(huì)出現(xiàn)陶瓷環(huán)偏移、陶瓷襯套有裂紋、晶圓發(fā)生碎片及傳片失敗等等一些現(xiàn)象，而這些現(xiàn)象發(fā)生時(shí)都是在不可見(jiàn)的狀態(tài)下發(fā)生。為了更好的觀察這些問(wèn)題產(chǎn)生的過(guò)程，方便查找問(wèn)題的產(chǎn)生根本原因，所以曾經(jīng)設(shè)計(jì)了一種分體式透明蓋板結(jié)構(gòu)來(lái)直接觀察反應(yīng)腔內(nèi)整個(gè)工藝過(guò)程中出現(xiàn)的一系列現(xiàn)象。但是對(duì)于整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備兩腔的反應(yīng)模塊而言，分體式蓋板沒(méi)有精確地定位，操作人員安裝時(shí)如果稍偏一點(diǎn)，蓋板便不能完全的壓住密封圈而使整個(gè)真空系統(tǒng)漏氣；另外在進(jìn)行工藝沉積時(shí)，不能觸發(fā)反應(yīng)腔上軟件互鎖功能，存在安全隱患，故有待于對(duì)分體式蓋板進(jìn)行改進(jìn)設(shè)計(jì)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)以解決上述問(wèn)題為目的，設(shè)計(jì)了一種新型的整體式透明蓋板結(jié)構(gòu)，不僅能解決在現(xiàn)有設(shè)備反應(yīng)腔體的高溫工藝過(guò)程是不可觀察的狀況，而且增加了精確的定位及互鎖觸發(fā)功能。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)采用下述技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用的整體式觀察蓋板，包括大蓋板(1)、把手(2)、平頭螺釘(3)、塑料保護(hù)板(4)、塑料墊片(5)、金屬壓板(6)、大密封圈(7)、小密封圈(8)、石英玻璃(9)、內(nèi)六角螺釘(10)及定位塊(11)。上述大蓋板(1)的密封槽內(nèi)分別嵌入密封圈A(7)、密封圈B(8)，在嵌入密封圈的大蓋板(1)的端面上設(shè)有石英...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用的整體式觀察蓋板，其特征在于：它還包括大蓋板(1)、平頭螺釘(3)、塑料保護(hù)板(4)、塑料墊片(5)、金屬壓板(6)、大密封圈(7)、小密封圈(8)、石英玻璃(9)、內(nèi)六角螺釘(10)及定位塊(11)，上述大蓋板(1)的密封槽內(nèi)分別嵌入密封圈A(7)、密封圈B(8)，在嵌入密封圈的大蓋板(1)的端面上設(shè)有石英玻璃(9)，石英玻璃(9)上面設(shè)有塑料墊片(5)，金屬壓板(6)壓在塑料墊片(5)上，再對(duì)角擰緊內(nèi)六角螺釘(10)，用平頭螺釘(3)將塑料保護(hù)板(4)固定在金屬壓板(6)的上面。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用的整體式觀察蓋板，其特征在于：它還包括大蓋板(1)、平頭螺釘(3)、塑料保護(hù)板(4)、塑料墊片(5)、金屬壓板(6)、大密封圈(7)、小密封圈(8)、石英玻璃(9)、內(nèi)六角螺釘(10)及定位塊(11)，上述大蓋板(1)的密封槽內(nèi)分別嵌入密封圈A(7)、密封圈B(8)，在嵌入密封圈的大蓋板(1)的端面上設(shè)有石英玻璃(9)，石英玻璃(9)上面設(shè)有塑料墊片(5)，金屬壓板(6)壓在塑料墊片(5)上，再對(duì)角擰...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：方仕彩，吳鳳麗，姜崴，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：沈陽(yáng)拓荊科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：遼寧;21
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